GB T 13389-1992 掺硼碜磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程.pdf
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1、13389 92 G/T ./、UDC 669. 782-172-415 I 621.317.33083.5) H 21 华LW Pfhr吃26ll4-4曰目目Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon 国1992-10-01 发布局I监才运技家1992-02-19发布中华人民共和国国家标准硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程Practice for converson between resistivity and dopan
2、t density for boron-doped and phosphorus-doped silicon 主题内容与适用范围GB/T 13389-92 本标准规定了23C时掺砌掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。本标准适用于掺杂剂浓度1012.1021cm(电阻率0.0001-10,ooon. cm)掺砌硅单晶和102_5X 10 cm-(电阻率。.000 2-4, ooon cm)掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算,也可扩展到硅中激活能与棚、磷相似的其他掺杂剂。2 引用标准GB 6615 硅片电阻率的直排四探针测试方法3 方法提要用公式、表格或曲线图形进行电阻率和掺杂剂浓度之间的换
3、算。4 换算步骤4. 1 按照图解法、表格法或计算法把电阻率值换算成掺杂剂浓度值。4. 1. 1 图解法4.1.1.1 掺砌硅单品使用图l中标有棚的曲线.4. 1- 1.2 掺磷硅单晶使用图1中标有磷的曲线。4. 1- 2 表格法4.1.2.1 掺砌硅单品使用表1.4.1.2.2 掺磷硅单晶使用表2.4. 1. 3 计算法4.1.3.1 掺砌硅单晶按式。)由电阻率值计算掺杂剂浓度值3N=L旦旦三卫士+1.082 X 10 p , p(l + (54. 56p)1阳式中;p 电阻率,(l.cm;N 掺杂ifrJ浓度,cm-3。4.1. 3. 2 ( 1 ) 掺磷硅单晶按式(2)、式(3)由电阻率
4、值计算掺杂剂浓度值26.242 X 1018 N=一一一-一一一一XlOZ . . . ( 2 ) p 国家技术监督局1992-02-19批准1992-10-01实施1 式中:x=logloP; Ao-3.1083, A】-3.2626, A2-I. 2196, A3-0.139 23; B1. 0265, B,0.387 55 , B30.041833. G8/T 3389-92 Z A 0+ A卢+A ,x + A3X3 一1+ Bx + B,x2 + B3:r 4.2 按照图解法、表格法或计算法把掺杂剂浓度值换算成电阻率值。4. 2. , 图解法4.2. 掺砌硅单品使用图l中标有棚的曲线
5、。4.2.2 掺磷硅单晶使用图1中标有磷的曲线。4.2.2 表格法4.2.2. 掺哥哥硅单晶使用表3.4.2.2.2 掺磷硅单晶使用表4.4.2.3 汁算法4.2.3. 掺砌硅单晶按式(4)由掺杂剂浓度值计算电阻率值3. ( 3 ) 1. 305 X 10 . 1.133 X 10 p一一一育一一+N C1 + (2: ;8; 1=3川omHH-. .( 4 ) 4.2.3.2 掺磷硅单晶按式(5)、式(6)由掺杂剂浓度值计算电阻率值i式中Iy (logN) -16; Ao-3. 076 9; A2.2108; 2 A,-O. 62272; A 30. 057501; B3-O.681 57
6、, B20.19833; B3-0. 018376。6.242 X 108 . . _ _, p一一N一一X100 . . . . . . ., .( 5 ) , A 0 + AtY + A 2y2 + A 3y3 =3( 6 ) I十BlY十Bzy2+ B 3Y 13389-92 G/T 实哇囱电阻率换算到修杂剂浓度虚辑一一外撞部分1011 lOU ?EU.国提Zb吨稳10 10-1 10- 10- 咆阻率,Q.cm 电阻率和掺杂剂浓度之间的换算图因13 注s实续为实际数据范围内电阻率-掺杂剂改度换算曲线g虚线为实际数据外推的换算曲线.GB/T 13389-92 表1掺砌硅单晶掺杂剂浓度对电
7、阻率的换算表电阻率掺杂剂浓度,cm(!l , cm) 0.0 O. 1 O. 2 O. 3 0.4 0.5 0.6 O. 7 。.8 O. 9 1.0E-04 1.2E21 1. 1E21 1.0E21 9. 3E20 8.6E20 8. lE20 7.6E20 7. lE20 6.7E20 6.4E20 2.0E-04 6.0E20 5.8E20 5.5E20 5.2E20 5.0E20 4.8E20 4.6E20 4.5E20 4.3E20 4.2E20 3. OE-04 4.01E20 3. 88E20 3.76E20 3.64E20 3.54E20 3.43E20 3.34E20 3.
8、25E20 3.16E20 3.08E2 。4.0E-04 3.00E20 2.93E20 2.85E20 2.79E20 2. 72E20 Z.66E20 2.60E20 2.55E20 2.49E20 2. 44E2 。5.0E-04 2.39E20 2. 34E20 2.30E20 2.25E20 2.21E20 2.17E20 2.13E20 2.09EZO 2.06E20 2.0ZE2 。日.OE-041.99E20 1.95E20 1.92E20 1. 89E20 .86E20 1.83E20 1. 80E20 1. 77E20 1.75E20 1.72E2 。7.0E-04 1.
9、70E20 1.67E20 1. 65E20 1. 62E20 1.60E20 1.58E20 1.56E20 1.54E20 .5ZEZO 1.50E2 。8.0E-04 1. 48EZO 1.46E20 .44E20 1. 42E20 1.41E20 1.39E20 1.37E20 1.36EZO 1.34E20 1.32E2 。9.0E-04 1.31E20 I.Z9E20 1.28E20 1.27E20 1.25E20 1. Z4E20 1.22EZO 1. Z1E20 1. ZOE20 1. 19E2 。1.0E-03 1.17E20 1.06E20 9.70E19 8.92E19
10、8.25E19 7.67E19 7. 17E19 6.72E19 6.32E19 5.97E19 2.0E-03 5.65E19 5.36E19 5.09E19 4.85E19 4.63E19 4.43E19 4.24E19 4.07E19 3.91E19 3.76El 9 3.0E-03 3.62E19 3.49E19 3.37E19 3.25E19 3. 15E19 3.04E19 2.95E19 2.86E19 2. 77E19 2.69E19 4.0E-03 2.61E19 2.54E19 2.47E19 2.40E19 2.34E19 2.28E19 2. 22E19 2. 17E1
11、9 2. l1E19 2.06El 9 5.0E-03 2.01E19 1.97E19 1.92E19 1.88E19 1. 84E19 1.80E19 1.76E19 1.72E19 1.69E19 1.65E19 斗6.0E-03 1.62E19 1.59E19 1.56E19 1. 53E19 1.50E19 1.47E19 1.44E19 1.41E19 1.39E19 1.36El 9 7.0E-03 1.34E19 1.32E19 1.29E19 .27E19 1.25E19 1.23E19 .21E19 1.19E19 1.17E19 1. 15E19 8.0E-03 1.13E
12、19 l. l!El9 1.10E19 .08E19 1.06E19 1.05E19 1.03E19 ).02EI9 1.00E19 9. 88E) 8 9.0E-03 9. 74E18 9.60E18 9.47E18 9.33E18 9. ZOE18 9.08E18 8.95E18 8.83E18 8.72E18 8.60E18 1.0E-02 8.49E18 7.48E18 6.65E18 5.97E18 5.39E18 4.89E18 4.47E18 4.10E18 3.78E18 3. 49El 8 2.0E-02 3.24E18 3.02E18 2.82E18 2.64E18 2.4
13、8E18 2.33E18 2.20E18 2.07E1 8 1.96E18 .86E18 3.0E-02 1. 77E18 1.68E18 1.60E18 .53E18 1.46E18 1.40E18 1.34E18 1.28E18 1.23E18 1.18El B 4.0E-02 1.14E18 1.09E18 1.05E18 .02E18 9.80E17 9.46E17 9. 14E17 8.84E!7 8.56E!7 8.29E!7 5.0E-02 8.03E17 7. 79E1 7 7.55E17 7.33E17 7.1ZE17 6.92E17 6.73E17 6.55E17 6.37
14、E17 6. Z1E17 6.0E-02 6.05E17 5.89E17 5.75E17 5.61E17 5. 47E17 5.34E17 5.22E17 5.10E17 4.98E17 4.87E17 7.0E-OZ 4.76E17 4.66E17 4.56E17 4.47E17 4.37E17 4.29E17 4.20E17 4. 12E17 4.03E17 3.96E17 8.0E-02 3.88E!7 3.81E17 3.74E17 3.67E17 3.60E17 S.54E17 3.48E17 3.42E17 3.36E17 3. 30丑179.0E-02 3.24E17 3.19E
15、17 3. 14E17 3.09E17 3.04E17 2.99E17 2. 94El7 2.90E17 2.85E17 2.81E17 1.0E-Ol 2. 77E17 2.40E17 2.llE17 .88E17 1.69E17 1.53E17 1.40E17 1.28E17 1.18E17 1.10E17 2.0E守011.02E17 9.59E16 9.01E16 8.49E16 8.02E16 7.60E16 7.22E16 6.88E16 6.56E16 6.27E16 3.0E-Ol 6.00E16 5.76E16 5.53E16 5.32E16 5. 13E16 4.94E16
16、 4.77E16 4.61E16 4.46E16 4.32E16 4.0E-Ol 19E16 4.07E16 3.95E16 3.84E16 3.73E16 3.63E16 3.54E16 3.45E16 3.36E16 3.28E16 5.0E-Ol 3.21E!6 3.13E16 3.06E16 2.99E16 2.93E16 2.87E16 2.81E16 2.75E16 2.69E16 2.64E16 6.0E-Ol 2.59E16 2.54E16 2.49E16 2.45E16 2.40E16 2.36E16 2.32E16 2.28E16 2.24E16 2.21E16 4 L ,
17、 GB!T 13389-92 续表l电阻率掺杂剂浓度.cm m. cm) 0.0 O. 1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 7.0E-Ol 2. 17EI6 2. 14E16 2.IOEI6 2.07E16 2.04E16 2.0IE16 1. 98EI6 . 95E16 1.92E16 1.89E16 8.0E-01 1.87E16 1.84E16 . 82E16 1.79E16 1.77E16 I.75EI6 I.72EI6 . 70E16 1. 68E16 1.66E16 9.0E-01 1.64E16 1.62E16 1.60E16 1.58E16 1.
18、 56E16 1.54E16 1.53E16 1. 51E16 1.49E16 1.47E16 1.0EOO 1.46E16 1.31E16 1.20E16 1.10E16 1. 01E16 9.41E15 8.79E15 8.24E15 7.76E15 7.33E15 2.0E口。6.95E15 6.60E15 6.29E15 6.01E15 S.75E15 S.SIE1S S.29E1S S.08E1S 4.90E15 4.72E15 3.0EOO 4.56E15 4.41E15 4.27E15 4.13E15 4.01E15 3.89E1S 3.78ElS 3.68ElS 3.58E15
19、 3.48E15 4.0EOO 3.39E15 3.31E15 3.23E15 3.15E15 3.08E15 3.01E1S 2.94E1S 2.88E15 2.82E15 2.76E15 5.0EOO 2.70E15 2.65E15 2.60E15 2.55E15 2.50E15 2.4SE1S 2.41E15 2.37E15 2.32E1S 2.28E15 . 6. OEOO 2.25E15 2.21E15 2.17E15 2. 14E15 2.10E15 2.07E15 2.04E15 2.01E15 1.98E15 1.95E15 7.0EOO 1.92E1S 1.89E1S 1.8
20、7E15 1.84E15 1.82E15 1.79E15 1.77E15 1.74E15 1.72E15 1.70E15 8.1:00 1.68E15 1.66E15 1.64E15 1. 62E15 1.60E15 1.58E15 1.56E15 1.54E15 1.52E15 1.51E15 9.0EOO 1.49E1S 1.47E15 1.46E15 1.44E15 1.43E15 1.41E15 1.40E15 1.38E1S 1.37E15 1.35E15 1.0EOl 1.34E15 1.22E15 l. l1El5 1.03E15 9.55E14 8.91E14 8.35E14
21、7.85E14 7.42E14 7.02E14 2.0EOl 6.67E14 6.35E14 6.06E14 5.80E14 5.56E14 5.33E14 5. 13E14 4.94E14 4. 76E14 4.60E14 3.0EOl 4. 44E14 4.30E14 4. 16E14 4.04E14 3.92E14 3.81E14 3.70E14 3.60E14 3.50E14 3. 41E14 4.0EOl 3.33E14 3.25E14 3.17E14 3.10E14 3.03E14 2.96E14 2. 89E14 2.83E14 2. 77E14 2.72E14 S.OEOl 2
22、.66E14 2.61E14 2.56E14 2.51E14 2.46E14 2.42E14 2.38E14 2.34E14 2.29E14 2. 26E14 6.0EOl 2.22E14 2.18E14 2.15E14 2. lIE14 2.08E14 2.05E14 2.02E14 1.99E14 1. 96E14 1.93E14 7.0EOl 1.90E14 1.87E14 1. 85E14 1.82E14 1.80E14 1. 77E14 1.75E14 1. 73E14 1.71E14 1.68E14 8.0EOl 1.66E14 1.64E14 1.62E14 1.60E14 1.
23、58E14 1.57E14 1.55E14 1. 53E14 1.51E14 1.49E14 9.0EOl 1. 48E14 1. 46E14 1.45E14 1.43E14 1. 42E14 1.40E14 1.39E14 1. 37E14 1.36E14 1.34E14 1.0E02 1. 33E14 1.21E14 l. lIEl4 1.02E14 9.50E13 8.87E13 8.31E13 7.82E13 7.39E13 7.00E13 2.0E02 6.6E13 6.3E13 6.0E13 5.8E13 5.5E13 5.3E13 5.1E13 4.9E13 4.7E13 4.6
24、E13 3.0E02 4.4E13 4.3E13 4.2E13 4.0E13 3.9E13 3.8E13 3.7E13 3.6E13 3.5E13 3.4E13 4.0E02 3.3E13 3.2E13 3.2E13 3.1E13 3.0E13 3.0E13 2.9E13 2.8E13 2.8E13 2.7E13 5.0E02 2.7E13 2.6E13 2.6E13 2.5E13 2.5E13 2.4E13 2.4E13 2.3E13 2.3E13 2.3E13 6.0E02 2.2E13 2.2E13 2.1E13 2.1E13 2.1E13 2.0E13 2.0E13 2.0E13 2.
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