GB T 26807-2011 硅压阻式动态压力传感器.pdf

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1、ICS 17. 100 N 11 每菌中华人民共和国国家标准GB/T 26807-20门硅压阻式动态压力传感器Silicon piezoresistive dynamic pressure sensors 2011-07-29发布2011-12-01实施辄防伪/中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布GB/T 26807-2011 目次前言.皿1 范围-2 规范性引用文件-3 分类与命名3. 1 分类-3.2 型号命名与图形符号4 基本参数. . . . 2 4.1 测量范围24. 2 被测压力介质及兼容性.4. 3 激励24.4 标称桥阻24.5 工作介质温度范围2

2、4. 6 工作环境温度范围.4. 7 补偿温度范围4.8 贮存温度范围5 要求-5.1 总则25. 2 外观.35. 3 外形及安装尺寸.3 5.4 输入阻抗35. 5 输出阻抗5. 6 负载阻抗5. 7 绝缘电阻5. 8 绝缘强度.5. 9 静态性能35. 10 过载5.11 零点漂移.5.12 热零点漂移45. 13 热满量程输出漂移.4 5.14 零点长期稳定性(必要时)45. 15 动态性能45.四环境影响特性5.17 疲劳寿命(必要时). 6 试验方法6. 1 环境条件.6.2 校准条件.6.3 外观6.4 外形及安装尺寸6G/T 26807-2011 6. 5 输入阻抗66. 6

3、输出阻抗-6. 7 负载阻抗66.8 绝缘电阻-6. 9 绝缘强度-6. 10 静态性能6.11 过载76. 12 零点漂移6. 13 热零点漂移.6. 14 热满量程输出漂移.6. 15 零点长期稳定性.a.7 6.四动态性能.8 6.17 环境影响试验86.四疲劳寿命7 检验规则-7.1 检验分类-7.2 出厂检验7.3 型式检验108 标志、包装、运输及贮存118. 1 产品标志118.2 包装8.3 运输128.4 贮存12附录A(规范性附录)传感器性能指标的计算方法UA.1 实际工作特性UA.2 参比工作直线A.3 满量程输出值(YF.S)MA.4 非线性(巳) M A.5 迟滞仔H

4、)UA.6 重复性() 15 A.7 准确度(白A.8 零点漂移(d，)A.9 零点长期稳定性(r，) M A.10 热零点漂移(时 17 A.11 热满量程输出漂移(向 17 A.四振动对传感器零点影响(ZO)17A.13 外磁场对传感器输出的影响(CC)17H GB/T 26807-2011 目Ij1=1 本标准附录A为规范性附录。本标准由中国机械工业联合会提出并归口。本标准起草单位:昆山双桥传感器测控技术有限公司、沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心。本标准主要起草人:尤彩红、刘沁、王冰、王文襄、刘波、徐秋玲、徐长伍、唐慧、李延夫。m山GB/T

5、26807-2011 硅压阻式动态压力传感器1 范围本标准规定了硅压阻式动态压力传感器的分类与命名、基本参数、要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于硅压阻式动态压力传感器(以下简称传感器)的生产、使用、验收等。2 规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB/T 2423. 1-2008 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验A:低温(lEC

6、60068-2-1: 2007 ,IDT) GB/T 2423. 2-2008 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验B:高温(lEC60068-2-2: 2007 ,IDT) GB/T 2423. 3 2006 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Cab:恒定湿热试验。EC60068-2-78:2001,IDT) GB/T 2423. 5 1995 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Ea和导则:冲击Cidt IEC 60068-2-27: 1987) GB/T 2423. 10 2008电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Fc:振动(正弦)C IEC 60068-2-

7、6: 1995 , IDT) GB/T 2423. 15-2008 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Ga和导则:稳态加速度(lEC60068亿-7:1986，IDT)GB/T 2423. 22-2002 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验N:温度变化(lEC 60068-2-14: 1984 IDT) GB/T 2829 -2002 周期检查计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)GB/T 7666一2005传感器命名法及代号GB/T 14479 传感器图用图形符号GB/T 15478 压力传感器性能试验方法JJG 624-2005 动态压力传感器3 分类与命名3. 1

8、分类按感受压力类型分为:表压、绝压、差压。3.2 型号命名与图形符号传感器型号命名，按GB/T7666 2005的规定命名。传感器的图形符号，按GB/T14479的规定。1 G/T 26807-2011 4 基本参数4. 1 测量范围传感器测量范围的上限值推荐从下列数值中选取:l: 1. 0 X 10、士1.6X10、士2.OX 10、土2.5X 10、士3.0X10、土4.0 X 10、:l:5.0X10、士6.0X 10、士8.0X10o其中n=0，1，2，3。也可以按用户特定要求设定。下限值若无特殊要求则为零。测量范围的单位为帕CPa)、千帕CkPa)、兆帕CMPa)、吉帕CGPa)。4

9、.2 被测压力介质及兼容性介质类型:气体、液体。介质性质:导电性、腐蚀性、放射性s必要时给出与被测介质接触的传感器结构材料的名称、牌号和兼容性。4.3 激励4.3. 1 恒压激励传感器采用恒压激励时，直流激励电压的数值从下列数值中选取:3V，5V，6V，9V、10V、12V、15 V、18V、24V、36Vo激励可采用单电源，也可采用双电源方式。传感器用于高频动态压力测量时，激励电源宜采用线性电源。4.3.2 恒流激励传感器采用恒流激励时，直流激励电流的数值从下列数值中选取:0.5 mA、0.8mA、1mA、1.2mA、1.5mA、2mA, 3 mA、5mA、10mAo 4.4 标称桥阻传感器

10、桥阻的标称阻值从下列数值中选取:350 n、600n、1kn、2kn、3kn、4kn、5kn、8kn、10 kn，标称桥阻的允差用其阻值的百分数表示，宜采用下列数值:土10%、士25%、士40%。4.5 工作介质温度范围传感器工作介质温度的下限值优先从F列数值中选取:- 60 oc、550C、-450C、-40oC、-30oC、-250C、-200C、-10oC、0C。传感器工作介质温度的上限值优先从下列数值中选取:50 oC、600C、700C、850C、1000C、125oC、1500C、1800C、2000C、2500C、3000C、3500C、4000C、450oC。4.6 工作环境温

11、度范围传感器工作环境温度的下限值从下列数值中选取:-55 oc、一250C、100C、ooC。传感器工作环境温度的上限值从下列数值中选取:50oC、600C、700C、850C、1000C、1250C。4. 7 补偿温度范围传感器补偿温度的下限值优先从下列数值中选取:一550C、400C、-250C、一200C、一100C、ooC。传感器补偿温度的上限值优先从下列数值中选取:50oC、600C、700C、850C、1000C、1250C、1500C、2000C、250oC 0 4.8 贮存温度范围贮存温度范围的下限温度通常等于或低于下限工作环境温度10oC，贮存温度范围的上限温度通常等于或高于

12、上限工作环境温度10oC20 oC。5 要求5. 1 总则传感器应符合本标准与详细规范的规定。2 GB/T 26807-2011 5.2 外观传感器的外观应元明显的瑕疵、划痕、锈蚀和损伤;螺纹部分应元毛刺;标志应清晰完整、准确无误。超高频响的壁面反射型及自由场型产品敏感受力膜片应与外端面齐平，元明显凹凸及腔室结构，自由场型产品流线型应光滑平整。5.3 外形及安装尺寸传感器的安装密封方式对动态特性有很大的影响，传感器的外形及安装尺寸应符合详细规范的规定，按类型及产品结构由制造商在产品使用说明书中给出适用的安装密封方式。5.4 输入阻抗传感器的输入阻抗应符合详细规范的规定。元内置信号调理电路时，从

13、下列数值中选取:350 n、600n、1kn、2kn、3kn、5kn、10kn、20kn。5.5 输出阻抗传感器的输出阻抗应符合详细规范的规定。元内置信号调理电路时，从下列数值中选取:250 n、350n、500n、600n、1kn、2kn、3kn、5kno 5.6 负载阻抗传感器的负载阻抗应符合详细规范的规定。5. 7 绝缘电阻传感器的绝缘电阻值从下列数值中选取:50Mn、100Mn、200Mn、500Mn。测量绝缘电阻所用直流电压从下列数值中选取:50V、100V、125V、250V、500V o 5.8 绝缘强度测量绝缘强度，用频率为50Hz正弦交流电压测试，传感器应元击穿及飞弧现象。测

14、试电压从下列值中选取:50V、110V、220V、380V、500V。5.9 静态性能5.9. 1 零点输出元内置信号调理电路时，零点输出从下列数值中选取:在士1mV、士2mV、:J:5mV、土10mV、士25mV范围内;有内置信号调理电路时，零点输出从下列数值中选取:应小于l%F.S、2%F.S、5%F.So 5.9.2 满量程输出传感器的满量程输出应符合详细规范的规定。元内置信号调理电路时，从下列数值中选取:30mV、50mV、75mV、100mV、150mV。5.9.3 非线性传感器的非线性应符合详细规范及表l的规定。5.9.4 迟滞传感器的迟滞应符合详细规范及表1的规定。5.9.5 重

15、复性传感器的重复性应符合详细规范及表1的规定。5.9.6 准确度传感器的准确度应符合详细规范及表1的规定。表1传感器准确度等级、非线性、迟滞、重复性准确度等级非线性迟滞重复性%F.S %F.S %F.S 0.05 :;0. 025 :;0.025 主二0.0250.1 :;0.05 :;0. 05 主二0.050.25 ;0. 10 主三0.10主二0.10准确度%F.S 士0.05土0.1土0.253 GB/T 26807-2011 表1(续)准确度等级非线性迟滞重复性准确度%F.S %F.S %F.S %F.S o. 5 25kHz的中高频动态压力传感器，宜采用激波管动态试验方法。6.16

16、.2 频率响应按GB/T15478规定的方法进行试验，在规定的被测量频率范围内，对传感器施加正弦变化的压力，测量输出量与被测量之比及输出量和被测量之间相位差随频率的变化值。结果应符合5.15. 1的规定。6.16.3 谐振频率按GB/T15478规定的方法进行试验，测量传感器具有最大输出幅值时的被测压力量的频率值。按JJG624 -2005计算方法，计算出谐振频率，结果应符合5.15. 2的规定。6.16.4 自振(振铃)频率按GB/T15478规定的方法进行试验，给传感器施加阶跃变化的测量压力，测量在传感器输出中瞬时出现的自由振荡频率值。结果应符合5.15.3的规定。6.16.5 上升时间按

17、GB/T15478规定的方法进行试验，给传感器施加阶跃变化的测量压力，传感器输出从稳定值的10%上升到稳定值90%的持续时间。按JJG624二2005计算方法，计算出输出响应上升时间，结果应符合5.15.4的规定。6.16.6 过冲量对传感器施加阶跃压力信号后，测量其输出超过稳定值的最大值。结果应符合5.15. 5的规定。6.17 环境影响试验6. 17. 1 高温试验将传感器放置在试验箱中，将电源，读数装置按规定的电路连接方式连接好，通电，然后按GB/T 2423. 2一2008中5.2规定的试验方法试验，试验过程中保持全程通电状态，具体试验条件由详细规范规定，结果应符合5.16.1的规定。

18、6.17.2 低温试验将传感器放置在试验箱中，将电源，读数装置按规定的电路连接方式连接好，通电，然后按GB/T 2423. 1-2008中5.2规定的试验方法试验，试验过程中保持全程通电状态，具体试验条件由详细规范规定，结果应符合5.16.2的规定。 GB/T 26807-2011 6.17.3 温度变化按GB/T2423. 22 2002中规定的试验方法试验，具体试验条件由详细规范规定，结果应符合5.16.3的规定。6.17.4 振动按GB/T2423. 10 2008中规定的试验方法试验，具体试验条件由详细规范规定，记录压力传感器振动前和振动过程中的零点输出信号，按附录A公式(A.35)计

19、算振动对传感器零点影响，振动后按6. 10的方法进行静态性能试验，结果应符合5.16.4的规定。6.17.5 冲击按GB/T2423. 5-1995中规定的试验方法试验，具体试验条件由详细规范规定。结果应符合5.16.5的规定。6.17.6 加速度按GB/T2423. 15 2008中规定的试验方法试验，具体试验条件由详细规范规定，结果应符合5.16.6的规定。6. 17.7 外磁场将传感器放置在电磁场干扰试验台中，磁场方向对准传感器第一座标轴向(为Y轴向)，对传感器施加量程50%70%的压力信号，记录传感器输出值，然后施加400A/m(均方根)的磁场信号，调整移相器(03600)，观察传感器

20、的输出变化，并按附录A公式(A.36)计算外磁场对传感器输出的影响，结束后，按6.10的方法进行静态性能试验，结果应符合5.16. 7的规定。6.17.8 湿热按GB/T2423. 3一-2006中规定的试验方法试验，具体试验条件由详细规范规定，试验完成后，结果应符合5.16.8的规定。6. 18 疲劳寿命传感器安装到试验装置上，具体试验条件由详细规范规定，结果应符合5.17的规定。7 检验规则7. 1 检验分类检验分为出厂检验和理式检验。7.2 出厂检验每只传感器应经制造厂检验部门按照规定的检验项目进行检验，检验合格后方可出厂。出厂检验的项目，检验顺序按表3规定进行。表3检验项目序检验项目要

21、求试验方法出厂检验型式检验检验项目号章条号章条号项目项目不合格类型1 外观5.2 6.3 、/J C 2 外形及安装尺寸5. 3 6.4 J 、/C 3 输入阻抗5.4 6.5 、/、/C 4 输出阻抗5.5 6.6 J 、JC 5 负载阻抗5. 6 6.7 J 、/C 6 绝缘电阻5.7 6.8 、/、/B 7 绝缘强度5.8 6.9 、/J B 8 零点输出5.9.1 6.10.2 、JJ C 9 GB/T 26807-20门表3(续)序检验项目要求试验方法出r检验型式检验检验项目f rJ 3 章条号章条号项目项目不合格类型9 满结程输出5.9.2 6.10.3 、/J C 10 非线性5

22、. 9. 3 6.10.4 、/、/B 11 迟滞5.9.4 6.10.5 J 、/B 12 重复性5.9.5 6.10.6 、J、JB 13 准确度5.9.6 6. 10. 7 、/、JB 14 过载5.10 6.11 、/、JB 15 零点漂移5.11 6. 12 、JJ B 16 热零点漂移5. 12 6. 13 、/、JB 17 热满盐程输出漂移5. 13 6. 14 、J、JB 18 零点长期稳定性5. 14 6.15 、jB 19 频率响应5.15.1 6.16.2 、JB 20 谐振频率5.15.2 6.16.3 、/B 21 自振频率5.15.3 6.16.4 、/B 22 上

23、升时间5. 15. 4 6.16.5 J B 23 过冲垃5. 15. 5 6.16.6 、JB 24 幅频误差5.15.6 6.16.2 J B 25 相移误差5. 15. 7 6.16.2 、/B 26 高温试验5.16.1 6.17.1 J B 27 低温试验5.16.2 6.17.2 、/B 28 温度变化5.16.3 6.17.3 、/B 29 振动5.16.4 6.17.4 J B 30 冲击5.16.5 6.17.5 、/B 31 加速度5.16.6 6.17.6 、/B 32 外磁场5.16.7 6.17.7 、JB 33 湿热5.16.8 6.17.8 J B 34 疲劳寿命

24、5.17 6.18 、JB 示例注、/为检验项目;为不检验项目。7.3 型式检验7.3.1 检验原则传感器具备下列情况之一时，应进行型式试验:新产品或老产品转厂生产的试验定型鉴定;正式生产后，如结构、材料、工艺等有重大改变;正常生产时，定期或积累一定产量后，应周期性的进行检验，检验周期一般应为2年;一产IIJI停产一年以上，恢复生产时;一-同类型产品进行比对时;10 GB/T 26807-2011 -一国家质量监督机构提出进行型式试验的要求时。7.3.2 型式检验项目型式检验项目及检验顺序按表3的规定进行，根据传感器的不同类型、原理、使用环境可适当增减检验项目。7.3.3 抽样、判定规定型式检

25、验的抽样按GB/T2829 -2002相应条款执行，抽检样本共10只，提供的样品基数应大于2倍抽样样品数量。以不合格品数为判断依据。样本量n=10，采用判别水平I的一次性抽样方案。对于B类不合格项，采用不合格质量水平RQL=20，Ac=1、Re=2。对于C类不合格项，采用不合格质量水平RQL=40，判定数组Ac=3、Re=4 0 出现下列情况之一时，判本次型式检验不合格:无C类项目不合格，有三个B类项目不合格时;有二个B类项目不合格，同时有一个C类项目不合格时;有一个B类项目不合格，同时有三个C类项目不合格时;B类项目不合格，有5个C类项目不合格时。7.3.4 对不合格判定的处理检验结果被判定

26、为型式检验不合格时，按GB/T2829 2002中5.12.3规定的原则进行处理。8 标志、包装、运输及贮存8.1 产品标志传感器应有以下标志:a) 电源输入线和输出线及极性的标志;b) 差压传感器的高压端和低H端接口应有永久性标志;c) 型号标记应包含下列内容:1) 型号;2) 出厂编号;3) 量程;4) 生产日期;5) 生产单位名称或商标。当传感器的尺寸小到无法全部标注以上内容时，至少应包含a)、b)两项内容。8.2 包装8.2. 1 随机文件a) 产品合格证书;b) 产品使用说明书;c) 装箱单;d) 随机备用附件清单;e) 安装图;f) 其他相关文件资料。8.2.2 传感器包装a) 传

27、感器的包装应符合设计图纸规定;b) 产品应采用防雨、防潮气聚集的塑料薄膜包裹，顶部、底部及产品四角应按需衬垫泡沫层;c) 技术文件如使用说明书、合格证明书和保修单等应进行密封防潮包装，固定在包装箱内部明显的位置。11 GB/T 26807一-20118.3 运输传感器的运输必须严格遵照包装箱上注明的条件，严禁日晒、雨淋、倾斜或强烈振动。运输方式按订货合同上载明的要求执行。8.4 贮存包装后的传感器应贮存在一10.C+55.C、相对湿度不超过85%，元凝露，元腐蚀性气体和腐蚀性化学药品，通风良好的室内，贮存期不应超过一年。12 G/T 26807-2011 附录A(规范性附录)传感器性能指标的计

28、算方法A.1 实际工作特性在传感器的整个测量范围内取m个校准点，校准点通常应包括零点和测量上限点，一般取m=(51l)点，进行n次压力循环校准试验，校准循环一般取n=(35)次，则在任一校准点上分别有n个正、反行程试验数据，计算每个校准点上正、反行程试验数据的平均值和总的平均值z正行程平均值:Fuz=72Yuo 反行程平均值z于四=tzY问总平均值:Yi二专仇+Yn，)式中:YUij一正行程第i个校准点第1次的示值。=1，2，3，m，j=1，2，3，n); YDij 一反行程第i个校准点第1次的示值。=1，2，3，m，j=1，2，3，n);Yi一一第i个校准点正反行程总平均值in一一重复试验次

29、数;m一一校准点个数。A.2 参比工作直线A. 2.1 端基直线平移法首先，计算端基直线方程YEP:.( A.1 ) .( A.2 ) .( A.3 ) YL XH - YH XL , YH - YL YEP =一一一一一一-一一一十一一一一一.X( A.4 ) XH -XL XII-XL 式中:XH、XL表示测量上、下限压力值;YH、YL一一表示测量上、下限输出值的平均值;则端基平移直线作为参比工作直线方程为:Y=a+bX ( A.5 ) 计算各校准点正、反行程总平均值与端基直线方程差值中的最大值(最大正值)和最小值(最大负值或零): (t,.YLH ) mox = (Yi - Y EPi)

30、 max ( A.6 ) (t,.YLH ) min = (Yi - Y EPi) min ( A.7 ) 则端基平移直线的截距按公式(A.的计算:y , X -Y日.X, . 1 = H .L H !.:+一(t,.YLH ) max + (t,.YLH) minJ XH -XL ( A.8 ) 13 GB/T 26807一-2011斜率b按公式CA.9)计算:A.2.2 最小二乘法b= II-YL 一二XII-XL 最小二乘法作为参比工作直线方程为:Yu;=a十bX截距a按公式CA.11)计算:X立-XiXiYi i=l i=l i=l i=l a= mXi2一(艺X;)2式中:m 校准点

31、个数。斜率b按公式CA.12)计算:m艺XiYi-Xi于a.C A.9 ) . C A. 10 ) C A. 11 ) C A. 12 ) mX一(艺Xi)2i= i=l A. 2. 3 对于定点使用的非线性传感器，可采用正、反行程的总平均值为传感器的工作特性。A.2.4 对于非定点使用的非线性传感器及带刻度方程的线性传感器，可采用刻度方程为其工作特性。A.3 满量程输出值CYF.S)A.3.1 传感器测量上限输出值与测量下限输出值之差的绝对值(以理论特性直线的计算值为依据)为满量程输出，即:YF.S = Ib. CXH -XL) I . C A. 13 ) 式中:b 理论工作直线的斜率;XH

32、、XL-一为测量上、下限的压力值。A.3.2 对于定点使用的非线性传感器，满量程输出:YF.S = I Y H - YL I .C A. 14) 式中:YH ,YL 为测量上、下限输出值的平均值。A. 3. 3 对于非定点使用的非线性传感器及带刻度方程的线性传感器，满量程输出为:Y F. S = I Y H - Y L I .C A. 15) 式中:YH、YL为刻度方程上的上、下限点的计算输出值。A.4 非线性CL)A.4.1 线性压力传感器的非线性指标:一|Yi-Yilmax,/ 1 ( D.t.: C A. 16 ) Y F. S 式中:Yi一根据公式CA.3)计算出的输出总平均值;Yi一

33、一根据公式CA.5)或公式CA.10)式计算出的理论值，对于带刻度方程的线性压力传感器为其14 GB/T 26807-2011 刻度方程对应的输出值。A. 4. 2 非线性传感器不计算非线性度指标，对于非定点使用的非线性传感器，计算刻度误差(K)(指标要求与非线性度相同): K =JYi二Yi1m- x 100% .L F. S (A. 17) 式中:Yi一一根据公式(A.3)计算出的输出总平均值;Y;一一非定点使用的非线性压力传感器刻度方程对应的输出值。A.5 迟滞(H)% nu nu 四一-Y-n 二YU一-VA-H 户户、.(A. 18) A.6 重复性(R)采用贝赛尔公式分别计算每个校

34、验点上正、反行程输出值的子样标准偏差:正行程子样标准偏差5u;:5Ui=J击主(YU;j- Y U;)2 . ( A. 19 ) 式中:n 重复试验的次数。反行程子样标准偏差5Di:5Di=J己去(Y问儿)2传感器在整个测量范围内的子样标准偏差5:. ( A. 20 ) 5= I本(主5t十三5;).( A. 21) 式中:m一校准点个数。则重复性为:S R =石7一x100% .L F. S . ( A. 22 ) 式中:一一一包含因子，一般取).=30也可以按t分布取值，但不推荐使用，取包含因子).=to川保证95%的置信度)，其与校准循环次数n和校准点个数有关，具体见表A.1。表A.1按

35、t分布的包含因子取值m(-1) tO.95 A.7 准确度()A. 7.1 传感器的准确度是系统误差与随机误差的综合反映，即取决于系统误差与随机误差带的大小。15 GB/T 26807-20门A. 7. 2 线性传感器的系统误差带a) 采用端基平移直线时:U1二士(|YuzYz|mJ|tu YAJ (A23) 式中:YUi、YDi分别为根据公式(A.1)、公式(A.2)计算出的正、反行程输出平均值。Y i 为根据公式(A.5)计算出的端基平移直线方程计算输出值。b) 采用最小二乘法时:正行程的系统误差为:(6Y) Ui = 1 Y Ui -YLSi 1 max. ( A.24 ) 反行程的系统

36、误差为:(6Y)阳=IY阳-Y山Imax.( A.25 ) 式中:YLSi 为根据公式(A.10)计算出的最小二乘直线方程计算输出值。则U1为(6Y)Ui与(6Y)践中较大者。A. 7. 3 对于定点使用的非线性传感器，系统误差带为:U1=|Yuz Ym|mH A. 7. 4 对于非定点使用的非线性传感器及带刻度方程的线性传感器的系统误差带为:正行程的系统误差为:式中zY 刻度方程对应值。反行程的系统误差为:(6Y) Ui = 1 Y Ui -Y 1 max (6Y)Ili = IYDi -YI max 则U1为(6Y)Ui与(6Y)田中较大者。A.7.5 传感器的随机误差U2为:A. 7.

37、6 传感器的准确度($): A.8 零点漂移(dz)式中:U2=士3Slu11十lu211, 0/ $=士，I l I X 100 % .L F. S d.一IYma二Ym;n1 x 100% , I ma:, mm I X 100 % .J. F. S YmaX、Ymin零点漂移的考核期间内零点示值的最大值、最小值。A.9 零点长期稳定性(rz)r, =JYma汇Ym;n1 x 1 式中zY max Y min-考核期间内零点输出的最大值、最小值。16 ( A. 26 ) . ( A. 27 ) ( A. 28 ) . ( A. 29 ) ( A. 30 ) ( A. 31 ) . ( A.

38、 32 ) GB/T 26807-2011 A.10 热零点漂移()Y(t2) - Y(t1) 二211/ X100% Y F.S (t2 - t1 ) .( A. 33) 式中:t1 室温;t2 为上限补偿温度或下限补偿温度;Y(t1 )一一室温时，传感器的零点输出;Y(t2)一一一为上限补偿温度或下限补偿温度下，传感器零点输出。A. 11 热满量程输出漂移(p)卢=1YH (t2 ) - YL (t2 ) 一YH (t ) - Y L (t ) -/ 1 0/ X 100% ( A.34 ) Y F. S (t2 - t ) , v 式中:t 室温;t2 为上限补偿温度或下限补偿温度;Y

39、H (t j ) 室温时，传感器的测量上限输出;Yfj(t2)-t2温度下，传感器的测量上限输出;YL (tl) 室温时，传感器的测量下限输出;YL (t2) -t2温度下，传感器的测量下限输出。A.12 振动对传感器零点影晌侣。)7一IY L - YU1 I max v 1 0,( Zo = I L T LU I max X 100 % .L F. S 式中:YL 振动过程中，传感器的零点输出值;YLO -振动前，传感器的零点输出值。A.13 外磁场对传感器输出的影响(CC)| Ym -YmO I =y 100% 式中:Ym一施加外磁场过程中，传感器的输出值;YmO一一施加外磁场之前，传感器

40、的输出值。试验过程中保持传感器的输入压力不变，输入压力为传感器量程的50%70%。.( A.35) .( A.36) =ON|hoNH固。国华人民共和国家标准硅压阻式动态压力传感器GB/T 26807-2011 中9号中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号(100013)北京市西城区三里河北街16号(100045)网址总编室:(010)64275323发行中心:(010)51780235读者服务部:(010)68523946中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销峰开本880X12301/16 印张1.5字数39千字2012年1月第一版2012年1月第一次印刷峰24.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68510107定价书号:155066 1-43898 GB/T 26807-2011 打印H期:2012年2月3忖F002A