GB 6306.1-1986 变容真空泵抽气速率(体积流率)测试方法.pdf

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1、中华人民共和国国家标准变窑真空泵抽气速率体积流率测试方法Measarement or pwnping speed (,olume rate or f10W) of posithe-Displacemeat ，acuum阳mpsUDC 821. 521: 512 .5市.2GB .808.1-88 本标准适用于单级极限压力低于100Pa，并能直接向大气空间排气的变容真空泵以下简称泵抽气速率体积流率)的测试。本标准是变容真空泵性能测试方法系列标准之一。本标准等效果用国际标准ISO1607/ 1 -1980 (变容真空泵性能测试方法一第一部分E体积梳率抽速的测试比1 名词术语1. 1 抽气速率体飘流

2、率)在理想状态下，单位时间内流经泵口的气体体积。实际应用中，抽气速率(s)定义为，泵按规定条件运转，从测试罩流过的气体流量(q)与规定位置上的平衡压力灿的比值，简称抽速。即，s=亏L / s 1. 2 极限压力泵按规定条件运转，在不引人气体的测试罩内趋向稳定的最低压力，Pa。1.8 测试罩指装在泵口上的具有规定形状和容积的容器。经过计量的测试气体通过它充人泵内，其上装有微调阀和真空计。2 测试装置2.1 测试罩罩为圆筒形(图la)。其内径为D，高为1.5D。测试气体人口位于罩的轴线上，并背向泵口，与法兰乎面距离为D。真空计或规管)连接管距法兰平面0.5D，并垂直于罩轴线。罩的容积(VD)至少应

3、是泵一个压缩周期扫过容积(Vp)的五倍。罩与泵口之间需要连接一个长度不起过0.5D的异径管接头图1的。不同规格的泵适用的测试罩由表l给出。国家标准局1986-04-25发布1987-01-01实施标准搜搜网各类标准行业资料免费下载编号V p L 1 。-0.262 0.26-1.1 3 1.1-4.2 4 4.2-17 5 17 - 65 6 65 - 260 2.2 真空计GB 8808.1一接辅助气阀图1表1VD 1.3 5.4 11 84 325 1300 告L D mm 100 160 250 400 630 1000 根据所测压力，选用不同种类和精度的真空计。其校准精度为z臣力大于或

4、等于1Pa，在:t5%以内。压力低于1Pa，在:t10%以内。2.3 流量计根据所测流量，选用不同种类和规格的流量计。其测试精度为2标准搜搜网各类标准行业资料免费下载GB 8108.1-88 流量大于1W，在:t3%以内，流量介于1-1O-4W之间，在:t5%以内，流量小于10-4 W，在士10%以内。 测试条件测试时应符合以下条件za. 泵实际转速与额定值之差不大于士3% I b. 泵液种类和数量应符合设计要求，C. 水冷泵的冷却水流量和温度应符合设计要求，d. 吓境温度在15-25C之间，测试期间波动不大于士1C I e. 测试气体为室内空气，.相对湿度不大于75%I f. 测气镇泵时，其

5、掺气量应符合设计要求。4 测试方法4.1 原理采用定压法测泵的抽气速率。即在测试施量过程中，罩内压力保持不变。4.% 步骤抽气速率测试装置如图2所示。图2测试装置关闭微调阀，开泵运转，并充分气镇，待泵温半衡并接近极限压力时，开启微调阀，把测试气体放人罩内，以建立一个设定的平衡压力，同时测定气体流量。并按1.1的公式计算该压力下的抽气速率。测试应从略高于极限压力的适当值开始，直至大气压或适合泵结构特点的其他压力。每个压力数量级内至少测三点，它们大致是2.5、5和10。若测一次流量时间较长，压力应重复测量，并取其二jl均值。如果最高与最低之差大于半均值10%，流量和压力都应重新测定。对于气镇泵，应

6、在上述测试之后完全打开气镇阀，待泵温再一次半衡后，重新测试气镇时的抽气标准搜搜网各类标准行业资料免费下载GB 1801.1-86 速率，5 测试报告将测试结果填人真空累性能测试记录表租给翩气速率-压力曲线图(图3)。表中抽气效率等于裂的实测抽速与几何抽遍的百分比。、. , 、，l ytu , . 、10 . 田，唰刷，国mml -mln 11 四4凤10-4 10-3 10咽210 -1 1 101 102 103 一不带气镇.带气撞 (T orr ) 图3抽节速率-压力曲线标准搜搜网各类标准行业资料免费下载GB 8308.1-86 附录A真空计和压力测量补充件A .1 真空计根据2.2条对真

7、空计精度的规定，应采用下列真空计z当压力低于1.3x 103Pa时，用标准压缩式真空计，当压力介于5.3x103-5.3 x.i02 Pa之间，用油U形管真空计，当压力介于1X 105 -5.3 x 103Pa之间，用京单管真空计。A .2 压缩式真空计采用的标准压缩式真空计必须具有计量部门签发的有效检定证书。使用的东必须具有99.9%的纯度，并经过充分过海、清洗和真空蒸锢。不使用时，计内应保持真空。数。采用纯度不低于99.9%的氯气来提升计内的录。真空计与测试罩之间，不准有橡胶管和带真空油脂的玻璃阀门。若计装有冷阱，测抽气速率时，允许不灌注冷剂。压缩式真空计采用无标定标法。提开隶的速度不得太

8、快，提升结束，至少稳定一分钟，方可读.A.3 油U形管真空计抽U形管真空计(见图应该管径均匀，并具有1mm的分度标。测量用油20.C时，蒸汽压低于O.133Pa，运动粘度低于30x 10 - 6 m 2 / S J密度应实际测量。预抽泵的极限压力应低于O.133Pa。使用前，先经过充分去气，测量时，待液柱稳定后方可读数。袖U形管真空计标准搜搜网www.bzsos口.corn各类标准行业资料免费丁载GB 6806.1一附录B流量计和流量测试参考件B.1 根据2.3条对流量测试精度的规定，推荐按下表选用流量计。测型式规格或型号w 1.5 1.2 x 10- 4-1. 33 X 10-3 5 1.

9、33x 10-3- 1.33x 10- 2 滴管式15 1. 2 X 10-2 -1.33 x 10- 1 50 1. 33X 1O-1- 1.6 150 . 1.2-14.3 LZ B -10 14.7-45.3 L Z B -15 42.7-160 玻璃转子式LZ B -25 146.7-453 LZB-40 533.3-1600 LZB-50 1600-4530 B .2 滴瞥式流量计量范圄Torr. L/s 9 X 10-4- 1 X 10-2 1 X 10-2- 1 X 10-1 9 X 10-2- 1 1 -12 9 -107 110-340 320-1200 1100-3400

10、4 000-12000 12000-34000 滴管式流量计的结构如下图所示。测试段长度(从刻线1到2)为200mlllo测试段容积的测试精度为土1%。连接微调阀的橡胶管尽量要短而细。油槽截面积应大于180cm2。测试用抽20.C时的运动粘度应低于30x 10 - 6 m 2 j S ，其密度应实际测量。滴管式流量计所测流量按下式计算zq = V pat (1 + (Vo - V) h jVpat)/t . (Bl) 式中:q一一所测流量，Wpa. L j s , Y一一测试段容积，m3, Pat-一实测大气压，P a , Y。一一测试前滴管内从油面至微调阀封口之间的总容积，时，h一一油柱开高

11、到刻线2后，与油槽内油面的距离，mm , 标准搜搜网阳明月各类标准行业资料免费下载G8 6308.1-86 y-一用抽实测密度与oC素的密度(13.59)之比1卜一油柱从刻线1升到刻线2的时间，规定取t= 25- 300s 0 8 .8 玻璃转子流量计S N 摘管式流量计玻璃转子流量计应具有1.5级精度，其所测流量按下式计算:q= Q pat川式中:q-一所测流量，W, 。一流量计视值，m 3/h, Pat一一实测大气压，Pa, Pl-一流量计标定时的大气压力，取Pl= 101325Pa, T1-一流量计标定时的热力学温度，取T1= 293K , T2-一测试时的热力学温度，K。标准搜搜网各类

12、标准行业资料免费下载名义抽速L/s 极限分压Pa GB 808.1-88 附录C型真空泵性能测试记录表参考件)年几何抽速L / s 月制极限全臣Pa 气镶极限分臣编号gg/ h Pa 气镶极限全压，Pa 设计参数转速r/ min 电机型号电机功率. kW 重量kg 啸声级dB (A) 振动速度mm/ s 泵汹牌号冷却水量kg/h 进出水温差 工作温度试验条件开始时室温 结束时室温.C 相对湿度冷却水量kg/ h 进出水温差 |风力测量值极限分压Pa 极限全压Pa 气镇极限分压最大水蒸汽分压Pa 抽水蒸汽量g/ h 噪声级工作温度 测温部位振动速度啧漏汹情况描述:臣力Pa 流量生Pa. L/ s 抽速L/ s 抽气效率% . r 测试人民制表人民附加说明:本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出。本标准由机械工业部沈阳真空技术研究所起草。本标准起草人徐光、高峰、张书范。.C % 级Pa mm/ s 消耗功率测试日期标准搜搜网各类标准行业资料免费下载注汹量L 掺气量L/ s 大气压Pa 测试罩编号气镇极限全压Pa 声场地基kW 转速r / min 年月日