SJ Z 2927-1988 集成电路制版设备名词术语.pdf

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1、国3 1988-03-10发布共和子工业SJ/Z2927 88 1988-10-01 布中华人民共和国电子工业成电路制版设性技术文件词术语SJjZ2927 813 本指导性技术文件规定的名词术语适用于集成电路光学制版主要设备油研制、使用、测试及验收。1姐名1 1 1. 2 mask-making equipment 在半导体工艺中，制作掩模的工艺设备，称为制版设备。通常包括制作原因的座标刻图机，制作中间掩模的初缩照相机、图形京生器JM作主掩模的精缩照相机，创作工作掩模的掩模复印机、电子束曝光机、激光制版等主要设备。coordinatograph 在制版工艺中，利用座标原理，刻刀作剧继坦白，刀失

2、在红膜上刻出则痕，揭掉元用部分，形成原图的工艺设备，称为座标刻图机。通常由放置红膜的台国、作两雄运动的刀架、刻刀等组成。1. 3 初缩照相机1. 4 first reduction camera 在制版工艺中，利用透镜成像原理，将原因缩小，制作中间掩模的工艺设备，称为初照相机。又称一次缩小照相机或大型照相机。通常由光源、原图架、缩小物镜、版盒、系统等组成。pattern generator 在制版工艺中，由图形数据直接制作中间掩模的工艺设备，称为图形究生器。叉称原因发生器。其工作原理是把纸带或磁带存储的图形数据输入给图形发生器的控制系统，控制放有感光版的工作台和成像系统协调动作，制出中间掩模。

3、通常由计算机系统、控制软件、电气控制系统、精密工作台系统、成像系统等组成。1. 5 精缩照相机photorepeater 在制版工艺中，将中间掩模的图形选行缩小并分步重复照相，在感光版上形成图形阵列，制作主掩模的工艺设备，称为精缩照相机。叉称分步重复照相机。通常由高分辨的光学成像系统、中间掩模对准系统、精密工作台系统和电气控制系统等组成。1. 6 掩模磊印机mask printer 一将主掩模复印成工作掩模的工艺设备，称为掩模复印机。通常山控制系统、光源、透镜组和复印室等组成。. 一细一一中华人民共和国电子1988 03一11 SJjZ 2921 88 1. 1 轧胶版1.8 1.9 high

4、 resolution t mulsion plate 在玻璃衬底上涂千:感元?L胶的掩模材料称为乳胶版。也称明胶版或超做粒干版。在制版工艺巾，一般用于制作中间掩模、主掩模或工作l-e.1夭。chromium plate 在玻璃衬)点七镀制有错膜的掩模材料称为锚版。在制版工艺中，一般用于制作主掩模、工作掩模。original artwork 在制版工艺中，根据集成电路放大的设计版图，由于工、座标刻图机、自动刻图机刻制的红膜图，称为原图。1.10 中间掩1. 11 master reticule 在制版或光刻工艺中，待分步重复、缩小的掩模，称为中间掩模。叉称初缩版或一次。master mask

5、在制版工艺中，将中间掩模经分步重复、缩小而制成图形阵列的掩模，称为主掩模。叉称母版、精缩版或二次版。1. 12 工作掩working mask 在制版工艺中，由主掩模复印而成用于光刻工艺的掩棋，称为工作掩模。又称光刻掩棋。2 性能指标名词术2.1 圈effective area of engravlng artwork 座标刻图机可刻制原图面积。单位z平方毫米。2.2 重1钱间距误span error in indenting line 在刻制原因时，两刻线之间实际距离与理想距离的偏差。单位s毫米。2.3 雯1圃直径diameter error in engraving artwork 在刻制

6、圆圆形时，实际直径与理想直径的偏差。单位z毫米。2.4 制版有效面积eUective area of mask-making 在制版工艺中，可制作图形的最大面积。单位z平方毫米。2.5 单元图形面积2 SJjZ 2927 8 唱Fsingle pattern area 精缩照相机制版时，一次曝光可制作最大图形面积。单位:平方毫米。2.6 工作台行程stage travel 工作台作直线运动的最大范围。单位z毫米。2.7 运动直线性mov ing linearity 在运动范围内，运动件实际运动轨迹对理想运动轨迹的最大偏差，如图l中，1y。单位2微米。图l运动直线性2.8 工作台垂直度stage

7、 orthogonality 作两维运动的工作台，在运动范围内，某一运动方向的平均直线轨迹对另一运动方向的平均直线轨迹在垂直方向的变动量，如图2中A或A所示。单位:微米或度。A民12.9 工作台最高速度maximum stage speed y 飞图2工作台垂直皮单位时间内，工作台某一方向所能移动的最大距离。单位:运米/秒。2.10 工作台加速度stage acceleration 单位时间内，工作台运行所能达到的j过高速度。单位z，毡米/平方砂。2.11 工作台位置分辨stage position resolution 工作台实际运动中，任意一次运动都能实现的最小UL移量。单位:快米。3四-

8、SJjZ 2921 88 2.12 工作台计数分辨stage register resolution 工作台削长系统可分辨:13最小长度。又称脉冲分辨率或脉冲当量。单i立z微米/脉冲。2.13 工作台程序分辨stage programmable resolu tion 计算机控制工作台运行时，由程序所决定的最小位移量。单位:微米。2.14 孔径运动范围apertue range 孔径从最小到最大的变，以象面的面积表示。单位z平方微米。2.15 孔径分aperture resolution 由控制系统所决寇的孔径最小位移量，以象面长度表示。单位:微米。2.16 孔径aperture progra

9、mmable resolution 计算机控制孔径运行时，由程序所决定的孔径最小位移量，以象面长度表示。单位22, 17 孔径刀口平行庭aperture blade parallelism 在运动范围内，孔径相对刀口之间在平行方向上的变2, 18 孔径刀口垂直庭aperture blade orthogonality 在运动范围内，孔径相邻刀口在2.19 孔径转动范aperture rotation range 孔径从零位起旋转2.20 孔径转动程序分角度范围。单位z度。aperture rotation programmable resolution 由程序决定的孔径转动的2, 21 孔径转

10、动回霉重复性角度。单位z度。单位s微米。单位tzero-degree repeatability of aperture rotation 孔径旋转多次重复回零的一致程度，以象面2, 22 孔径转动对中性aperture rotation centering 极限误差表示。单位z微米。孔径中心相对孔径旋转中心的偏移量。单位z微米。2.23 孔在与工作台运动直线平行性alignment aperture with stage motions 子L位刀口在象面上的图象与工作台相应运动直线在平行方向上的变动量。单位z微米。2, 24 镜头分辨率lens resolution 4一SJ/Z 2927

11、89 在标准工艺条件下(或在实验室条件下)，在镜头视场内，单位氏度可分辨线对的数目，84单位M积可分辨的保元的数H。单位:线对/毫米。2.25 镜头实抽分辨事lens practical resolu tion 在一般工艺可接受的条件下，在镜头视场内，实拍的版面上，单位长度可分辨的线对的数日，EP;单位商积可分辨的像元的数目。单位z线对/毫米。2.26 自动铜焦范围automatic focusing range 可自动调节像距的最大距离。单位=微米。2.27 调焦精度focus accuracy 自动调焦或手动调焦时，实际像距与理想像距之偏差。单位z微米。2.28 调焦分focus reso

12、lution 在调焦范围内，调焦系统实际调节可分辨的2.29 焦深depth of focus 。单位z。按镜头规定的分辨率，在光轴方向上可清晰成像的范围。单位z微米。2.30闪f1ash frequency 单位时间内，能达到制版要求的闪光次数。单位:. :./秒。2.31 exposure 记录介质感受到光辐射总能量的一种变量。它与光的强弱和两者的乘积称为曝光量。单位z尔格/平方厘米。间有关，习惯上，将2.32 曙光均旬性uniformity of illumination 括一次曝光各点所接受的一致程度。用式(1 )表示。均匀性=士值%. . 2.33 曝光一致性uniformity o

13、f exposure 在i出版有效面积内，多次2.34 曝光方式scheme of exposure ;lli. .-( 1 ) 的一致程度。在制版过程中，对感光版曝光顺序所采用的方式。按工作台运行状态分为步进式行进式曝光p按工作台运动轨迹可分为S形轨迹曝光和E形轨迹5 SJjZ 2927 88 一2.35 复印分辨print resolution 在制版有效面积内，单位长度可复印的线对数日.或单位面积可复印像元数目。单位z线对/毫米。2.36 异图分布different pattern distribu tion 精缩照相机在制作主掩棋时，将两个或两个以上中间掩模中的图形以同一阵列或不同阵列

14、，曝光在同一块感光版上的功能。3 精度名词术3.1 工作台重复精度stage precision 工作台多次重复运动的符合在度，即工作台在全行程内的任一点作重复定位时实际位置的分散程度。m哈大极限误差土3a I!lax (或士2max)表示。3.2 工作台定位精度stage accuracy 工作台定位时.实际位置与理想位置的符合程度，即工作台在全行程内定位的准确度。以工作台的实际位置与理想位置之差来评寇。重复精度与到二位精度的关系见图3。图3重复精度与定位精度3.3 对;佳精度alignment accuracy 在精缩照相机中，中间掩模实际对准位置与理想对准位罩之偏差。单位z微米。3.4，

15、罔机套准清度machine registration accuracy 由同一台图形发生器所制作的同升1卡集成电路的各层中问掩模之间，或由同一台精缩照相机所制作的同一种集成电路各层主掩棋之间，互相套准，各层相应图形的实际位置之间的偏差，lJ为II可机去i骨，精度。以线性值表示，单位:微米。3.5 鼻机套?在精度machine to machine registration accuracy 一6时SJjZ 2927 88 由两台或两台以上的图形发生器所制作的同一种集成电路的各层中间掩模之间，或由两台或两fT以上的精缩照相机所制作的同种集成电路的各层主掩模之间互相套准，各层相应图形的实际ftEi

16、之间的偏差，即为异机套准精度。以线性值表示，单位:做米。4 设备结构名词术4.1 精密工作台precise stage 放置感光!圾，能实现移动，并能进行精确定位的部件，称为精密工作台。又称xy工作台或工件台。它向导轨系统、测长系统、伺服驱动系统组成。4.2 guidance system 在六维.自由度空间中，保证运动件按规定应标方向运动的系统，称为导轨系统。它由承载和导向机构组成。4.3 WiH是系length-measurement system 测量精密工作台实际位移，将位移琶转换成电信号并反馈到伺服控制系统，以保证工作台实现精确定位的系统，称为IJ长系统。4.4 伺服驱动系统serv

17、e driving system 根据;川江信息.由伺服控制系统对运动件实施起、停、定，位，以使运动件作相应运动的系统，称为伺服驱动系统。它由伺服控制系统、电机及传动机构组成。4.5版架reticule holder 精细照相机成像系统中固定中间掩膜的矩形金属框架。4.6 cassette 装卸于工作台商、用于放置感光版句并能确保其正确位置、具有遮光功能的专用夹具。4.7 可变孔径variable aperture 在图形发生器上，用于产生可变矩形图形的机楠，简称孔径。又称可变光栏或可变狭缝。通常由两组可开合的刀口组成。4.8 固定图形台fixative atage 在图形发生器中.物而上放置

18、具有单个或多个图形的掩模的工作台。4.9校准台calibration table 用于校准中间掩模或罔定图形与版架相互位置的装置。4.10 原图架artwork moun t 7一SJjZ 2927 88 一l一在初缩照相机中，用于同定原因的框架。4.11 复印copylng room 在掩模复印机中，放置主掩模和1感jt版的机构。4.12 imaging system 在制版设备中，为产生清晰图象的系统，称为成像系统。又称照相系统。它由光源、EE、剧及调焦机构等组成。. $一2927 88 s.l jZ 一一甲一一一份，A 附一叶，币导. . ,_ .-牛J况工艺及所用设电路(参考件) 带一

19、揣一握一精明州-对反一一没-所7;二。一般响He.一AH川tv tL-1日如罔A寸-集成电FJ;iU11曰T.艺及设-广图形我直(光穿)图到型自因刻一一一甲寸痛初图形发生(党一l!ill-椅喋电子束一一一.四B 一iillli-|到A缩拉杏卢修整印复景一一fli1 T二一一_1 -以LV一t害!精昂昂龟A . 口i叉4.6 ., . . . . . 暗盒R 4.5 . . . . . ., 架版2.34 . . . . . 式斗刀光2.32 . . 眼光均匀忙!1.曝光景. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

20、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2.31 光致性. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 . 33 一9 -SJjZ 2927 88 C 测长系统. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

21、 . , . . 4.3 成像系统. . . 初缩照相机. . . . . . D 单元图形而积. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2.5 导轨系统. . . . 4. 2 对准精度3.3 F 复印分辨率 2.35 复印室. . . . . . . . . . , . . . . , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

22、. . . . . .,.4.11 G 格版L8 工作台程序分辨率2.13 工作台复精度工作台垂直度.2 _ 8 工作台定位精度. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .HH-3.2 工作台计数分辨率. . . . . . . 工作台加速度. . . . . .2.10 工作台位置分辨率., . . . . . . ,. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2. 11 工作台行程. .

23、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2.6 工作台最高速度. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2.9 工作掩模. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

24、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 . 12 固定图形台. . , . . . . . 4.8 J 焦深. . . . . . . . . . . . . . . . . , . . . . . . . . . . . . , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2.29 精密工作台. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

25、 . . . . . . . . . . . . . 4 1 精缩照相机. . . . . . . 头分辨率. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2.24 镜头实拍分辨率. . . K 可变孔径.，.，.，.4.7 刻固有效面积. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

26、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . , . . .2 . 1 刻线间距误差刻圆直径误差孔径程序分辨率孔径刀口垂直度孔径刀口平行度10 一.,.,.,.,.t .2. 2 2.3 2.16 .2. 18 . 2. 17 、SJjZ 2927 88 一曹E申孔径分辨率. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2

27、 , 15 孔径与工作台运动直线平行性2.23 孔径运动范围2.14 孔径转动程2.20 孔径转动对中性2.22 孔径转动范罔. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 , 19 孔径转动因零噎复性. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ., .2 , 21 R 乳胶版. . . . 1.7 S 闪光2 , 30 伺服驱动系统，, T 调焦分辨率2.28 度.2.27 同机套准精度. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

28、. . . . . . . . . 3 4 图形发生器.1.4 X 校准台. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4. 9 Y 异机套准精度3.5 异图分布. . . . . . . . . . . .2 , 36 复印机1. 6 原图1. 9 原图架4 , 1 0 运动直线性. . . . 2.7 Z 制版设备1.1 制版有效面积. . . . . . . . . .2.4 自动调焦范围2.26 中间1. 10 主掩模11 座标刻图机. 附录c 英文引A lignmen

29、t accuracy 3 , 3 11 一alignment blade aperture apertur巳aperture aperture aperture aperture aperture aperture artwork automatic SJjZ 2927 88 一一一一一一aperture with motions 23 stage -2. orthogonali ty .-2. 18 blade parallelism 2.17 programmable resolu tion . 2. 16 range 2.14 resoJtion .e2. 15 1otation cen

30、tering 2.22 rotation programmable resolution 2.20 rotation 2. 19 range mount .4_10 focusing range 2.26 C calib1ation table 4.9 cassette.4.6 chromium plate. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1.8 coo1 dinatograph . . copylng 1.2 room ,. .阉M.

31、. 4.11 D depth of fo二us 2.29 effective ar巳aof effective area of diameter different exposure first er1o 1 1n artwork. . . . . . . . . . . . . . . . . .2.3 a go nu 11 Y忏ut- 俨A伊AFb ns hJ唱AlzG ., 2. 36 pattern E artwork. 2 engrav1ng mask-making .2. 4 2.31 F reduction camera 1.3 fixative stage . . . . .

32、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .,.4.8 f1ash frequency . . . . . . . . . .2.30 focus accuracy .HH-HH-2.27 focus resolution.,.2.28 guidance G system 4.2 H high resolusion emulsiori plate 1. 7 lmaglng 一12一sy stern.,.,.,.HH-4.12 SJjZ 2927 a8 一L length -me

33、asurement system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . , . 4.3 lens practical resolution .e.2.25 lens resolution . ,. 2.24 M machne rc:s istration accuracy .3.4 machine to machine registration aCcuracy 3.5 mask-making equipment1. 1 mask printer ,. e.，.o.elJ master mask -1. 11 master retic

34、ule 1.10 maXlmum movlng stage speed a 2.9 linearity. . . . . . . . . . . . . . . . . . 2.7 。original artwork. .雹1.9P pa ttern genera tor 1.4 photorepeate r. . . . . . , . . . . . . . . . . . . . . . , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1. 5 preclse stage 4.1 print resolution. . . . . .2.35

35、 R reticule holder . . . 4.5 S scheme of exposure.2.34 serve driving system .4.4 single pattern area 2.5 span error ln indenting line 2_2 stage acceleration . . . . . . . .2. 10 stage accuracy .,.3.2 stage orthogonali ty .2.8 stage position resolution 2.11 stage preciSion . . . . . . . . . 3. 1 stag

36、e programmable resolution . 2. 13 stage register resolution 2.12 stage travel. . . . . . . .,. . . . . . . . . . . . 2.6 U uniformity of exposure 3.33 uniformity of illumination . . . . . . . . 2.32 一13 -SJjZ 2927 88 V variable aperture . . . . . . . . .4.7 W working mask .:1.四z zero-degree repeatabi1 ity of aperture rotation. HH-2.21 附加说明E 本指导性技术文件由电子工业部第四十五研究所等单位负责起草。14 -