SJ Z 2782-1987 非蒸散型吸气剂激活全过程的气氛分析方法.pdf

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1、中，、回lEl SJjZ2782-87 198703-12发布1987 -12-31实施中华人民共和国电子工业部批准中华人民共和国电子工业部部标准S JjZ2182-87 激活全过程的气氛分析方法本方法适用于分析非蒸散型吸气剂在激活过程中的放气成分和激活以后的环境气氛变化.测试条件应符合SJ2156-82P剧，则Qn可用下，式计开Zx Qn-unF N2:L:P Itni .6ti +.6P a:n V. . . . . . . . . ( 3 ) 式中zFNz一一-组气流导，mL/5; a一一第n种气体修正系数，也=MN2 Mn 式中，MNz一一氮气分子量，Mn一一第n种气体分子里:X一一-

2、把时间t卦成.6t时间间隔数;.6ti一一第i时间间隔，5; P Ini一一试样室(7 )中第i时间间隔第a种气体的压强，P . 5.2.3 放气总量Q(mL, P4)的确定n Q=亨丁Cn.(4 ) n 1 5.2.4 试样所放各种气体的比式中:qa一一试样所放第n种气体的比放气量，mL.P4/mg. 5.2.5 试样所放全部气体的比放气量q( mL.P4/mg) n q /.也. , .( 6 ) n 1 6 测试报告6.1 服气剂激活过程放气特性曲线t Qa(mLPa) T(oc ) 纵坐标为放气量龟，棋坐标为吸气剂温度T.6.2 吸气剂激活后环境气氛变化4 SJjZ2782一81.-

3、_ tPa(p.) - t(min) 用单对数坐标纸，纵坐标(对数坐标)为压强P(Pa)，横坐标为时间t( min ) 6.3 比放气量表气体H, CH4 比放气量qa q 中一一-一一一一一一-一T主7.1 真空质谱计校准及测试误差。7.2 称重误差.7.3 温度校准及测量误差.7.4 流导校准误差.7.5 超高真空计校准及测量误差.8 注意事项H20 N, CO 8.1 装试样管点焊吸气剂试样时，禁止用酒精，以免污染试样。Ar 8.2 吸气剂试样的位置，应远离封口处，以免封口时引起吸气剂氧仕., . 8.3 剥落吸气材料称重时，要剥落干净.为了减少因剥落不净引起误差，每做一次试样分析，要剥落10个试样，然后取平均值.8.4 该试验要求吸气材料的质量m(mg)与试样室容积V(ml )的比值满足如下关系.0.03一号0.058.5 监测静态本底变化的数据，是用来分析和判断本底对测试结果的影响的，在吸气剂活以后录下的环境气氛变化图中可川:7 8.6 质谱计的各种气体碎片峰图象系数和各种气体的相对灵敏度，在恒定的质谱计工作状态下，可用注入已知质量数的单纯气体进行校准的办法取得.说明2本标准由电子工业部标准化研究所主持起草;本标准由电子工业部真空电子器件研究所负贡起草;本标准主要起草人费兰香、戴柴道，5