GB 3834-1983 半导体集成电路CMOS电路测试方法的基本原理.pdf

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1、中华人民共和国国家标准UDC 62 1. 382.0049 .75-181. 4 : 62 1. 317 .08 G 38304-83 半导体集成电路CMOS电路测试方法的基本原理General principles of measurin g methods of CMOS circuits for semiconductor integrated circuits 本标准规定了半导体集成电路CMOS电路以下简称器件静态参数和动态参数测试方法的基本原理。本标准是参考国际电工委员会(lEC)147 -2第2部分测试方法的基本原理制订的。若无特殊说明，本标准涉及的逻辑均为正逻辑。 总的要求言 1

2、. 1 若无特殊说明，测试期间，环境或参考点温度偏离规定值的范围应符合器件详细规范的规定。1. 2 测试期间，应避免外界干扰对测试精度的影响。测试设备引起的测试误差应符合器件详细规范的规定。1.3 测试期间，施于被测器件的电源电压应在规定值的士1%以内。施于被测器件的其他电参量的精度应符合器件详细规范的规定。1. 4 被测器件与测试系统连接或断开时，不应超过器件的使用极限条件。1. 5 除了被测器件的功能是由参数测试来证实外，在静态参数测试和动态参数测试前应进行功能测试。1. 6 1. 7 被测器件有内部存储或滞后现象时，测试前应有预置位周期。测试期间，测试设备或操作者应避免因静电感应而引起器

3、件失效。、静态参数测试2 句:izfiiEtipi要iz-ipifitJtii【!i!:lj 2.1 输入高电平电压巧H2. 1. 1 定义使输出端电乎为规定值时，输人端所施加的最小高电兰卡电压。2. 1. 2 测试原理图输入高电平电压Vm的测试原理图如图1所示。几DV I o y It-1 被测器件Illi-输入网络V1H Vss 图1一一千一-一一1984-07 -01实施国家标准局1988-08-81发布由GD 3834-83 2. 1. 3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度TA;b. 电ifffi、电压VDD1C. 输人端施加的电平sd. 输出电乎

4、比。2. 1. 4 测试程序2. 1. 4.1 在器件详细规范规定的环境温度几下，将被测器件接人测试系统中。2. 1. 4.2 电源电压陆D调到器件详细规范规定的电压值。2. 1. 4.3 非被测输入端施加器件详细规范规定的电平。2. 1. 4. 4 输出端开路。2. 1. 4.5 被测输入端输入电压的由VDD值逐渐下降，使输出端电乎均为器件详细规范规定的电压值。该输入电压即为输人高电平电压民H。2. 1. 4. 6 按本标准第2.1.4.3项至2.1.4.5项规定，分别测试每个输入端。2.2 输人低电平电压仍L2.2. 1 定义使输出端电乎为规定值时，输入端所施加的最大低电平电压。2.2.2

5、 测试原理图输人低电平电压民L的测试原理图如图2所示。Vnn V1 Vo ttttl 被测器件11Ill-输入网络ViL 几s图2 2.2.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度TAIb. 电源电压VDD，输人端施加的电平FC. d. 输出电平Vo。2.2.4 测试程序2.2.4.1 在器件详细规范规定的环境温度TA下，将被测器件接人测试系统中。2.2.4.2 .电源电压VDD周到器件详细规范规定的电压值。2.2.4.3 非被测输人端施加器件详细规范规定的电平。、42.2.4.4 输出端开路。2.2.4.5 被测输人端电压V1由Vss直逐渐上升，使输出端电平

6、Vo为器件详细规范规定的电压值。该输人电压即为输人低电平电压VIL。577 一一一一十一.叫户GB 3884-83 2.2.4.6 按本标准第2.2.4.3项至2.2.4.5项规定，分别测试每个输人端。2.3 双向开关控制端输人低电平电压民LC2.3.1 定义现向开关为临界截止状态时，控制端所施加的最大低电平电压。2.3.2 测试原理图现向开关控制端输人低电平电压民LC的测试原理图如图3所示。VDD s ，。t被测器件ttIt n输入网络巧s巧cLC 飞Vss 图3tJ-4-t一-stufisj=YEti-iiFiji色if-zfis-l!1:2.3.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器

7、件详细规范的规定。a. 环境温度TAJ b. 电源电压几IDJ C. 信号输人端施加的电压阿SI d. 信号输入端电流IJSI e. 输入端施加的电平。2.3.4 测试程序2.44.1 在器件详细规范规定的环境温度乙下，将被测器件接人测试系统中。2.3.40.2 电源电压几D调到器件详细规范规定的电压值。2.3.4.3 被测一路双向开关的信号输人端电压s调到器件详细规范规定的电压值s其余各路双向开关的输入端施加器件详细规范规定的电平。2.3.4.4 被测一路双向开关的输出端接地，其余各路双向开关的输出端开路。2.3.4.5被测控制端电压巧c由Vss值逐渐上升，使信号输人端电流hs为器件详细规范

8、规定的电流值，该控制端电压即为双向开关控制端输入低电平电压日LC。2.3. .-6将被测一路双向开关的信号输入端作为输出端，信号输出端作为输入端，按本标准第2.3.4.3项至2.3.4.5项规定进行测试。2.3.7 按本标准第2.3.4.3项至2.3.4.6项规定，分别测试每个输入端。2.4 输人正向阑l值电压巧T+2.4.1 定义有施密特触发器的器件，使输出端电乎为规定值时，输人端所施加的较高阔值电压。2.4.2 测试原理图输入正向阑值电压的T+的测图如图4所示。578 一一一一喘一GB 3834-83 VDD vi Vo ,tEt -被测器件lil-输入网络ViT+ Vss 图42.4.3

9、 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。8. 环境温度凡， b. 电源电压VDD，C. 输入端施加的电乎pd. 输出端电平凡。2.4.4 测试程序在器件详细规范规定的环境温度T4下，将被视j器件接人测试系统中。电源电压VDD调到器件详细规范规定的电压值。非被测输入端施加器件详细规范规定的电平。输出端开路。2.4.4.1 2.4.4.2 2.4.4.3 2.4.4.4 调节被测输入端输入电压巧，使输出端电乎Vo为器件详细规范规定的电压值。该输人电2.4.4.5 压即为输入正向闻值电压阿T+。2.4.4.6 按本标准第2.4.4.3项至2.4.4.5项规定，分别测试每个输入端。2

10、.5 输人负向阔值电压问T-2.5.1 定义有施密特触发器的器件，使输出端电乎为规定值时，输入端所施加的较低闻值电压。2.5.2 测试原理输入负向阉值电压阿T的测试原理图如图5所示。几Dvj Vo Bft 被测器件tll tll 输入网络V IT- V$s 图5/ . 1 叩，-，_579 啕一一一一GB3834-83. 2.5.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度TA;b. 电源电压VJ川c. 输入端施加的电平sd. 输出端电半儿。2, 5.4 测试程序2.5.4.1 在器件详细规范规定的环境温度巳下，将被测器件接人测试系统中。2, .4.2 电源、电压

11、VDD调到器件详细规范规定的电压值。2.5.4.3 非被测输入端施加!器件详细规范规定的电平。2.5.4.4 输出端开路。2.5.4.5 调节被测输入端输入电压日，使输出端电乎比为器件详细规范规定的电压值。该输入电压即为输入负向阅值电压ViT- 0 2.5.4.6 按本标准第2.5.4.3项至2.5.4.5项规定，分别测试每个输人端。2.6.滞后电压午2.6. 1 定义有施密特触发器的器件，输人正向阔电压和输入负向阐值电压之差。2.6.2 测试程序2.6.2.1 按本标准第2.4条和2.5条的规定测得输人正向阔值电压巧T+和输入负向阐值的T-。2.6.2.2 由下式求出滞后电压L1于zL1守=

12、ViT+-ViT-使输出端为逻辑高电且fLH时的电压。2.7 输出高电平电压几112.7.1 定义输入端在施加规定的电乎下，2.7.2 测试原理图输出高电乎电压几H的测试原理图如图6所示。J-12R:玛jjjijz;z:;fzriited-pilizzie-23336:75 VDD VOH 被测器件输入网络 几s图62.7.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度几;b. 电源电压民)U, 叫一580 GB 3834-83 输入端施加的电平zc. . 2.7.4 测试程序2.7.4.1 在器件详细规范规边的环境温度已卡，将被测器件接人测试系统中。2.7.4.2

13、 电源电压VDD调到器件详细规范规定的电压值。2.7.4.3 输人端施加器件详细规范规定的电平。2.7.4.4 输出端开路。2.7.4.5 在被测输出端测得输出高电平电压比H。214.e 按本标准第2.7.4.3项至2.7.4.5项规定，分别测试每个输出端。2.8 输出低电平电压比L2.8.1 定义输人端在施加规定的电乎下，使输出端为逻辑低电L时的电压。2.8.2 测试原理图输出低电平电压VoL的测试原理图如图7所示。VDD 几L被测器件lllll| 输入网络VSs 图72.8.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度TA;b. 电源电压几u;, C. 输人端

14、施加的电乎。2.8.4 测试程序2.8.4.1 在器件详细规范规定的环境温度乙下，将被测器件接人测试系统rjJ。2.8.4.2 电源电压VDD调到器件详细规范规定的电压值。2.8.4.3 输入端施加器件详细规范规定的电平。2.8.4:4 输出端开路。2.8.4.5 在被测输出端测得输出低电兰卡电压凡L0 2.8.4.6 按本标准第2.8.4.3项至2.8.4.5项规定，分别测试每个输出端。2.9 输人高电半电流1m2.9.1 定义输人端在施加规定的高电f电压日H时流人器件的电流。 测试原理图2.9.2 581 一一 一一-一一叫一GB 3834-83 输入高电平电流1m的测试原理图如图8所示。

15、/ VDD VIH 11llll 被测器件lllll-V日ViL Vss 图8iIJF之3;Ai叶句-1:11FATVFijiiiijiipjtsdie-titil-!EEF$11152!jail-ytfv 2.9.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。也环境温度TA;b. 电摞电压民)D;C. 输人高电乎电压的HI d. 输人低电乎电压仍L。2.9.4 测试程序2.9.4.1 在器件详细规范规定的环境温度乙下，将被测器件接人测试系统中。2.9.4.2 电源电压VDn调到器件详细规范规定的电压值。2.9.4.3 被测输入端输入高电平电压巧H调到器件详细规范规定的电压值B其

16、余输人端输入低电平电压民L调到器件详细规范规定的电压值。2.9.4.4 在被测输入端测得输入高电平电流IIH。2.9.4.5 按本标准第2.9.4.3项至2.9.4.4项规定，分别测试每个输入端。2.10 输人低电平电流IIL2.10.1 定义输入端在施加规定的低电平电压巧L时流出器件的主流。2.10.2 测试原理图输人低电平电流IJL的测试原理图如图9所示。VDD In ltIll-被测器件lIll-L ViH Vss 国9、飞由582 GB 3834-83 2.10.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度1.1; b. 电源电压-yIJfJF C. 输入

17、低电lf.电压仍1.; d. 输入高电平电压1/。2. 10.4 测试程序2.10.4.1 在器件详细规市规定的环境温度几下，将被测器件接入测试系统rj I。2.10.4.2 电源电压民)调到器件详细规范规定的电压值。2.10.4.3 被测输入端输入低电乎电压调到器件详细规范规定的电压值3其余输入端输入内电屯压的H调到器件详细规范规定的电压值。2.10.4.4 输出端开路。2.10.4.5 在被视输入端测得输人低电平电流JIL0 2.10.4.6 按本标准第2.10.4.3项至2.10.4.5项规定，分别测试每个输入端。2.11 输出高电平电流IM2.11 .1 定义输入端在施加规定的电乎使输

18、出为高电乎H时，输出端施加规定的电中下流出器件的q ifrt。2.11 .2 测试原理图输出高电乎电流JOH的测试原理图如图10所示。几DVo IOH ltlll被测器件|l111l 输入网络几s图102.11 .3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度TAI b. 电源电压VDDI C. 输人端施加的电平Fd. 输出端施加的电平凡。2.11 .4 测试程序2.11.4.1 在器件详细规范规定的环境温度几下，将被测器件接人测试系统中。2.11.4.2 电源电压几D调到器件详细规范规定的电压值。2.11.4.3 输人端施加器件详细规范规定的电平。583 司副牛呵

19、!r GB 3834-83 2.11.4.4 被测输出端施加器件详细规范规远的电、十!.Vu;其余输出端开路。2.11.4.5 在被测输出端测得输出高电乎电流IO/-I。2.11.4.6 按本标准第2.11.4.3项至2.11.4.5项规定，分别测试每个输出端。2.12 输出低电平电iJiE1L 2.12.1 定义输人端施加规定的电乎，使输出为低电半L时，输出端施加规定的电、卡下流人器件的电流。2.12.2 测试原理图输出低电乎电流IOL的测试原理图如图11所示。DD JOL 111A云ni斗)3242zz:AJ1:1VO 被测器件lll| 输入网络Vss 图11Ea-4 ;liJlpsiif

20、ili-4:ifzii;1:1, 212.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度TA;b. 电源电压VDD;c. 输入端施加的电乎自d. 输出端施加的电平凡。2.12.4 测试程序2.12.4.1 在器件详细规范规定的环境温度乙下，将被测器件接人测试系统中。2.12.4.2 电源VnD调到器件详细规范规定的电压值。2.12.4.3 输入端施加器件详细规范规定的电平。2.12.4.4 被测输出端施加器件详细规范规定的电平民自其余输出端开路。2.12.4.5 在被测输出端测得输出低电平电流IOL。2.12.4.6 按本标准第2.12.4.3项至2.12.4.5项

21、规定，分别测试每个输出端。2.13 输出高阻态时高电平电流IOZH2.13.1 定义三态输出的器件，三态控制端在施加规定的电平使输出为高阻态下，输出端施加规定的高电平电压比时流人器件的电流。2.13.2 测试原理图输出高阻态时高电平电流IOZH的测试原理图如图12所示。 响l584 GB 3834-83 VlJU 、zl。lOZH loll-被测器件|llil 输入网络u Vss 图12-2.13.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度已pb. 电源电压VDD，C. 输入瑞施加的电乎zd. 输出端施加的高电乎电压儿。2.13.4 测试程序2.13.4.1 在

22、器件详细规范规定的环境温度巳下，将被测器件接人测试系统中。2.13.4.2 电源电压VDD调到器件详细规范规定的电压值。2.13.4.3 输人端施加器件详细规范规定的电半。2.13.4.4 被测输出端施加器件详细规范规定的高电半电压Vo;其余输出端开路。2.13.4.5 在被测输出端测得输出高阻态时高电乎电流IOZH。2.13.4.6 按本标准第2.13.4.3项至2.13.4.5项规定，分别测试每个输出端。2.14 输出高阻态时低电乎电流JOZL。2.14.1 定义三态输出的器件，三态控制端在施加规定的电*使输出为高阻态下，输出端施加规定的低电乎电压凡时流出器件的电流。2.14.2 测试原理

23、图输出高阻态时低电平电流IoZL的测试原理图如图13所示。VDD /OZL y o 被测器件-输入网络 585 . 几s图13由拙在唱啸GB 3834-83 2.14.3 测试条件测试期间.f列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境面度T; b. 电源电!王VDIJ; C. 输入端施加的电平;d. 输出端施加的低电罕电压凡。2.14.4 测试程序2.14.4.1 在器件出细规范规定的环境温度TA下，将被测器件接到测试系统中。2.14.4.2 电源电Lf.:VDD调到器件详细规范规定的电压罐。2.14.4.3 输人端施加器件详细规范规定的电平。2.14.4.4 被测输出端施加器件详细规范规

24、定的低电乎电压Vo;其余输出端开路。2.14.4.5 在被测输出揣测得输出高阻态时低电于电流IoZL。2.14.4.6 按本标准第2.14.4.3项至2.14.4.5项规定，分别测试每个输出端。2.15 电源电流JIJlJ 2.15.1 定义输入端在施加规定的电平下，经电源端流人器件的电流。2.15.2 测试原理图电源电流IIW的测试原理图如图14所示。, , VDD , IDD 24EE q1!fEnbj飞lo!11lIlli-被测器件llllll 输入网络, Vss 图142. 15 .3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度巳zb. 电源电压VDD;C.

25、 输入端施加的电平。2. 15.4 测试程序2.15.4.1 在器件详细规范规定的环境温度几下，将被测器件接人测试系统中。2.15.4.2 电源电压VDD调到器件详细规范规定的电压值。2.15.4.3 输入端JE加器件详细规范规定的电平。2.15.4.4 输出端开路。, 畔即586 GB 3834-83 2.15.4.5 在电源端测得电源电流Juu 0 2.16 双向开关截止电流JUFF2. 16.1 定义双向开关截止时，信号输入端在施加规定的电压下，要圣信号输出端流出双向开关的电流。2.16.2 测试原理图双向开关截止电流JUFF的测试原理图如图15所示。VDD V1S IOFF lll-t

26、 被测器件Vic lill-t 输入网络VSS 图152.16.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度巳pb. 电源电压Vu川控制端施加电压民c; 信号输入端施加电压只输人端施加的电平。 CJue 2.16.4 测试程序2.16.4.1 在器件详细规范规定的环境温度几下，将被测器件接人测试系统中。2.16.4.2 电源电压儿u调到器件详细规范规定的电压值。2.16.4.3 被测-路双开关的控制端电压VJC周到器件详细规范规定的电压值，信号输人端电压调到器件详细规范规定的电压值;其余各路双向开关输人端施加器件详细规范规定的电半。2.16.4.4 被测一路的双向

27、开关的输出端接地E其余各路双向开关的输出端开路。2.16.4.5 在被测输出端测得双向厅关截止电流JUFF。2.16.4.6 按本标准第2.16.4.3项至2.16.4.5项规定，分别测试每路双向开关。2. 17 双向开关导通电阻R川2.17.1 定义双向汗关导通时，信号输入端和输出端的电压差与流经的电流之比。2.17.2 测试原理图587 双向开关，导通电阻凡、的测试原理图如图16所示。一一-_._，.GB 3834 -83 VDD Vos R L s c Ill-li 被测器件t1ltI-输入网络Vss 图16号:t41343123ig:1:vp?也;fvvip 2.17.3 测试条件测试

28、期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。也环境温度凡，b. 电源电压几D;c. 控制端施加的电压的c;d. 信号输人端施加的电压的S; e. 输入端施加的电平Ff. 输出负载电阻足。2.17.4 测试程序2.17.4.1 在器件详细规范规定的环境温度几下，将被测器件接入到测试系统中。2.17.4.2 电源电压VDD调到详细规范规定的电压值。2.17.4.3 被测一路双向开关的控制端电压的c调到器件详细规范规定的电压值，信号输人端电压调到器件详细规范规定的电压值3其余各路双向开关的输入端施加器件详细规范规定的电平。2.17.4.4 被测一路双向开关的输出端接器件详细规范规定的电阻RL;其余各

29、路双向开关的输出端开路。2.17.4.5 在被测输出端测得输出电压Vos，由下式求出双向开关导通电阻且bNZ V，可-乞ERolv=-二TI/OS 2.17.4.6 按本标准第2.17.4.3项至2.17.4.5项规定，分别测试每路双向开关。2.18 双向开关各路间导通电阻差A此N2.18.1 定义双向开关导通时，各路导通电阻间的最大差值。2.18.2 测试程序2;18.2.1 按本标准第2.17条的规定测得各路的导通电阻RoN。2. 1闯8.2.2比较测试结果，取最大值F此屯N(阳m丁1ax )和最小值RON(归阳rm川n阻差L1J.此屯N: RL L1RON =RON(max) -RON(

30、町lin) 一一四明一588 , GB 3834-83 动态参数测试s 3. 1 输入电容G3. 1. 1 定义在规定的测试条件下，器件输入瑞相对于Vss端的电容值。3. 1. 2 测试原理圈输入电容C1的测试原理图如图17所示。VDD -L2 C2 lIll-被测器件Ill-输入网络L, 容电桥C, , 几s图173. 1. 3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度TA，b. 电源电压VDD，C. 输入端施加的电压民zd. 输入端施加的电平Fe. C1、C2.LI、L203. 1.4 测试程序3. 1. 4. 1 在器件详细规范规定的环境温度已下，将电容电桥

31、调至乎衡，然后将被测器件接人测试系统中。3. 1. 4.2 3. 1. 4.3 的电平。3.1.4.4 输出端开路。3.1.4.5 将电容电桥调至平衡，即测得输入电容G。3.1.4.6 按本标准第3.1.4.1项至3.1.4.5项规定，分别测试每个输入端。3. 1.5 注意事项在测试频率下电容C1. C 2应呈短路E电感LIL2应呈高阻。3.2 动态功起凡3.2.1 定义输入端在施加规定的电平和脉冲电压时，经电源端流人器件的电流平均值和电源电压的乘积。 电酒、电压VDD调到器件详细规范规定的电压值。被测输入端电压阿调到器件详细规范规定的电压值3其余输人端施加器件详细规范规定, -J 589 仙

32、一一一一仙(GB 3834-83 电L3.2.2 测试原理图动态功耗尼的测试原理图如图18所示。源电Ia 输出负载网络被测器件输入驱动网络G J. 白，图18去 、3.2.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。8. 环境温度TA;b. 电源电压Vuu;输人脉冲电压的幅度与、颇率f、宽度t町、输人端施加的电平;e. 输出负载。3.2.4 测试程序3.2.4.1 在器件详细规范规定的环境温度几下，将被测器件接入测试系统中。3.2.4.2 电源电压VDLJ调到详细规范规定的电压值。3.2.4.3 输入端施加l器件详细规范规定的电乎和脉冲电压。3.2.4.4 输出端施加器件详细规

33、范规定的输出负载。3.2.4.5 在电源端测得电流。由下式求出动态功耗马:t升时间t、下降时间tf ; c. d. 马=1VLJLJ 3.3 脉冲宽度Iw3.3.1 定义时序逻辑器件，输出逻辑电平按规在临界转换前，在触发输入端施加的脉冲电压上升沿和下降沿上两规定的参考电.间的最小时间。3.3.2 测试原理图脉冲宽度t田的测试原理图如图19所示。 . ，. .、吟唱勘590 GB 3834-83 源电输出负载网络融测器件输入驱动网络G o 双迹示波器图19- t. _:j_ ov I 1 t UI-凡-一-1-!?,F - OV 脉冲宽度t甜的波形图如图20所示。输入脉冲图203.3.3 测试条

34、件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。环境温度巳z电源电压VDD;a. b. , 输人脉冲电压的幅度均、频率f、上升时间tr、下降时间tf ; 输人端施加的电才气e. 输出负载pf. 参考电VREF。3.3.4 测试程序3.3.4.1 在器件详细规范规定的环境温度巳下，将被测器件接人被测系统中。3.3.4.2 电源电压几D调到详细规范规定的电压值。3.3.4.3 被测触发输人端施加器件详细规范规定的脉冲电压z其余输人端施加器件详细规范规定的电半。3.3.4.4 输出端施加器件详细规范规定的输出负载。3.3.4.5 调节输人脉冲电压的脉冲宽度，使输出逻辑电平按器件详细规范的规定临界转

35、换。该宽度即为脉冲宽度t田。3.3.4.6 按本标准第3.3.4.3项至3.3.4.5项规定，3.4 输人脉冲上升时间tr 3.4.1 定义591 分别测试有关触发输入、输出端。一一一.-._.-_. .叫一叫lC. d. GB 3834-83 时序逻辑器件，输出逻辑电平按规定临界转换前，在触发输入端施加的脉冲电压上升沿上两规定的参考电平间的最大时间。3.4.2 测试原理图输人脉冲上升时间tr的测试原理图如图21所示。源电、输出负载网络被测器件输入驱动网络, G 双迹示波器图21q 川月四凡响MEVEEvym凡马ym凡几mw?主-_1/1 -一飞二1，一-t-书, 输人脉冲上升时间tr的技形图

36、如图22所示。输入脉冲 图223.4.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度凡，b. 电帽、电压民J川c. 输入脉冲电压的幅度凡、频率f、宽度t四、下降时间tf , d. 输人端施加的电乎pe. 输出负载:f. 参考电主F-VREFH、VREFL。3.4.4 测试程序3.4.4.1 在器件详细规范规定的环境温度几下，将被测器件接人测试系统中。3.4.4.2 电源电压VDD调到器件详细规范规定的电压值。3.4.4.3 被测触发输入端施加器件详细规范规定的脉冲电压F其余输入端施加器件详细规范规定的一一喃，-僻592 GB 3834-83 电f。3.4.4.4 输

37、出端施加器件详细规范规定的输出负载。3.4.4.5 调节输入脉冲电压的上升沿时间，使输出逻辑电平按器件详细规范的规定临界转换。该时间即为输人脉冲上升时间tr。3.4.4.6 按本标准第3.4.4.3项至3.4.4.5项规定，分别测试有关触发输人、输出端。3.5 输入脉冲下降时间tf3.5. 1 定义在触发输人端施加的脉冲电压下降沿上两规定时序逻辑器件，输出逻辑电平按规定临界转换前，的参考电平间的最大时间。3.5.2 测试原理图输人脉冲下降时间tf的测试原理图如图23所示。源电 输出负载网络被测器件输人驱动网络G .I1. , 双迹示波器图23输入脉冲下降时间/f的披形图如图24所示。马-l-

38、r- HLVL RF川nhymhkwhhkw 荆t，L_ 二二二企二二-输入脉冲图24一一593 3.5.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度乙zb. 电源电压VD川输入脉冲电压的幅度凡、频率f、宽度tw、上升时间tr ; 输人端施加的电平pe. 输出负载Ff. 参考电平VREFH、VREFL。3.5.4 测试程序3.5.4.1 在器件详细规范规定的环境温度几下，将被测器件接人测试系统中。仙一一一一C. d. GB 3834-83 3.5.4.2 3.5.4.3 电乎。3.5.4.4 输出端施加器件详细规范规定的负载。3.5.4.5 调节输人惊冲电压的下降

39、沿时间，使输出逻辑电乎按器件详细规范的临界转换。该时间即为输入脉冲下降时间tf 0 3.5.4.6 按本标准第3.5.4.3项至3.5.4.5项规定，分别测试有关触发输人、输出端。3.6 !建立时间tset 3.6.1 定义时序逻辑器件，数据输入脉冲电压应比触发输入脉冲电压提前施加于器件的时间。3.6.2 测试原理图建立时间tset的测试原理图如图25所示。电源电压VDD调到器件详细规范规定的电压值。被测触发输入端施加器件详细规范规定的脉冲电压;其余输入端施加器件详细规范规定的静、电输出负载网络被测器件输入驱动网络输入驱动网络G A G .n. 信号检测仪双迹示技器图25, V 广-m -LR

40、EF 一-I忏一OV建立时间tset的波形图如图26所示。触发输人脉冲r-V，吼- vREF OV -飞数据输入脉冲图263.6.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度TA;i一594 GB 3834-83 b. 电源电压)lJ; 1 输人脉冲电压的幅度马、频率/、宽度t、上升时间tr、F降时间tf; d. 辅人端施加的电学;e. 输出负载sf. 参考电平凡EF。3.6.4 测试程序3.6.4.1 在器件详细规范规定的环境温度巳下，将被测器件接人测试系统中。3.6.4.2 电源、电压民)lJ调到详细规范规定的电压值。细注2剧?据输人叫发输人端施刷刷力加阳日3

41、.6.4.4 输出端施加器件i详羊细规范规定的输出负载。3.6.4.5 调节被测数据输入端施加的脉冲电压比触发输人端施加的脉冲电压超前的时间，使输出逻辑电乎按器件详细规范的规定临界转换。该时间即为建古时间tset。3.6.4.6 按本标准第3.6.4.3项至3.6.4.5项规定，分别测试有关输人、输出端。3.7 保持时间tu3.7. 1 主义时序逻辑器件，数据输人脉冲电压在触发输人脉冲过后应保挤的时间。3.7.2 测试原理图保持时间tJj的测试原理图如图27所示。输入驱动网络输入驱动网络G rt-J1. J飞双迹示波器保持时间t/的波形图如图28所示。图27触发输入脉冲数据输入脉冲-飞电被泪l

42、器件r- v: m 一-一-VRt:f ov - V L-L-J -r- VRU OV 国28m一.十一-_.-， 源信号检测仪输出负载网络、595 牛一一、. 一一GB 3834-83 3.7.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度TA;b. 电惊电压Vuu;C. 输人脉冲电压的幅度凡、频率f、宽度tw、主升时间tr、下降时间tf ; d. 输入端施加的电平:e. 输出负载Ff. 参考电平VRF0 3.7.4 测试程序3. 7. 4.1 在器件详细规范规定的环境温度巳下，将被测器件接人测试系统中。3.7.4.2 电源电压VIJU调到器件详细规范规定的电压值

43、。3.7.4.3 被测数据输入端和触发输入端胞JJII器件详细规范规定的脉冲电压;其余输入端施加器件详细规范规屯的电平。3.7.4.4 输出端施加器件i节HJ规范规定的输出负载。3. 7. 4.5 调节被测数据骗人端施加的脉冲电压比触发输人端施加的脉冲电压滞后的时间，逻辑电予接器件详细规范的规古|后ifi11转换。该时间即为保持时间tli。3.7.4.6 按本标准第3.7.4.3JW王3.7.4.项规定，分别测试高关输入、输出端。3.8 最高时钟频率Jmx3.8. 1 定义时11;逻辑器件，输出逻辑电斗;-jl z I;!:自民罗11转换前，在时钟输入端所施加脉冲电压的最高频率。3.8.2 圳

44、i式原理图最高llJtl!t顷寻ELax的测试原JljI罔如图29所/异。使输出源电 输出负载网络被南4器件输入驱动网络G J工信号险测仪频率测试仪与动3i:一-3.8.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度巳zb. 电源电压儿川输入脉冲电压的幅度灿、宽度t、上升时间ir、下降时间iI ; 图29此仙也他596 C. GB 3834-83 输人端施加的电平F输出负载。d. e. 3.8.4 测试程序3. 8. 4. 1 在器件详细规范规定的环境温度TA下，将被测器件接人测试系统中。3. 8. 4. 2 电源电压VDD调到器件详细规范规定的电压值。平3.8.4

45、.3时钟输人端施加器件详细规范规定的脉冲电压s其余输人端施加器件详细规范规定的电3.8.4.4 输出端施加器件详细规范规定的输出负载。3.8.4.5 调节输人脉冲电压的频率，使输出逻辑电平按器件洋细规范的规定临界转换。该频率即为最高时钟频率fmax。3.8.4.6 按本标准第3.8.4.3项至3.8.4.5项规定，分别测试有关时钟输人、输出端。3.9 输出由低电平到高电平传输延迟时间tPLH 定义3.9.1 输入端在施加规定的电平和脉冲电压时，输出脉冲电压由低电乎到高电平的边沿和对应的输入脉冲电压边沿上两规定的参考电平间的时间。3.9.2 测试原理图输出由低电平到高电平传输延迟时间tPLH的测

46、试原理图如图30所示。源电输出负我网络被测器件输入驱动网络G .n. 双迹示波器y m 图30输出由低电乎到高电平传输延迟时间tpLH的波形图如图31所示。FF MMYHELH V丁OV哈马凡几-t一一一一输入脉冲同相输出脉冲VREF VOL 一-vff一反相输出脉冲 -tI.tPLH 图31. JtfLhF597 巾 GB 3834-83 3.9.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a. 环境温度引;b. 电源电压T/iJ/); C. 输入脉冲电压的幅度灿、频率f、宽度t、上升时间tr、下降时间tf ; d. 输入端施加的电、he. 输出负载$1 参考电乎VRF。3.

47、9.4 测试程序3.9.4.1 在器件详细规范规定的环境温度T1F，将被测器件接人测试系统中。3.9.4.2 电源电压民Jl)调到器件详细规范规定的电压值。3.9.4.3 被测输入瑞施加器件详细规范规定的脉冲电压p其余输入端施加器件详细规范规定的电乎。3.9.4.4 输出端施加器件详细规范规定的输出负载。3.9.4.5 在被测输出端输出脉冲电压由低电乎到高电平的边沿上参考电乎VRF处和对应的输入脉冲电压边沿上参考电、卡的EF处之间测得输出由低电乎到高电乎传输延迟时间t尸Lfl。3.9.4.6 按本标准第3.9.4.3项至3.9.4.5项规定，分别测试再关输入、输出端。3. 10 输出由高电干到

48、低电乎传输延迟时间tPIIL 3.10.1 工主义输入端在施加规定的电乎和脉冲电压时，输出脉冲电压由高电乎到低电乎的边沿和对应的输入脉冲电压边沿上两规定的参考电乎|司的时间。3.10.2 测试原理图输出由高电、l到低电、i传输延迟时间tPllL的测试原理图如图32所示。源电-uflJd-i T+iTr:;2At;Lipt:j:l Jillii: 输出负载网络被测器件输人驱动网络G .n. 双迹示波器图32叫刨蛐在598 G8 3834-83 输出由高电、V-jU低i色、I_传输旺退时IllJt1111.的战形图如国33所/1。闯333.10.3 测试条件测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规泣。a. 环境温度T41b. 电源、电压凡川C. 输人端施加的电中L;d. 输入脉冲电压的幅度马、频率f、宽度t町、上升时间tr、F降时间tf ; e. 输出负载zf. 参考电、严VRF。3. 10.4 测试程序3. 10.4.1 在器件详细规范规定的环境面度巳下，将被测器件接人测试系统巾。3.10.4.2 电源电压民JU调到