SJ T 11085-1996 立式涡轮分子泵通用技术条件.pdf

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1、中华人民共和标立式涡轮分子泵通用技术条件General specification of vertical furbomolecular pumps 1 主题内容与适用范围GB 11491 89 降为SJ/T11085-96 本标准规定了立式涡轮分子泵的技术要求、测试方法、检验规则和包装、贮运要求。本标准适用于有前级泵的立式涡轮分子泵(以下简称泵)。2 引用标准GB 3163 真空技术名词术语GB 6070.4 活套真空法兰GB 4982 夹紧型真空快卸法兰GB 607 1. 1 6071. 3超高真空法兰GB 7774 捐轮分子泵性能测试方法GB 7773 变容真空泵振动测量方法GB 777

2、2 变容真空泵噪声测量方法GB 6587. 16587. 6 电子测量仪器环境试验GB 191 包装、储运图示标志JB 8 产品标牌SJ 3192 立式涡轮分子泵型式与基本参数SJ 1658 1660 铜丝密封超高真空法兰GB 5080.7 设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案3 术语3. 1 体积流率(抽速)泵在正常工作条件下，单位时间内被抽气体通过测试罩流经分子泵进气口的体积，即气体流量与测试罩规定平面上测得的平衡压力之商。3.2 极限压力泵在规定的工作条件下，不向测试罩引入气体，泵壳和测试罩经烘烤后，48h内在测试罩规定平面上测得的平衡压力。3. 3 压缩

3、比通过泵进气口的气流量为零，被抽气体在前级区的分压力至少占全压力的90%以上，泵的前级压力与进气口压力之比为分子泵对该气体的压缩比。3.4 起动时间从接通电漉起到泵转速达到额定转速的90%所需的时间。中华人民共和国机械电子工业部1989-03-21批准1990-03-01实1 GB 11491 89 4 技术要求4. 1 一般要求4. 1. 1 泵应按经规定程序批准的图样及技术文件制造，并应符合本标准要求。4. 1. 2 泵在下列环境条件下应能正常工作:a. 环境髓度:040。Cfb. 空气相对温度:85%; c. 冷却水进水温度:25C。4. 1. 3 泵应避免抽除带粉尘、腐蚀性或爆炸性气体

4、。泵在正常运转时不许直接引入大气，不许有强烈径向振动和电火花干扰。4. 1. 4 为了除气目的，对泵壳、测试罩和真空测量规管可进行烘烤，其烘烤温度不得超过以下规定:a. 泵壳上法兰:120C;b. 11试罩或真空容器:350C; c. 真空测量规管:400 C。4. 1. 5 推荐前级泵应符合下列要求:分子泵体积流率110 220 450 1 400 L/s 前级泵体积流率L/s 二二2二0;:4二注8二三30前级压力，Pa101 4. 1. 6 为防止异物落入泵内，泵的进气口应设置耐腐蚀金属过滤网，并加以固定。4. 1. 7 泵应在明显位置设置主机运转方向的指示标牌。4. 1. 8 泵应采用

5、专用油、脂润滑，其饱和蒸汽压在常温下不得高于3X 10-6Pa 0 4. 2 主要性能参数2 000 3 500 主主40二三70来的主要性能参数，极限压力、压缩比、体积流率、起动时间、振动、噪声的要求应符合SJ3192的相应规定。4. 3 连接尺寸及密封面质量4. 3. 1 泵的进气口连接法兰及密封圈应符合GB6071. 16071. 3和SJ1658 1660规定。4.3.2 泵的出气口连接法兰及密封圈应符合GB4982和GB6070.4规定。4.4 安全保持装置的可靠性要求4. 4. 1 冷却水流量应符合设计要求，且具有保护装置。4.4.2 泵的电动机和烘烤装置对泵壳应有可靠的绝缘措施，

6、其绝缘电阻不小于2MO。4. 5 转速泵的转速应在产品标准中标出或说明。4.6 电摞参数4. 6. 1 电源输出电流不应大于设计图样规定值，且有保护措施。4.6.2 电晾输出的三相线电压应对称，其不对称性不得超过士0.5V。4. 6. 3 电源的环境试验要求应符合GB6587.16587. 6的规定。4. 7 平均无故障工作时间(MTBF)主机和电源在正常工作条件下的平均无故障工作时间(MTBF)应达到以下要求:主机MTBF8 OOOh; 电i原MTBF二三2OOOho 9 GB 11491 89 4.8 运转试验主机与电惊配套试车后，应进行连续500h运。4.9 产品成套性泵出厂时，应包括主

7、机、电源、备附件和随机技术文件，并满足有关协议规定的其它要求。备附件和随机技术文件的品种、规格和数量应在产品标准及说明书中明确规定或说明。5 测试方法5. 1 一般要求质量检查按常规方法检查4.1条规定的各项要求。5. 2 极限压力测试极限压力的测试应符合GB7774规定。5. 3 压缩比测试5. 3. 1 压缩比的测试装置，除符合GB7774规定外，还应设置质量数为llOO的具有足够分辨率的质谱分压计。5. 3. 2 压缩比测试所用气体为氮气(N2)和氢气(H2)，其纯度应在99.9%以上。5. 3. 3 压缩比的测试方法应符合GB7774规定。测试氮气的压缩比时，还应采用质谱分压计进行监测

8、。5.4 体积流率测试体积流率的测试应符合GB7774规定。5.5 起动时间测试起动时间的测试应符合GB7774规定。5. 6 振动测试5. 6. 1 泵应牢固地固定在刚性测试架上，测试架的重量应大于被测泵重量的四倍。5. 6. 2 泵的出气口与前级泵之间应采用波纹管或真空橡胶软管连接。5. 6. 3 泵正常运转lh后，按GB7773规定方法测量泵的振动，测量位置为图示A、B、C、D、E、F各点。5. 7 噪声测试5. 7. 1 泵的安装应符合5.6. 1和5.6.2条要求。测试架B A C 分子泵D 5.7.2 泵正常运转lh后，前级泵停止运转，立即按GB7772规定方法测量泵的噪声。5.8

9、 连接尺寸及密封面质量检查按常规方法检查4.3条规定的各项要求。5. 9 安全保持装置的可靠性检查按常规方法检查4.4条规定的各项要求。5. 10 转速测试5. 10. 1 泵的安装应符合5.6. 1和5.6. 2条要求。5.10.2 泵正常运转lh后，测试泵的转速。测量转速时，用测振仪在泵的上下法兰沿径向圆周上各测三点振幅峰值，并以最大峰值的频率表示泵的转速值。5.11 电源参数测试5. 11. 1 电源与主机配套试车时，用常规仪器检查输出三相线电压是否符合4.6.2条要求。5. 11. 2 电源与主机配套试车时，用常规仪器检查电源各参数是否符合设计图样要求。3 GB 11491 89 5.

10、 11. 3 电源的环境试验按GB6587. 16587. 6规定的第E组类型进行试验。5. 12 平均无故障工作时间(MTBF)测试主机和电源的平均无故障工作时间(MTBF)按GB5080.7规定的定具体方案在产品标准中规定或说明。5. 13 运转按4.8条规定的要求，连续进行运转试验。5. 14 产品成套性检查按照泵的使用说明书、有关协议书检查产品成套性。6 方法进行测试。6. 1 泵(包括主机和电源)必须经制造厂检验部门检验合格，6.2 泵的检验分交收检验和定型检验能出厂。6.2. 1 交收检验必须逐台进行，交收检验的项目包括:a. b. 连接尺寸及密封面朋亘pC. 安全保护装置的可靠性

11、;d. 极限压力;e. 振动;f. 转速;g. 电源参数;h. 产品成套性。6.2.2 凡新试制的产品或在产品结构、制造工艺、使用材料等方面有重大改变时，应进行定型检验。定型检验的项目包括:a. 交收检验的所有项目pb. 压缩比;C. 体积流率;d. 起动时间pe. 噪声;f. 电源环境试验;g. 运转试验。6.3 用户在遵守保管和使用规则条件下，从到货(到站、到港)之日起，一年内因产品制生故障不能正常工作时，制造单位应负责为用户包修或包换。7 标志、包装及贮运不良而发7. 1 每台泵应在明显下内容:产品标牌，标牌的型式及尺寸应符合B8规定。产品标牌至少应标明以a. 产品型号及名称Fb. 制造

12、厂厂名FC. 产品编号及制造日期。7. 2 泵包装前应排除主机冷却水管内的积水和油杯内的润滑油，并将泵的进气口和出气口用盖板封严。7. 3 主机和电源包装时，先用塑料薄膜罩封，再用发泡塑料封装后装入包装箱内;或用塑料薄膜罩封后直接装入包装箱内用软质材料填充，并加以固定封牢。电源用塑料薄膜罩封时应放入干燥剂(如硅胶)。4 GB 11491 89 7.4 包装箱外应有贮运指示标志，其标志应符合GB191规定。7.5包装箱应适合铁路、公路、内河航运和航空运输。在运输和存放过程中不许有剧烈振动和倒置。如对包装箱有特殊要求，按有关规定办理。7.6 主机和电源应存放在通风条件良好的室内。泵的贮存期一般不超过六个月，如超过六个月，应定期开箱检查。7.7 每台泵出厂时应附有下列文件:a. 产品使用说明书;b. 产品合格证;C. 装箱单。附加说明:本标准由国营南光机器厂负责起草。5