GB 7237-1987 铬 版.pdf

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1、 G8 7237 8 1. 450 质量区, , .一, L L一长度，W一宽度，一直径，L =W 标称尺寸L与质量区直径的关系列于表2。标称尺寸)37.5 51 63.5 88.5 114.5 、2.2 平整度:样品质量区表面上最高点与最低点(峰与谷的高度差。 mm 备注2.3 针孔:为不透明膜上的任何透光点。大小以最大尺寸为准。针孔群就是相互距离在1mm之内的两个或多兮针孔。2.4 光密度与透光率的关系为:式中:DI人I通2 光密度，入射光强度，透与17飞强度。. D=ig f人t透 GB 7237 87 S 接术要求3. 1 基片1 1. 1 基片尺寸规格见表30 表3mm 实际尺寸标称

2、尺寸 长(L)x宽(W)x厚(T) 50 x 50 x 1.6 50.81.4X50.8-i-4X1.6士0.1 63 x 63 x 1.6 63.5-:-4X63.5-:-4X1.60.1 76 x 76 x 1.6 76.2-i-4X76.2-1.4X 1.60.1 101 x 101X 1.6 101.5-1.8X101.5-:-8X1.6x0.l 101 X 101 X 2.3 101.51.sx l01.5-1.gx2.30.1 121x 127x 2.3 127.o-:-8X127.0-1.sx2.3士0.13.1.2 正方度g小于O.006mm / 1 mm。3.1.3 边缘g基

3、片的所有边缘都经过研磨并倒成450角。3.1.4 平整度规定见表4。表4范围尺寸mm50 x 50 x 1.6 63 x 63 x 1.6 76 x 76 x 1.6 101 x 101 x 1.6 101 x 101 x 2.3 127x 127x 2.3 等平整度m) 级 A 级0-2 0-2 。-2。-2。-2。-3 . B 级2 - 5 2 - 5 2 - 5 2-5 2 - 5 3 - 6 C 级5 - 8 5 - 8 5 - 8 5 - 8 5 - 7 6 -10 D 级8 -12 8 -12 7 -10 10 -15 注z各种平整度范围大于下限小手或等于上限。3.2格一3.2.1

4、 络膜种类:亮锚L，低反射率铭DLo3.2.2 厚度及其偏差规定见表5。, 厚度(nm)羞偏p32 表-一厚内版块同不同批次厚度平均值偏差 130- 160 士5.% 士10%注:其官膜厚指标由供、双方商定。 3 GB 7237 87 3.2.3 光密度为2.5:tO.3(在白光下测量)。3.2.4 表面反射率规定见表6。表6样口口口测试波长(nm)反射率亮格版正面低反射率格版正面400-600 405-436 40% 10% 3.2.8 针孔针孔在质量区内，应为无规则分布，无针孔群，无5m以上的针孔。2 -5m以下的针孔密度颊-Z见习7。表7针孔密度等级针孔密度个数/cm2)级级级级ABCD

5、 0.05 0.05 0.10 : 0.15 3.2.6 腐蚀特性3.2.6.1 腐蚀液自己方硝酸饰镀Ce (NH)2 (N03)6(AR) 200g 冰酷酸CHCOOH (99 % ) 35ml 去离子水H20 100ml 温度22士1oc 3.2.6.2 腐蚀时间小于60s。3.2.6.3 均匀性:同一批和不同批次版与版之间腐蚀时间的变化不得超过表8规定。表8版料腐蚀时间、同一批版与版之间士75 不同批版与版之间主125 3.3 光刻胶膜3.3.1 厚度:400 nm、500nm、600nm。3.3.2 均匀性:t 3.3% 3.3.3 表面质量:在漫射的黄色安全灯光下用肉眼检查，在质量区

6、内应无肉眼可见的颗粒、斑点、气泡、彗星状划痕等缺陷末日变色。胶膜厚度在均匀性规定的范围内亦属合格。4 试验方法4. 1 基片尺寸4 GB 7231 87 长度、宽度尺寸用精度达O.02mm的游标卡尺测量，厚度用百分表测血。4.2 基片正方度用精度为2的万能量角器测血。4.3 基片平整度按GB7238 87 (玻璃及铭版表面平整度的测试方法进行测试。4.4铭膜厚度按GB7239 87 (络版铭膜和胶摸厚度的测试方法进行测试。4.5路膜光密度按GB7241 87 (铭版光密度的测试方法进行测试。4.6 表面反射率GB7240 87 (铭版络膜表面反射率的测试方法进行测试。4.7 针孔密度用40倍大

7、视场立体显微镜测量，针孔尺寸大小用500倍显微镜测量。4.8 光刻胶膜厚度按GB7239 87进行测试。4.9光刻胶表面质量，在100级超净台内黄色安全灯下，按3.3.3条表面质量的规定，用肉眼检查光刻胶表面质量。S 检验规则5. 1 产品供货方的检验部门按本标准进行检验，并附有检验合格证。5.2 使用方收到产品时，应根据产品发运单及时检当包装质量和产品完整与否。凡因包装质量而造成的产品损坏，应在到货之日起的15日内向供货方提出交涉。5.3 使用方收到产品后，按本标准规定进行验收，如发现产品不符合本标准规定时，在到货之日起三个月内向供货方提出，经双方协商后进行复验或聘请第三者仲裁。5. 交收抽

8、样试验。用户收到格版3个月内，在规定的环境条件下，每30块任意抽5块检验如下项目28. 外型尺寸及外观，b. 针孔，c. 胶膜表面均匀性及缺陷，d. 铭膜面平整度。 6 包装、运输、贮存6. 1 包装6.1.1 内包装z应在100.级净化等级，相对湿度50:t5 %，温度22士1oc的黄色安全灯下用ABS或聚丙烯塑料制成的包装盒包装。内加垫片以防晃动，在上、下盒盖交界处用不透光的胶带密封。每盒上均贴上合格证，合格证上应注明z8. 产品名称、编号，b. 产品级别、胶种类、厚度，c. 数量gd. 铭版类型与规格尺寸，e. 检验日期及检验员签章。6. 1. 2-内包装每盒分10片、15片、20片和3

9、0片四种包装。6. 1.3 外包装采用钙塑瓦楞纸或硬纸板制作的箱子包装，包装箱应附有标签并标明:8. 产品名称、牌号Fb. 产品编号，c. 出版日期，d. 制造单位。6.1.4 包装箱外应印有s保持干燥，向上，小心易碎等字样和合同号，发收货地址及单位。6.2 运输产品在运输过程中防湿、防震、防损伤。不得与腐蚀性物质混装运输。5 GB 7237 87 6.3 贮存6.3.1 贮存条件:产品应存放在温度为5- 25 oc，相对湿度不大于60%，避光、干净、无有害气体的库房内。6.3.2 贮存期:从出厂之日起，限期为6个月。附加说明:本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电子工业部标准化研究所、电子工业部4435厂和航天工业部771所负责起草。 6