GB T 28855-2012 硅基压力传感器.pdf

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1、GB ICS 17. 100 N 11 中华人民共和国国家标准GB/T 28855-2012 硅基压力传感器Silicon-based pressure sensors 2013-02-15实施2012-11-05发布发布中华人民共和国国家质量监督检验检茂总局中国国家标准化管理委员会，。窃喜/部?，1、伪忍，号防部川、阔的品啊18数主持建中华人民共和国国家标准硅基压力传感器GB/T 28855-2012 导中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号(100013)北京市西城区三里河北街16号(100045)网址总编室:(010)64275323发行中心:(010)51780235读者服

2、务部:(010)68523946中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销 开本880X 1230 1/16 印张2字数55千字2013年3月第一版2013年3月第一次印刷导书号:155066. -46293定价30.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68510107唱唱GB/T 28855-2012 目次E I 范围.2 规范性引用文件-3 术语和定义4 分类与命名.4. 1 分类4. 2 型号命名与图形符号.5 基本参数5. 1 测量范围5. 2 工作温度范围25. 3 补偿温度范围5.4 被测介质的类型25. 5 与被测介质相接触的材料25. 6

3、 激励36 要求36. 1 产品技术条件(详细规范). 6.2 外部连接性能6.3 电气性能.3 6.4 静态性能. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 6.5 稳定性.4 6.6 温度影响6.7 过载-6. 8 静压影响6. 9 动态性能6. 10 环境性能6.11 疲劳寿命7 试验方法.7 7.1 环境条件.7 7.2 试验前准备.8 7.3 外部连接性能.8 7.4 电气性能.8 7.5 静态性能.9 7.6 稳定性.10 7.7 温度影响.7.8 过载7.9 静压影响GB/T 28855-2012 7.10 动态性

4、能四7.11 环境性能137.四疲劳寿命.15 8 检验规则.8.1 检验分类8.2 出厂检验8.3 型式检验.9 标志、包装、运输及贮存.四9. 1 产品标志189.2 包装、运输及贮存.四附录A(规范性附录)传感器性能指标的计算方法20A.1 实际工作特性20A. 2 参比工作直线. . . . . . 20 A. 3 满量程输出(YFS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 A.4 非线性仔lJ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 A. 5 迟滞仔H). . . . . . . . . . .

5、 . .,. . . . . . 22 A. 6 重复性仔. . . . . . . 22 A.7 准确度(. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 A. 8 零点漂移z). . . . . . . . . . . . . . . . . 25 A.9 零点长期稳定性(Tz) 25 A.四满量程输出漂移心.25A. 11 热零点漂移(.25A. 12 热满量程输出漂移(罔 25 A.13 振动对传感器零点影响(ZO)26E GB/T 28855-2012 目。吕本标准按照GB/T1. 1-2009给出的规则起草。本标准由中国机械工业联合会提出。本

6、标准由中国机械工业联合会归口。本标准起草单位:沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、昆山双桥传感器测控技术有限公司、大连理工大学、中国电子科技集团公司第49研究所、北京鑫诺金传感技术有限公司、北京瑞普恩德斯豪斯仪表有限公司、南京沃天科技有限公司、中国仪器仪表协会传感器分会、中国仪器仪表学会仪表元件分会。本标准主要起草人:徐淑霞、:XtJ沁、徐秋玲、于振毅、张治国、唐慧、殷波、王冰、唐祯安、陈信琦、王文襄、郭宏、宁宁、李延夫、高峰。皿yj / , , /5/ /./ ，.-/ / / / / 飞、/导已飞飞/ _j GB/T 28855-2012 硅基压

7、力传感器1 范围本标准规定了硅基压力传感器(以下简称传感器)的术语和定义、分类与命名、基本参数、要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输及贮存。本标准适用于硅基压力传感器。2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的;凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T 191-2008 包装储运图示标志GB/T 2423.1-2008 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验A:低温GB/T 2423.2一2008电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验B:高温GB/T 2423.3-2006 电工电子

8、产品环境试验第2部分:试验方法试验Cab:恒定湿热试验GB/T 2423. 5-1995 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Ea和导则:冲击GB/T 2423. 10-2008 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Fc:振动(正弦)GB/T 2423. 15-2008 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Ga和导则:稳态加速度GB/T 2423. 16 2008 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验J及导则:长霉GB/T 2423. 17-2008 电工电子产品环境试验第2部分z试验方法试验Ka:盐雾GB/T 2423.22一2002电工电子产品环境试验第2部分:试验

9、方法试验N.温度变化GB/T 2829 2002 周期检验计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)GB/T 7665-2005 传感器通用术语GB/T 7666-2005 传感器命名法及代码GB/T 14479 传感器图用图形符号GB/T 17626. 1-2006 电磁兼容试验和测量技术抗扰度试验总论GB/T 18459-2001 传感器主要静态性能指标计算方法JJG 624-2005 动态压力传感器3 术语和定义GB/T 7665-2005界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3. 1 硅基压力传感器silicon-based pressure sensors 以硅或硅复合材料为基本材

10、料，由能独立实现压力测量功能的敏感器件(或组件)构成的传感器。4 分类与命名4. 1 分类4. 1. 1 传感器输出信号类型传感器按输出信号类型可分为:1 GB/T 28855-2012 a) 模拟信号:电压信号;电流信号;一电容信号;一一频率信号。b) 数字信号。4. 1. 2 传感器感受压力的类型传感器按感受压力类型可分为:一一表压传感器;一一绝压传感器;?/ 一一差压传感器。/4.2 型号命名与图形符号/扩传感器型号筑名成/合G町T7666一2005的主1479的规定。1/ 5 基本参数5.1 测量范围 除另有规定外，传感器测白;范围也从下列数值中选取: 、 0，士1X 10 ，士1.6

11、 X 10 , :+- 2 X 10飞，土2.5X 10牛3LO饵，士4X 10，士以10，士6X 10 , 士8X10 其中n为酬，时，匀，坷，坷。测量范围的单位当;帕CPa)、T帕(挝、)、兆帕(MPa)、吉帕(GPa)0 5.2 工作温度范飞 一90oC , -80 oC，-70二屯，一巳，一55oC , -45 oC , . . _._.;.、-40 oC，一30oC，一200C户也ooC ，OC。除另有规定外，推荐工作温度范围上限值为:50 C, 60 oC , 70 175 oC , 200 oC , 300 oC , 350 oC ,400 oC ,450 oc .500 oC

12、, 55Q c , 600 oC。5.3 补偿温度范围除另有规定外，推荐补偿温度范围下限值为:一55oC , -45 oC ,-40 oC，一30oC ,-20 oC , -10 oC ,O oC。除另有规定外，推荐补偿温度范围上限值为:50 oC , 60 oC , 70 oC , 85 oC , 100 oC , 125 oC , 150 oC , 200 oC , 250 oC。5.4 被测介质的类型应给出与压力腔接触的介质类型z气体、液体、导电性介质、腐蚀性介质、非腐蚀性介质等。5.5 与被测介质相接触的材料应给出与被测介质相接触材料的名称、牌号。2 GB/T 28855-2012 5

13、.6 激励应给出传感器的激励电源，包括额定激励电压(电流)和最大激励电压(电流)。6 要求6. 1 产品技术条件(详细规范)应制定符合本标准要求的产品技术条件(详细规范)。传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的所有要求。6.2 外部连接性能6.2. 1 外观传感器的外观应元目视可见的瑕疵、锈蚀和损伤，螺纹部分应元毛刺，标志应清晰完整、准确。6.2.2 外形及安装尺寸传感器的外形及安装尺寸应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.2.3 电气连接传感器的电气连接方式应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.2.4 重量传感器重量应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.3 电气性能6.3.1

14、 输入阻抗(传感器内阻)(适用时)传感器输入阻抗(传感器内阻)应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.3.2 输出阻抗(适用时)传感器输出阻抗应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.3.3 绝缘电阻(适用时)传感器绝缘电阻应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.3.4 绝缘强度(介质耐电压)(适用时)传感器绝缘强度应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.4 静态性能6.4. 1 零点输出传感器的零点输出应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.4.2 满量程输出传感器的满量程输出应符合产品技术条件(详细规范)的规定。3 GB/T 28855-2012 6.4.3 灵敏度输出对称性(适用

15、时)传感器测量组件为双结构时，或用单组件结构进行正负两个方向测量时，其灵敏度输出对称性应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.4.4 非线性(适用时)传感器的非线性应符合产品技术条件(详细规范)的规定，推荐从表1数值中选取。表1传感器准确度等级、非线性、符合度、迟滞、重复性准确度等级非线性、符合度迟滞重复性%FS %FS %FS 0.01 0.005 0.005 0.005 0.02 主三0.010.01 0.01 0.05 0.025 0.025 0.025 0.1 0.05 0.05 三二0.050.25 主豆o.10 0.10 三二0.100.5 0.25 0.25 0.25 1. 0

16、 0.5 0.5 王三0.52.5 1.0 王三1.0主三1.05.0 王三2.5主三2.5主二2.5 6.4.5 符合度(适用时)传感器的符合度应符合产品技术条件(详细规范)的规定，推荐从表1数值中选取。6.4.6 迟滞传感器的迟滞应符合产品技术条件(详细规范)的规定，推荐从表1数值中选取。6.4.7 重复性传感器的重复性应符合产品技术条件(详细规范)的规定，推荐从表1数值中选取。6.4.8 准确度传感器的准确度应符合产品技术条件(详细规范)的规定，推荐从表l数值中选取。6.5 稳定性6.5.1 零点漂移传感器在规定时间内的零点漂移应符合产品技术条件(详细规范)的规定。规定时间推荐选取:4h

17、 , 8 h , 24 h , 72 h , 96 h ,120 h。漂移量推荐选取:小于O.05%FS，小于O.l%FS，小于O.25%FS，小于O.5%FS。6.5.2 零点长期稳定性(适用时)准确度%FS :1: 0.01 土0.02士0.05土o.1 土0.25土o.5 士1.0土2.5士5.0在规定的时间周期内，传感器零点长期稳定性应符合产品技术条件(详细规范)的规定。4 GB/T 28855-2012 时间周期推荐选取:28d, 56 d,84 d, 168 d,336 d o 6.5.3 满量程输出漂移(适用时)在规定的时间周期内，传感器满量程输出漂移应符合产品技术条件(详细规范

18、)的规定。时间周期推荐选取:28d, 56 d,84 d, 168 d, 336 d。6.6 温度影晌6.6.1 热零点漂移传感器在补偿温度范围内的热零点漂移应符合产品技术条件(详细规范)的规定。推荐从表2数值中选取。表2热零点漂移和热满量程输出漂移准确度等级热零点漂移热满量程输出漂移% FS/C % FS/C o. 01 士0.005土0.005o. 02 土0.01士0.010.05 土0.01士0.01o. 1 土0.02士0.02o. 25 士0.04土0.04o. 5 土0.05土0.051. 0 士0.08士0.082. 5 土0.10士o.10 5.0 土0.20士0.206.6

19、.2 热满量程输出漂移传感器在补偿温度范围内的热满量程输出漂移应符合产品技术条件(详细规范)的规定。推荐从表2数值中选取。6. 7 过载传感器过载能力应符合产品技术条件(详细规范)的规定。当传感器用于双向测量时，产品技术条件(详细规范)应分别给出其正向和负向能承受的最大过载压力。6.8 静压影晌6.8.1 双向静压6. 8. 1. 1 最大静压(静压)(适用时)对于差压传感器，产品技术条件(详细规范)应给出传感器能承受的最大静压压力(简称静压)。静压大小与差压测量范围相关。在承受最大静压压力后，传感器的零点输出变化误差应符合产品技术条件(详细规范)规定。5 GB/T 28855-2012 6.

20、8. 1. 2 零点静压误差(适用时传感器零点静压误差应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.8.1.3 量程静压误差(适用时)传感器量程静压误差应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.8.2 单向静压(适用时)传感器的单向静压应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.9 动态性能6.9.1 频率响应(适用时)传感器的频率响应应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.9.2 谐振频率(适用时)传感器的谐振频率应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.9.3 自振(振铃)频率(适用时)传感器的自振(振铃)频率应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.9.4 阻尼比(适用时)传感器的阻尼比应符

21、合产品技术条件(详细规范的规定。6.9.5 上升时间(适用时)传感器的上升时间应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.9.6 时间常数(适用时)传感器的时间常数应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.9.7 过冲量(适用时)传感器的过冲量应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.10 环境性能6. 10. 1 低温试验试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6.10.2 高温试验试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6. 10.3 温度变化试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6 GB/T 28855-2012 6.10.4 振动振

22、动过程中和试验后，传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6. 10. 5 冲击(适用时)试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6. 10.6 加速度(适用时)试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6.10.7 温热试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6. 10.8 雹菌(适用时)试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6.10.9 盐雾(适用时)试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6.10. 10 电磁兼容性(适用时)试验中及试验后，传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能

23、要求。6. 10. 11 高温电寿命(适用时)试验中及试验后，传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6. 11 症劳寿命试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。7 试验方法7. 1 环境条件7. 1. 1 参比大气条件传感器的参比大气条件:温度:20.C士2.C; 一一相对湿度:65%士10%; 一一大气压力:86kPa106 kPa. 7. 1. 2 一般试验的大气条件当传感器不可能或元必要在参比大气条件下进行试验时，推荐使用下述大气条件:温度:15.C35 .C ; 一一相对湿度:30%85%; 一-一大气压力:86kPa106 kPa. 注z试验期间允许的

24、温度变化不大于1c /h .相对湿度范围也可由供需方商定。7 GB/T 28855-2012 7. 1. 3 其他环境条件除上述大气条件外，试验尚应在下述环境条件下进行:一一磁场:除地磁场外，元其他外界磁场;一机械振动:元机械振动。7.2 试验前准备7.2.1 连接方式被测传感器与激励电源、压力源和读数装置的连接方式，应符合产品技术条件(详细规范)的规定。术条件7.3夕7.3.1 用目测方法检查传感器的外观，或JH5倍的放大镜进行检查，结果应符合6.2.1的规定。7.3.2 外形及去接尺寸用卡尺、千分尺、千分表乎标准规或其他标准量具仪器检测传感器的外形及安装尺寸，结果应符合6.2.2的规定7.

25、3.3 电气连接用目测方法检查常感器的电气连接，结果应符合6.2.3的规定。, 7.4 电气性能 . 7.4.1 输入阻抗(传感器内阻)之?传感器不含有源器件时，将传感器输出端开路，测量其电源端的阻抗，结果应符合6.3.1的规定。传感器包含有源器件时，在传感器电源端加激励电压，输出开路，测量供电回路电流，按公式(1)计算输入阻抗，结果应符合6.3.1的规定。扎=Ujli. ( 1 ) 式中zR一一输入阻抗(传感器内阻)值，单位为千欧(kO); Ui 电源端激励电压，单位为伏(V); Ii 供电回路电流，单位为毫安(mA)。7.4.2 输出阻抗传感器不含有源器件时，直接测量其输出端的阻抗，结果应

26、符合6.3.2的规定。8 GB/T 28855-2012 传感器包含有源器件时，可采用以下方法:保持输入的压力值不变，分别测量压力传感器在输出开路和并联RL负载下的输出电压，按公式(2)计算。结果应符合6.3.2的规定。Ro =RL(YKL - YFL)/YFL ( 2 ) 式中zR。一一输出阻抗值，单位为千欧(kO); YKL一一输出端开路时的输出电压，单位为伏(V); YFL 带RL负载时的输出电压，单位为伏(V); RL 并联负载电阻，单位为千欧(kO);推荐使用10kO电阻。7.4.3 绝缘电阻在被测传感器不施加激励电源的条件下，用绝缘电阻测试仪或相应仪表，给传感器施加产品技术条件(详

27、细规范)规定的直流电压，测量传感器引出线(应与外壳元连接)与壳体之间的绝缘电阻，结果应符合6.3.3的规定。7.4.4 绝缘强度在被测传感器不施加激励电源的条件下，用绝缘强度测试仪在传感器引出线与壳体之间，施加产品技术条件(详细规范规定的交流电压，持续时间为1min或按详细规范的规定，应无击穿和飞弧现象，结果应符合6.3.4的规定。7.5 静态性能7.5. 1 试验方法传感器在符合7.2规定条件下，给传感器施加不少于3次的满量程压力预压，使被测传感器压力升到测量上限值，待压力稳定后降压至测量下限值。然后在传感器测量上、下限的全量程范围内选择均匀分布的5个ll个试验点，测量与输入压力点对应的传感

28、器输出，并且重复三次或三次以上的升、降压循环。通过上述试验获得的数据，按附录A的计算方法可确定下列静态性能指标。7.5.2 零点输出在不加载荷的情况下测量传感器的输出值，结果应符合6.4.1的规定。对绝压传感器，应在输入绝对真空压力时测量传感器的输出值。也可输入不大于10Pa的绝对压力代替真空，但实际输入的压力应不大于传感器测量允许基本误差绝对值的1/5。否则，应对输出值进行修正，按公式(3)计算零点输出，结果应符合6.4.1的规定。YO =Y缸式中:Y。零点输出，单位为伏(V); Y一一输入绝对压力不大于10Pa时的输出值，单位为伏(V); b一一校准特性曲线的端点连线的斜率，单位为伏/帕(

29、V/Pa); Z一输入的绝对压力值，单位为帕(Pa)。. ( 3 ) 对差压传感器，在高压端和低压端同时通大气时，测量传感器的输出值，结果应符合6.4.1的规定。7.5.3 满量程输出传感器测量上限与测量下限输出值之差的绝对值(以参比直线的计算值为依据)，按附录A.3的规GB/T 28855-2012 定计算，结果应符合6.4.2的规定。7.5.4 灵敏度输出对称性在传感器双测量结构的两端，如差压传感器的高压端和低压端分别测试灵敏度输出，或者使用单组件结构进行正反两个方向压力测量时，分别测量传感器的正压段和负压段灵敏度输出，按公式(的进行计算，结果应符合6.4.3的规定。户dym(h)Ym(l

30、) .L FS : ,.L, FS / X 100 % YFs(h) ( 4 ) 式中:如一一灵敏度输出对称性;YFs(h) 高压端(或量程正犀酌灵敏度输出值5Y FS (1)一低压端(或-负压段与灵敏度输出值。毛二./ 按GB/Ti算符合度，结果应符合6.4.5的规定。7.5.7 迟滞/ 按附录人5的规定计算传感器的迟滞，结果应符合6.4.6的规定。/ 7.5.8 重复性、在果应符合6.4.7的规定。/斤度，结果应符合6.4.8的规定。/ 7.6 稳定性、/少/子/气/7.6.1 零点震蒋之/工二/按产品技术条件(详细规范)规定的条件，在不加载荷的条件下，每隔1h记录一次传感器的零点输出，试

31、验时间从6.5.1中选取，按附录A.8的规定计算零点漂移，结果应符合6.5.1的规定。7.6.2 零点长期稳定性按产品技术条件(详细规范)的规定的条件，对传感器施加电压激励，每天通电不少于2h，在规定时间周期内均匀选取不少于5个间隔点，每个间隔点进行一次8h的试验，试验前应恒温通电1h，记录间隔为1h，试验期间工作温度应保持在200C士2oC。按附录A.9的规定，计算传感器零点长期稳定性，结果应符合6.5. 2的规定。7.6.3 满量程输出漂移按产品技术条件(详细规范)规定的条件，在规定时间周期内均匀选取不少于5个间隔点，按规定的时间间隔记录传感器的满量程输出，按附录A.10的规定，计算规定时

32、间内满量程输出的最大差值相对10 GB/T 28855-2012 满量程输出的百分比，结果应符合6.5.3的规定。7. 7 温度影响7.7.1 热零点漂移将传感器放入高、低温试验箱，分别在室温、补偿温度范围下限温度、补偿温度范围上限温度各恒温产品技术条件(详细规范)规定的时间，记录各温度点的零点输出值，按附录A.11的规定，计算热零点漂移，结果应符合6.6. 1的规定。7.7.2 热满量程输出漂移将传感器放入高、低温试验箱，分别在室温、补偿温度范围下限温度、补偿温度范围上限温度各恒温/ 产品技术条件(详细规范)规定的时间f记录各温度点的满量程输出值j变附录A.12的规定，计算热满量程输出漂移，

33、结果明缸的规定。7.8 过载/ / 在试验的术气斜牛下，按产品技术条件(详细规范)规定施加过载负荷，保守时间不少于1min， 荷，复3吹，恢复5min，然后按产品技术条件(详细规范)规定的苍果应符合6/1的规定。入当单组件传感器用于双向压力测量时，应对传感器的负向和正向分别按上述方法进衍过载试验。/ , 7.9 静屈影晌7.9.1 双向静压7.9. 1. 1 最大静压(静压)对差压砖感器的高压端和低压端同时施加产品技术条件(详细规范)规定的最大静压压力(简称静/ 持5平。由载16min后，按7.5.2的规定进行零点输出试验，结果应j7.9.1.2翻翻误差jL 零点静压误差是在给定静压下，传感器

34、零叩变化量相对明主主的百分比试验前，、-， / / 对差压传感器的高压端和低压端都通大气，测量传感器的输出缸/三/将产品技术条件(详细规莓规定的静压压力握军同时施加到传感器高压端和低压端，保持5min, 测量传感器的输出值。零点静压影响茜公式(5)计算，结果应符合6.8.1.2的规定。/ % nu nu 叮EA Y一一-s纠-VHY一一一们r. ( 5 ) 式中:如一一零点静压影响;YO (p)一一施加静压时的零点输出值;Y。一一试验前元静压时的零点输出值;YFS 静态校准的满量程输出值。7.9. 1. 3 量程静压误差量程静压误差是指在给定静压下，量程输出变化量相对于满量程输出值的百分比。试

35、验前，测量传感器的测量范围下限输出值和测量范围上限输出值，其差值为满量程输出值。对传感器两端同时施加产品技术条件(详细规范)规定的最大静压，保持5mino在此基础上在传感器高压端分别施加传感器G/T 28855-2012 的测量范围下限压力和测量范围上限压力，其差值为最大静压压力影响下的满量程输出值。满量程静压影响按公式(6)计算。对传感器两端同时施加产品技术条件(详细规范)规定的50%的静压压力，保持5min。在此基础上在传感器高压端分别施加传感器的测量范围下限压力和测量范围上限压力，其差值为50%静压压力影响下的满量程输出值。满量程静压影响按公式(6)计算。取两种静压压力对应的计算结果的最

36、大值，结果应符合6.8.1.3的规定。式中:户FS一一满量程静压影响; Y川户)JYm(O)m=v 100% L FS YFS (p)一一在100%或50%静压压力下测得的满量程输出值;YFS(O)一试验前元静压时的满量程输出值;YFS 一一静态校准的满量程输出值。7.9.2 单向静压 ( 6 ) 对差压传感器高压端施加产品技术条件(详细规范)规定的正向静压压力，保持5mino卸载10 min后，按7.5.2的规定，进行零点输出试验。结果应符合6.8.2的规定。再对低压端施加产品技术条件(详细规范)规定的负向静压压力，保持5min。卸载10min后，按7.5.2的规定，进行零点输出试验。结果应

37、符合6.8.2的规定。7.10 动态性能7. 10. 1 试验方法7.10. 1. 1 瞬态激励法将传感器与激波管或快速开启间相连接，对于负压传感器用爆破膜片发生器产生一个负的阶跃压力信号，以上阶跃压力的上升时间应是传感器被预测的上升时间的三分之一或更短。当激励装置产生一个阶跃压力信号时，用瞬态记录仪器记录传感器的响应波形。7.10. 1. 2 正弦激励法对于5kHz以下的频率，10MPa以下的峰值动态压力，可用正弦压力发生器直接测得传感器的频率响应，如果传感器本身的谐振频率在正弦压力发生器的频率范围之内，还可得到压力传感器的谐振频率、阻尼比和响应时间等。采用正弦激励法时，一般采用相对比较法进

38、行测试，即在正弦压力发生器上安装标准传感器，其动态性能指标要高于被测压力传感器动态性能指标的5倍10倍。激波管动态压力试验方法，正弦压力校准检定方法的详细操作按JJG624一2005的规定。通过上述试验方法，可确定下列动态性能。7.10.2 频率响应在规定的被测量频率范围内，对加在传感器上的正弦变化的测量来说，输出量与被测量幅值之比及输出量和被测量之间相位差随频率的变化为频率响应。结果应符合6.9.1的规定。7.10.3 谐振频率在产品技术条件(详细规范)规定的压力下，被测传感器具有最大输出幅值时的频率为该压力下的谐振频率。结果应符合6.9.2的规定。GB/T 28855-2012 7.10.

39、4 自振(振铃)频率当测量(压力)为阶跃变化时，在传感器输出中瞬时出现的自由振荡频率为自振(振铃)频率。按JJG 624-2005中7.3.4.3规定方法进行计算，结果应符合6.9.3的规定。7.10.5 阻尼比实际阻尼系数与临界阻尼所对应的阻尼系数之比为阻尼比。当传感器的动态特性可以近似为单自由度二阶线性系统时，按JJG624-2005中7.3.4.3和附录A规定方法计算出阻尼比，结果应符合6.9.4的规定。7.10.6 上升时间/, 飞_ . .,_. . . ._. _ -.J. _. 由于被测量(压力1的阶跃变化，传感器输出从稳定值的10%土升到稳定值的90%持续时间，为上 一升时间。

40、按JJG62民/2005中/7.3.4.3规定方法进行计算，结果应符合.9乓的规定。 7.10.7 时间常数/ 、 所献的我 数。结果应特合A/9.6的规定。7.10.8 过冲量对传感器施加阶跃压力信号后，其输出超过稳定值的最大值为过冲量。结果应符合6.9.7的规定。7. 11 环辑性能7. 11. 1 低温试验B/如2421-008中5.2规定的试验方法和以一一段路锢时;-h t; ?相告的工作温度范国下限值;/ 一一叫一，-，品.o;rr-.L.I. -, ，.-.变化速率应不超过1、.、A，.中选取或按产品技术条件(详细规范)规定:山16h , 72 h , 96 h; I Nu，=，=

41、电;一一-【中，且可.-.-L.L.-.，结束时，升温至室温，温度变比速率应不超过1oC/min; 大气环境条件下进行恢复，至传感器在室温状态稳定后，应按7.5.2规定进行零点输出或产品技术条件(详细规范)规定的性能测试，结果应符合6.10. 1的规定。7. 11.2 高温试验按GB/T2423. 2-2008中5.2规定的试验方法和以下规定试验z一一试验温度z应为5.2规定的工作温度范围上限值;一一升温速率z试验箱内温度变化速率应不超过1oC/min; 一一试验时间:宜从下列数值中选取或按产品技术条件(详细规范)规定:2h , 16 h , 72 h , 96 h , 168 h ,240

42、h , 336 h , l 000 h; 一一工作条件:从升温开始通电;一降温速率:试验持续时间结束时，降温至室温，温度变化速率应不超过1oC/min; 一一恢复时间z在一般试验的大气环境条件下进行恢复，至少2h。13 GB/T 28855-2012 传感器在室温状态稳定后，应按7.5.2规定进行零点输出或产品技术条件(详细规范)规定的性能测试，结果应符合6.10.2的规定。7.1 1. 3 温度变化按GB/T2423. 22一2002中规定的试验方法和以下规定试验:一一试验温度:按产品技术条件(详细规范)规定选取低温点和高温点;一一保持时间:宜从下列数值中选取或按产品技术条件(详细规范)规定

43、:3h , 2 h , l h , 30 min; 一一转换时间:高温和低温之间转换时间应不大于3min; 一一循环数:循环数应为5个，或按产品技术条件(详细规范)规定;恢复时间:在一般试验的大气环境条件下进行恢复，至少2h。传感器在室温状态稳定后，应按7.5.2规定进行零点输出或产品技术条件(详细规范)规定的性能测试，结果应符合6.10.3的规定。7. 11. 4 振动按GB/T2423. 10-2008中规定的试验方法进行试验，产品技术条件(详细规范)应给出频率范围、振动幅值、加速度、振动方向和持续时间。记录传感器振动前和振动过程中及振动后的零点输出信号，按附录A.13的规定计算振动对传感器零点影响