GB T 28633-2012 表面化学分析.X射线光电子能谱.强度标的重复性和一致性.pdf

《GB T 28633-2012 表面化学分析.X射线光电子能谱.强度标的重复性和一致性.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《GB T 28633-2012 表面化学分析.X射线光电子能谱.强度标的重复性和一致性.pdf（16页珍藏版）》请在麦多课文档分享上搜索。

1、ICS 7 1. 040. 40 G 04 中华人民=iI工./、毒草2和国国家标准GB/T 28633一2012/ISO24237:2005 表面化学分析X射线光电子能谱强度标的重复性和一致性Surface chemical analysis-X-ray photoelectron spectroscopy Repeatability and constancy of intensity scale CISO 24237: 2005 ,IDT) 2012-07-31发布中华人民共和国国家质量监督检验检痊总局中国国家标准化管理委员会2013-02-01实施发布GB/T 28633-2012/I

2、SO 24237 :2005 目次前言.1 引言. II I 范围.2 符号及缩略语.3 方法概述4 评估强度标重复性和一致性的方法4. 1 获取参考样品34.2 安装样品.3 4.3 清洁样品.4.4 选择测定强度稳定性的能谱仪参数设置.4 4.5 操作仪器.4 4.6 初始或后续的评估测量选项.4 4. 7 测量强度和重复性.4 4.8 计算峰面积强度、强度比和不确定度4. 9 强度标一致性的常规评估方法4.10 再次评估.7附录A(资料性附录)非单色MgK.X射线源的商品X射线光电子能谱仪强度重复性测量和计算实例A. 1 符号.A. 2 商品X射线光电子能谱仪强度重复性测量和计算实例.8

3、 参考文献.GB/T 28633-20 12/ISO 24237: 2005 前言本标准按照GB/T1. 1-2009给出的规则起草。本标准采用翻译法等同采用ISO24237 :2005(E)(表面化学分析X射线光电子能谱强度标的重复性和一致性。本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。本标准起草单位:北京师范大学分析测试中心。本标准主要起草人:吴正龙。I GB/T 28633-2012月SO24237: 2005 引X射线光电子能谱(XPS)广泛应用于材料表面分析。从测得的光电子谱中，得到样品表面各元素内能级的结合能，对照元素结合能表鉴别样品中的不同元素(除氢和氮以

4、外)。从测得光电子峰的强度可以得到这些元素的定量信息。应用公式和仪器厂家提供的相对灵敏度因子，就可进行定量计算。灵敏度因子是否适用于仪器是至关重要的，通常在仪器安装后或经合格机构校准仪器的峰强度/能量响应函数后，灵敏度因子才能直接被应用。在本标准中，阐述了影响XPS峰强度测量不确定度的两个重要的仪器因素:(1)峰强度测量的重复性;(2)峰强度随时间的漂移。对于分析类似样品的变化趋势和差异，重复性是重要的。影响测量重复性的有关仪器方面的因素有:X射线源的稳定性、检测器的设置、仪器对样品位置的敏感性、数据采集参数和数据处理方法。仪器强度标的漂移将影响任何定量结果分析的总体准确度。这种漂移是由于受到

5、仪器部件、电子控制单元和检测器的老化等因素的影响。在XPS仪器中，已经发现仪器在使用中，仪器的强度/能量响应函数会随仪器使用年限而变化。本标准描述了一种测定仪器强度标的重复性和一致性的简单方法，以便仪器校准，如改进操作步骤、重新设置仪器参数或重新校准强度/能量响应函数。所以，应定期重复使用这种方法检测仪器，如果仪器厂家或合格机构已经检查过仪器能正常工作，则在此期间内本方法是非常有用的。本方法使用纯铜(Cu)样品，适用于非单色铝(Al)或镜(Mg)X射线源的X射线光电子能谱仪，或单色铝(Al)X射线源的X射线光电子能谱仪。本方法不是阐述仪器所有存在的可能误差，因为这很耗费测试时间，且需要专业知识

6、和设备。而是阐述了XPS仪器强度标的常见基本问题，即重复性和漂移问题。在使用本方法时可同时使用GB/T 22571-2008口校准仪器能量。E 1 范围GB/T 28633-20 12/ISO 24237: 2005 表面化学分析X射线光电子能谱强度标的重复性和一致性本标准规定了常规分析中一种评估X射线光电子能谱仪强度标的重复性和一致性的方法，采用非单色Al/Mg或单色AIX射线源。本标准只适用于装有溅射离子枪的仪器。本标准不做强度/能量响应函数的校准。此校准应由仪器制造厂家或其他合格机构完成。本标准提供的数据用于评估和确认仪器使用期间强度/能量响应函数保持恒定的准确度。本标准提供了一些可能会

7、影响一致性的仪器设置指导意见。2 符号及结略语AAAA-z 1 Pi Pij U95 (P;) XPS S A (P乱)3 方法概述扣除Shirley本底后Cu2p附峰的平均峰面积Az的一个分量值，为在一组测量中第j次测量的值扣除Shirley本底后，Cu3p峰的平均峰面积A3的一个分量值，为在一组测量中第j次测量的值3个参量其中之一Pi的标识符号独立测量的参量之一Pij的下标表示Az，A3和A3/AZ中任一量的平均值参量第j次测量的平均值Pi的参量置信限95%时Pi平均值的不确定度X射线光电子能谱置信限95%(由分析者设定)时A3/AZ的一致性容差值仪器结合能标尺的能量漂移量，等于被测Cu2

8、p3/Z峰最大强度的结合能值减去932.7eV 参量Pi的重复性标准偏差此处为方法概述，以便能理解第4章中的详细步骤。在合适的参数下测量Cu2p3/Z和Cu3p X射线光电子峰强度，获得并准备铜锚参考物质是必要的，以便用该方法评估X射线电子能谱仪的重复性和一致性。选择这些峰是由于它们靠近实际分析中结合能的高端限和低端限。这些峰都已明确选定，并有相应的参考数据。初始步骤标准物质准备和仪器参数设置见4.14.5，其流程图见图1，图中包含有相关的子标题。如果以前没有测定过强度的重复性，用户需要从4.6进入到4.7。在4.7中，按顺序重复7次测量Cu 2p3/Z和Cu3p峰的强度。这些数据给出峰强度重

9、复性标准偏差。重复性源于以下因素:X射线源、能谱仪检测器和电子单元电源的稳定性;峰强度测量对样品位置的敏感性以及谱峰处的统计学噪声。在本方法中，应限定工作条件以保证强度测量统计学噪声相对小。这一点在附录A中进行了讨论。重复性标准偏差的值会取决于样品的定位方法。在4.7.1中，需要运用同一方法定位样品，最终的校准仅对用该方法定位的样品才有效。1 G/T 28633一2012/ISO 24237:2005 在明确的限定条件下两峰绝对强度已知，在原理上可用于确定能谱仪强度/能量响应函数的一部分2J。然而这些响应函数可能与能量有复杂关系，所以只测量两个能量处的强度还不够。因此，本方法仅限于在由测量重复

10、性计算的不确定度范围之内评估这两个能量处强度/能量响应函数的一致性，即位于这两个能量处的峰强度及其比值的一致性。测量按4.7进行，再根据测量结果按4.8计算，流程图见图1。然后，按4.9首次简单地确定强度一致性。4.1 获取参考样品4.2 安装样品4.3 清洁样品，采集全谱4.4 选择能谱仪设置参数4.5 操作仪器4. 7 测量强度和重复性4.8 计算强度和重复性4.10 两个月后再次评定圄1操作方法顺序流程图(引用了正文中的条目序号)实际上，能谱仪的强度/能量响应函数会随仪器的使用发生明显变化。如果发生这种情况，会改变由谱图得到的定量结果。此时应重点考虑以下几点:a) 改善样品的定il.;b

11、) 延长预热时间pc) 重新设置仪器，恢复原来的响应函数;d) 用实验或计算方法重新确定定量分析用的相对灵敏度因子ze) 增大原定分析结果的不确定度。上述方法的选择应取决于测试要求和该方法中所记录的两个强度比值的漂移速率。对于俄歇电子谱仪，工作在固定!:.E/E模式下(也就是所熟知的固定减速比模式)，已有测量表明每年漂移率高达2 G/T 28633-2012月SO24237: 2005 40%。主要变化发生在安装新检测器之后叮。对于XPS谱仪，工作在固定t:.E模式下(也就是所熟知的固定分析器能量模式)，认为影响较弱。所以，首次执行4.9中的周期性评估后3个月或在能谱仪上作任何实质性改动后，重

12、复步骤4.24. 5。以后每隔3个月重复一次4.9所描述的常规评估。4 评估强度标重复性和一致性的方法4. 1 获取参考样晶应使用纯度至少为99.8%的多晶Cu作为样品。为方便起见，通常采用尺寸为10mmX10 mm，厚度为0.1mm的铜倍。注z如样品需要清洁，可以在1%的硝酸中蘸一下，随后用蒸馆水淋洗。如果样品在空气中保存了几天以上，将样品浸泡在硝酸中清洗，易得到4.3.1中所需的样品。4.2 安装样晶用固定螺丝或其他金属工具将样品安装在样品托上，以保证电接触。不要用双面胶带。注1:隔3个月需要重复测量样品。安装样品保存在真空系统中以便使用。注2:双面胶带可导致污染，荷电、真空度下降，尤其是

13、在本标准所期望的时间段内。4.3 清洁样晶4.3. 1 维持超高真空，用离子溅射清洁样品以减小污染，直至在全谱中01s和C1s峰高均小于最强金属峰高度的2%。记录全谱(宽扫谱)以确保强峰仅来源于Cu，不出现样品托的特征峰。这里必须满足对真空质量的要求，无论是到完成4.7数据记录时，还是到下班时，Ols和C1s峰高均不得超过最强金属峰的3%。注1:适用于清洗样品的惰性气体离子溅射条件为5keV、30A氢离子束溅射1min，样品的溅射面积为1cm20 由此条件得到离子流密度1.8 mC/cm2，根据所安装的设备，也可以设置其他条件2束流、溅射时间和溅射面积，得到此条件下的相同流密度。不同仪器离子流

14、密度和溅射面积会有所不同。注2:隔3个月需要重复一次测量程序。过度的溅射可能会导致发射的绝对强度变化，最终越来越明显。应避免过度溅射，否则样品可能会变得很粗糙，需更换样品。注3:Cu XPS宽扫谱的例子见文献【5J8J，谱峰的详细情况见图20(a) Cu 2p3/2 Y 120 100 80 60 40 20 。90 85 80 75 70 (b) cu 3p vfnununu 电dnUUnu。ontoo500 400 300 200 100 0 940 938 936 934 932 930 928 926 924 X 65 X 说明:X轴一一结合能(eV); Y轴强度/1000计数。图2用

15、非单色AIX射线记录Cu精细谱的例子，(a) Cu 2P3/2和(b)Cu3p，能量间隔为0.1eV (每张谱图中上方曲线为采集的数据，S形曲线为Shirley本底，下方曲线为扣除Shirley本底后的谱峰)GB/T 28633-2012月SO24237: 2005 4.3.2 本标准所要求的测量应在一个工作日内完成。如需一天以上，应在每天工作开始时确认Cu样是否清洁。4.4 选择测定强度稳定性的能谱仪参数设置选择测定强度稳定性的能谱仪工作参数设置。对于评价强度一致性所需的每组X射线源和能谱仪通能、减速比、狭缝、透镜等参数设置，应重复4.44. 9的方法。注1:为了进行定量分析，希望保存所选用

16、的参数设置，以后仅需要评价这些参数设置即可。同样，为了测定化学态，希望参照GB/T22571-2008口选择校正能量所用的参数设置。如果能量校正的设置参数与所选评价参数相同，当用如下所述的Cu2P3/2峰时，则可有效地减少4.7和GB/T22571二2008口中5.7的测量工作量g注2:能谱仪及其电路设计各有不同，因而针对某一透镜组参数、狭缝和通能组合町的强度/能量响应函数对其他透镜组、狭缝和通能未必有效。许多谱学家在一组最佳条件下精确测量强度，仅需评价分析器的这一组设置条件。任何评价只对所用的设置组合有效。注3:强度标的重复性以及绝对强度随所用设置组合而变化。通常当使用大狭缝和较低能量分辨时

17、，重复性最好。4.5 操作仪器按照仪器厂家的说明书操作仪器。仪器在烘烤后应充分冷却。确保操作参数在厂家推荐的范围内，包括X射线功率、计数率、能谱仪扫描速度和厂家指定的其他任何参数。检查倍增器参数是否正确调整。对于多道探测器系统，应确保在使用此方法前，先进行任何必要的参数优化或厂家指明的检查。列出参数表，并记录其数值。注1:许多仪器厂家推荐控制电子单元和高压电子单元通电预热至少4h.以确保足够的稳定性。为了减少漂移和变化，也有必要在测量前使X射线源工作一段时间，如1h. 注2:单色器可能需要一段预热时间，出射的X射线能量可能与环境温度或单色器周围的温度有关。记录这些温度值，有助于诊断所观察到的任

18、何强度漂移问题。注3:高计数率9J或探测器电压不正确9.10J会引起峰的畸变，使峰强测量产生误差。4.6 初始或后摄的评估测量选项为了评估一台仪器强度标的一致性，需要测定峰强重复性。如尚未测定，则按如下步骤进行。如果之前已经应用此步骤测定了该仪器设置参数的重复性，并且仪器未经改装、大修、移动，则可直接执行4.9，如图1所示。4. 7 测量强度和重复性4.7.1 将铜样按通常所用的发射角和方法安装在分析位置上。记录下此发射角。样品定位方法应为通常分析所用的方法，应该遵循厂家建议的规程，确保清晰完整。注:对于某些配有单色X射线源的谱仪，可能需要专门的样品定位方法lIJ。4.7.2 选定4.4和4.

19、5的参数，分别记录结合能924eV940 eV和65eV90 eV的Cu2p拙和Cu 3p谱，如图2(a)和(b)所示，能量扫描步长约0.1eV，每一步停留时间约1s。除结合能区间外，不能改变这两个谱峰的任何采集条件。如果Cu3p峰计数小于100000，则应增加这两个峰的采集时间，以获得更好的结果。应综合考虑数据质量和工作时间，选定最终停留时间。记录这些参数。注1:样品定位方法是获得强度一致性的关键。定位方法必须确保被分析的电子来自Cu样且仅分析Cu样。注2:附录A中讨论了不同计数水平下能获得的最优重复性。4.7.3 将样品从分析位置上取下，然后重新放置，并重复4.7.1。采用规定的样品定位方

20、法。不要简单地将样品放回相同的样品托位置，除非方法要求放回原处。每次测量时重复样品移走和重放操作，直到每个峰记录7张谱为止。4 GB/T 28633-20 12/ISO 24237: 2005 4.8 计算峰面积强度、强度比和不确定度4.8. 1 确认Cu2P3/2峰强度最大值结合能在932.7 eV土0.1eV范围。否则，计算它与仪器结合能标的能量偏移.1，最接近于0.1eV，该偏移等于所测能量减去932.7eV;或者用GB/T22571-2008IJ重新校准仪器结合能标。记录所采用的方法，若测定了.1，应记录.104.8.2 每个峰测量了7张谱，对于每张谱，确定如图2所示的Shirley本

21、底，可以通过曲线拟合所测量的整个谱，或者拟合峰的高、低结合能端区间。通过曲线拟合或从谱中扣除Shirley本底，测定并记录峰面积A2j(对于每张Cu2p3/2谱)和A3j(对于每张Cu3p谱)。对于一台结合能标按GB/T22571-2008IJ 校正过的能谱仪，表1给出了确定Shirl巳y本底的端点设置值。如4.8.1中A值不为零，则将表1中的端点数值加A后用于该仪器。如果在设置的这些端点中，数据系统可在小的能量区间内对本底求平均，则可以选择3点、4点或5点求平均。分别记录Cu2p3/2和Cu3p的面积A2j和A3j，以及在端点取平均值所用的点数。注，:Shirley本底的具体算法见文献口2J

22、。能量校正细节见文献口3J和GB/T22571-2008IJ 0 注2:数据系统给出的强度数据可以是计数或者每秒计数。通过数值求和或将每个数值与通道宽度的乘积求和测定面积。所以，给出的面积可以是计数(counts)、每秒计数(counts/s)、计数电子伏(counts e V)或每秒计数电子伏(counts.eV/s)。按4.7记录数据，若两个峰选择的峰强单位相同，则峰面积表示的差别并不重要。记录测定峰面积所用的单位。注3:附录A讨论求Shirley本底时，计算端点平均强度所用点数的作用。结果表明取平均能明显改善强度的重复性。表1用于Shirley本底扣除IIJ的结合能上、下限值单位为电子伏

23、X射线源峰非单色Mg非单色Al单色Al2P3/2 926.4和938.4925. 1和938.4925.1和938.43p 68.2和84.668.2和84.667.5和84.64.8.3 两个峰中每个峰的面积都有7个数据，观察这些数据是否存在按采集顺序随时间的系统变化。这些变化可能说明预热不充分、实验室温度变化、检测器电压不适当或存在其他漂移源。若是这种情况，则应采取适当措施(如增加预热时间)，再重复4.704.8.4 对每一对谱计算A以A2j比值，7对2p3/2和3p谱中每一对总共有3个Pij参量。此处t为3个Pi参量A2、A3和A2/A3中之一的标识符，为7次独立测量参量之一的标识符。计

24、算每个i参量的Pi平均值，并用式(1)计算相对标准偏差1)(PJ:已(P;j_ P)2 (P)J2= :. . . ( 1 ) 知6Pr记录三种参量中每一种量的平均值和相对标准偏差。如果任一相对标准偏差超过3%，可能需要重新检查样品定位方法。此相对标准偏差是仪器重复性的量度。注:三种参量的相对标准偏差主要依赖于样品定位方法。例如，在有单色器的系统中，样品位置偏移0.3mm可能会引起10%的强度变化川。4.9 强度标一致性的常规评估方法4.9.1 为了常规评估能谱仪的一致性，需对Cu2p的和Cu3p峰进行j为1次或2次测量。如进行2次测量，测量顺序应为2p川、3p、2p拙和3p。进行每对测量前按

25、4.7.1样品定位方法重新放置样品。应按4.4、4.5和4.7选择和记录能谱仪工作条件和样品方位。1) 原文公式(1)有误，已将原公式中6Pi改正为6P;.5 GB/T 28633-2012月SO24237: 2005 4.9.2 按4.8.2和4.8.4所描述的方法确定A2、儿和A3/A2比值。如对A2和A3测量了2次，则计算每个参量和比值A3/A2的平均值，并在下述分析中，使用A2、儿和儿/A2平均值。4.9.3 在置信限95%时，参量P;的相对不确定度U95(Pi)，由式(2)和式(3)给出:对于2次测量:( 2 ) U95 (P;) = 2. 6(P;) 对于1次测量:U95 (P;)

26、 = 3. 7(P;)( 3 ) 式中(P)已经由4.8.4中式(1)计算出。测量次数随仪器一致性评估精度要求和测量所用时间而定。注:式(2)和式(3)的推导见参考文献lJ和口3J。4.9.4 以图3为例，作出比值A3/A2的控制图。根据定量分析所要求的一致性，确定容许限。对所选的A3/A2百分比变化，将控制限标绘在相关的控制图上，如图3所示。将士O.78处设定的警戒限和用式(2)或式(3)计算所得U95(儿/A2)的相应绝对不确定度添加到A3/A2数据图中。注，:典型的容差限范围为2%6%，因此图3中S范围应为O.004 O. 012. 注2:A2和A3控制图14.15J能分别帮助诊断能谱仪

27、的变化。如果这两个值随时间减小，而比值A3/A2仍保持相对恒定，则X射线阳极可能受到污染，或检测器设置参数需要调整。按照厂家方法检查，可能需要增加检测器电压或减小瓢别器阔值。因甲、凹甲、b 0.19 0.17 b X 10 07 04 01 2004 10 07 04 01 2003 10 07 04 说明:X一一测量目期(月份); 01-1月;04-4月;07一一一7月510-10月Fa 警戒限;b一-95%容许限。01 2002 监测仪器强度一致性的控制圄示例C1415，容许限设为6%的漂移(图中数据点为比值A3/鸟，表明仪器自2002年1月启用以来从未调整过。在2004年1月第一次超出容

28、许限，本应采取措施，因为2003年1月己越过警戒限。图中每个数据点上给出了置信限为95%的不确定度U95(A3/A2)，此处(A3/A2)取O.6% 0) 圄3GB/T 28633-2012月SO24237: 2005 4.10 再次评估在对仪器进行重大改造或调整后，或仪器每使用3个月后，应使用与4.4、4.5、4.7和4.8中所规定的相同条件，重复4.24. 5和4.9，将测得数据添加到控制图中。如果A3/A2与U95(A3/A2)相应绝对不确定度之和达到警戒限，则需要检查和调整仪器或者修改校准方法，使获得的新测量结果A3/A2及其U95CA3/A2)完全在可接受区域内。如果元法得到满意的结

29、果，则应增加容许限士8，重新校准强度标，或重新测定灵敏度因子。注z灵敏度因子测量方法见ISO181181飞7 GB/T 28633-2012/ISO 24237 :2005 附录A(资料性附录)非单色MgKaX射线源的商品X射线光电子能谱仪强度重复性测量和计算实例A.1 符号B 一-Bq和BT的平均值;B, 位于通道c处的本底计数FBq 一一位于通道q处的本底计数zBT 一一位于通道r处的本底计数;c 通道序数，原点位于扫描起始点;N , 位于通道c处计数;q 包含感兴趣峰的最低通道数zr 包含感兴趣峰的最高通道数;谱峰区域每端取本底平均值的通道数目zx一一本底以上谱峰总面积; 一一-x的标准

30、不确定度;B 本底估算的标准不确定度;CX) 算得的X的标准不确定度。A.2 商品X射线光电子能谱仪强度重复性测量和计算实例本例中，在标称谱仪能量分辨率为0.4eV、样品表面分析区域为5llrn X 2 llln1的条件下，采集的谱类似于图20Cu 2P3/2和Cu3p峰强度分别为1.8兆计数CMconnts)和95千计数Ckcounts)。两峰的半宽度小于图2中峰的半宽度。此处，首先考虑仅限于泊松计数统计学引起的不确定度的最佳重复性。如果在通道q到r的范围内，定义位于通道c处谱峰计数值为N同时测得本底计数值为丘，则峰面积可写为X，见式CA.1): x =.6 CN, -B,) .C A.l

31、) c=q 同样，此测量中标准不确定度为，见式CA.2): a2 = :Z= N , + .6B , .C A. 2) c=q c=q 但是，元需测出所有通道的本底丘，而只要测出谱峰区域每端t个通道的本底B，0由于两端的强度Bq和BT大约相同，则本底标准不确定度为句，见式CA.3): a2D =2.5CBq十BT).C A.3 ) 2t c=q至r的每一通道对B，的本底不确定度的贡献不是X值的随机相加，即如式CA.2)中求和那样，而是线性相加，这是因为它们都是从相同的两个值Bq和BT导出。于是如式CA.4)所示: 1 T I / _ I 2 Bq + BT aCX)J2 = ) ;N, + C

32、r- q+ 1) 一一一一 .C A.4) 224t 如t增加到(r二q+1)/2，式CA.4)近似简化成式CA.2)。用平均值B代替Bq和丘，得到式CA.-曰:8 GB/T 28633-2012月SO24237: 2005 (X)J2 =只N，十(r-q十1)2旦.(A. 5 ) 含122t本例中，所用的参数见表A.1。本例给出Cu2p附峰的N，大约为200B，Cu3p峰大约为300B。所以，在式(A.5)中，如果t 6 ( A.6 ) 则n项小于第二项的1/6，对(X)的贡献小于8%。通常t在15之间，所以(X)近似表示为式(A. 7): =(r-q+叫去f5.( A.7 ) 显然，不确定

33、度主要取决于所选定的t值。t为11的不确定度优于t等于1的3.3倍，而与绝对信号水平元关。表A.2给出了对于t=l、3和11，式(A.1)和式(A.5)计算出Cu2P3/2和Cu3p峰强度的相对标准不确定度。表A.2也给出了3p和2P3/2峰面积比值的相对标准不确定度。谱峰2P3/2 3p 谱峰参数2P3/2 3p 表A.1用于不确定度分析的Cu2p3/2和Cu3p测量参数X B -q+1 24 850 000 296 000 121 3 130 000 23 920 165 表A.2对于表A.1数据和选定的t值，用式(A.5)算得的Cu2p3/2和Cu 3p峰强度及其比值的相对标准不确定度t

34、 1 3 0.19% 0.11% 0.58% 0.34% 比值3p/2p3120.61% 0.36% N， 60 666 000 7 076 800 11 0.06% 0.19% 0.20% 表A.3列出了通能为20eV和能谱仪分辨率为0.4eV时相应的实验数据。运用式(1)及4.7和4.8所描述的测量分析方法(即7次重复放置样品)，用表A.2中3个t值计算(Fi)值。在这种情况下，由于表A.3中实验的不确定度接近于表A.2中算得的不确定度，显然，这里不存在其他显著的不确定度来源。在分析期间X射线强度发生变化或对中是关键的场合，可能会发现Cu2P3/2和3p峰绝对强度发生变化，但强度比值仍保持

35、在由上述泊松统计分布所描述的离散区内。在表A.3情形中，X射线强度可能发生小于0.1%的改变，这限定了2P3/2峰强度测量的不确定度。表A.3Cu 2p3/2和Cu3p峰强度及其比值的实验相对标准不确定度。同一样晶经过7次重置再测量，峰强度由表A.1给出，选择不同t值采用式(1)计算t 谱峰参数1 3 11 2p3/2 0.17% 0.13% 0.18% 3p 0.65% 0.33% 0.12% 比值3p/2p的0.78% 0.40% 0.24% 9 GB/T 28633-2012月SO24237: 2005 在采集的数据集中，峰强增加，同时峰强比恒定，可能由X射线源预热期间漂移引起。峰强下降

36、可能由于样品被污染、真空条件差而导致的X射线源受污染、或因使用高计数率而导致检测器效率降低所致。超出预期的数据离散可能是由X射线源或能谱仪电源的不稳定引起的。10 GB/T 28633-20 12/ISO 24237 :2005 参考文献lJ GB/T 22571-2008 表面化学分析X射线光电子能谱仪能量标校正CISO15472:2001 Surface chemical analysis-X-ray photoelectron spectrometers一Calibrationof energy scales) 2J SEAH M P. A system for the intensit

37、y calibration of electron spectrometers. Journal of Electron Spectroscopy, 1995 ,71(3): 191-204 3J SEAH M P. XPS reference procedur巳forthe accurate intensity calibration of electron spec trometers-Results of a BCR intercomparison co-sponsored by the VAMAS SCA TW A. Surface and Interface Analysis,199

38、2 ,20(3) :243-266 4J SEAH M P. VAMAS study of intensity stability of cylindrical mirror analyser based Auger electron spectrometers. Journal of Electron Spectroscopy，1992，58(的:345-3675J BRIGGS, D and SEAH M P. Practical Surface Analysis-Vo1. 1:Auger and X-ray Photoe lectron Spectroscopy Wiley 1990 6

39、J WAGNER C D , RIGGS W M , DAVIS L E , MOULDER J F and MULENBERG G E. Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy, Perkin Elmer Corp , Eden Prairie, MN , USA, 1979 7J IKEO N , IIJIMA y , NIIMURA N , SIGEMATSU M , TAZAWA T , MATSUMOTO S , KOJIMA K and NAGASAWA Y. Handbook of X-ray Photoelectron Spec

40、troscopy, JEOL, Tokyo, 1991 8J MOULDER J F , STICKLEW F , SOBOL P E and BOMBEN K D. Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy Perkin Elmer Corp Eden Prairie, MN, USA, 1992 9J SEAH M P and TOSA M. Linearity in electron counting and detection systems. Surface and Interface Analysis ,1992 ,18(3) :24

41、0-246 10J SEAH M P , LIMC S and TONG K L. Channel electron multiplier efficiencies-The effect of the puls巳heightdistribution on Spectrum shape in Auger electron spectroscopy. Journal of Electron Spectroscopy,1989 ,48(3):209-218 l1J SEAH M p , SPENCER S J , BODINO F and PIREAUX J J. The alignment of

42、spectrome ters and quantitative measurements in X-ray photoelectron spectroscopy. J ournal of Electron Spec troscopy December, 1997 ,82(2) :159-167 口2JSHIRLEY D A. High resolution X-ray photoemission spectrum of the valence bands of gold, Physical Review B , 1972 , 5 (12) : 4709-4714 口3JSEAH M p , G

43、ILMORE, 1 S and SPENCER, S J. XPS-Binding energy calibration of electron spectrometers-4 Assessment of effects for different X-ray sources analyser resolutions angles of emission and of the overall uncertainties. Surface and Interface Analysis, 1998 , 26 C 9) : 617-641 14J ISO 7870 Control charts-Ge

44、neral guide and introduction 口5JIS07873 Control charts of arithmetic average with warming limits 口6JIS018118 Surface chemical analysis-Auger el巳ctronspectroscopy and X-ray photoelec tron spectroscopy-Guide to the use of experimentally determined relative sensitivity factors for the quantitative anal

45、ysis of homogeneous material 中华人民共和国国家标准表面化学分析X射线光电子能谱强度标的重复性和一致性GB/T 28633-2012/ISO 24237 :2005 争中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号(100013)北京市西城区三里河北街16号(100045)网址总编室:(010)64275323发行中心:(010)51780235读者服务部:(010)68523946中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销晤开本880X12301/16 印张1字数26千字2012年11月第一版2012年11月第一次印刷* 书号:155066. 1-45827定价18.00元GB/T 28633-2012 如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68510107打印日期:2012年12月18日F008AOOmOON h的N叮NS同NFON|肉的NH阁。