GB 50646-2011 特种气体系统工程技术规范.pdf

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1、GIJ 中华人民共和国国家标准UDC GB 50646 - 2011 特种气体系统工程技术规范Technical code for specialiiy gas system engineering 特种气体系统工程技术规范P 实施2012- 06-01 发布2011- 07- 26 联合发布中华人民共和国住房和城乡建设部中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局e1阁计划生版扯 统一书号:1580177.763 定价:26.00元S/N: 1580177.763 9158171163II 中华人民共和国国家标准特种气体系统工程技术规范Technical code for sp巳cialityga

2、s system engineering GB 50646 - 2011 主编部门:中华人民共和国工业和信息化部批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期:20 1 2 年6 月1 日中国计划出版社2012北京中华人民共和国国家标准特种气体系统工程技术规范Technical code for speciality gas system engineering GB 50646 - 2011 主编部门:中华人民共和国工业和信息化部批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期:20 1 2 年6 月1 日中国计划出版社2012北京中华人民共和国住房和城乡建设部公告第1076号关于发布国家

3、标准特种气体系统工程技术规范的公告11均lit-t现批准特种气体系统工程技术规范为国家标准，编号为GB 50646一2011，自2012年6月1日起实施。其中，第3.1.4、3.3.6、4.2.1(2、6)、4.3.1、5.1.5、5.1.8、5.2.1(5)、5.2.2、5.2.5、5.2.6、5.3.1、5.3.5、5.4.7、5.5. 1 (1)、6.1. 3、6.1.4、6.1.6、7. O. 6、7.O. 7、9.2.1、9.2.5、10.1. 4、10.2. 5、11.1. 10、11.1. 11、11. 2. 5、12.6. 2、12.8.4条(款)为强制性条文，必须严格执行。本

4、规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。中华人民共和国住房和城乡建设部二0一一年七月二十六日中华人民共和国国家标准特种气体系统工程技术规范GB 50646-2011 女中国计划出版社出版(地址:北京市西城区木樨地北里甲11号国宏大厦C座4层(邮政编码:100038 电话:6390643363906381) 新华书店北京发行所发行北京世知印务有限公司印刷850X 1168毫米1/32 4.25印张109千字2012年3月第1版2012年3月第1次印刷印数1-6000册会统一书号:1580177 763 定价:26.00元目U1=1 本规范是根据原建设部关于印发(2006年工程建设标准

5、规范制订、修订计划(第二批)的通知)(建标(2006J136号)的要求，由信息产业电子第十一研究院有限公司会同有关单位共同编制完成。本规范在编制过程中，编写组根据我国特种气体系统各类站房的设计、建造和运行的实际情况，进行了广泛的调查研究，同时考虑我国特种气体的技术来源情况，对国外的有关规范进行了研读，并在全国范围内向有关单位或个人征求意见，最后经审查定稿。本规范共分13章和2个附录。主要内容包括:总则、术语、特种气体站房、特种气体工艺系统、硅皖站、特种气体管道输送系统、建筑结构、电气与防雷、生命安全系统、给水排水及消防、采暖通风与空气调节、特种气体系统工程施工、特种气体系统验收等。本规范中以黑

6、体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由信息产业电子第十一设计研究院有限公司负责具体技术内容的解释。在执行本规范的过程中，请各单位结合工程实践，认真总结经验，如发现需要修改或补充之处，请将意见和有关资料寄至信息产业电子第十一设计研究院有限公司(地址:四川省成都市双林路251号，邮政编码:610021，传真:028-84333172 , E-mail: ) ，以供今后修订时参考。 1 本规范主编单位、参编单位、参加单位、主要起草人和主要审查人:主编单位:信息产业电子第十一设计研究院有限公司中国电子系统工程第二

7、建设有限公司参编单位:上海正帆超净技术有限公司中国电子工程设计院中国电子科技集团公司第五十八研究所上海华虹NEC电子有限公司成都爱德工程有限公司参加单位:上海兄弟微电子技术有限公司主要起草人:李骥王开源薛长立杜宝强黄勇李东升江元升欧华星张家红夏双兵陆崎李少洪王凌旭张强顾爱军陈奕驶崔永祥主要审查人:陈霖新阐强万铜良陈关夫汤有纶周礼誉侯文川杨琦丁柯 2 目次1总则(1 ) 2术语(2 ) 3 特种气体站房( 7 ) 3.1 一般规定( 7 ) 3.2 特种气体站房分类(8 ) 3.3 特种气体设备的布置，(8 ) 4 特种气体工艺系统( 9 ) 4. 1 一般规定( 9 ) 4. 2 特种气体输送

8、系统(9 ) 4. 3 吹扫和排气系统u5 硅烧站(1 3 ) 5.1 硅炕站工艺系统(13) 5. 2 硅炕站的布置.二门的5. 3 安全技术措施U们5.4 采暖通风与空气调节u的5. 5 消防系统(1 7) 6 特种气体管道输送系统门川6.1 一般规定U川6. 2 材料选型(1 9 ) 6. 3 管道设计 (20) 6.4 管道标识( 2 1) 7 建筑结构. (2 3 ) 8 电气与防雷( 2日8. 1 配电与照明(2日 1 8. 2 防雷与接地( 2日9 生命安全系统.7) 9. 1 特种气体管理系统(27)9. 2 特种气体探测系统(27)9. 3 安全设施口们9.4 特种气体报警的

9、联动控制( 2 9 ) 10 给水排水及消防10. 1 给水排水10.2消防门的11 采暖通风与空气调节11. 1 采暖通风(3 1) 11. 2 空气调节(3 2 ) 12 特种气体系统工程施工(3 3 ) 12. 1 一般规定(3 3 ) 12. 2 主要设备、材料进场验收( 3 3 ) 12. 3 气瓶柜与气瓶架的安装(3日12. 4 阀门箱与阀门盘的安装(3 6 ) 12. 5 特种气体管道安装门的12. 6 特种气体管道改、扩建工程施工12. 7 特种气体系统的检验N12. 8 尾气处理装置的安装(42)12. 9 生命安全设施安装 (42) 13 特种气体系统验收13. 1 一般规

10、定13. 2 设备验收(43)l3.3 管路与系统验收. (44) 13.4 气体探测与监控系统验收忏的附录A特种气体管道氮检漏方法(47)附录B特种气体系统验收测试记录表(48) 2 本规范用词说明引用标准名录附:条文说明 3 Contents 1 General provisions ( 1 ) 2 Terms ( 2 ) 3 Speciality gases room . ( 7 ) 3. 1 General requirement ( 7 ) 3. 2 Speciality gases room classification ( 8 ) 3. 3 Gases equipment lay

11、out ( 8 ) 4 Process syst巳mof speciality gases ( 9 ) 4. 1 General requirement ( 9 ) 4.2 Pipeline system of speciality gases ( 9 ) 4. 3 Purge and vent system . (1 1) 5 Silane station (1 3 ) 5. 1 Silane process system (1 3 ) 5.2 Silan巳stationlayout (1 4 ) 5. 3 Safety technology methods (1 6 ) 5. 4 Heat

12、 ventilation &. air conditioning (1 6 ) 5. 5 Fire protection system (1 7) 6 Pipeline of speciality gases (1 9 ) 6. 1 General requirement (1 9 ) 6. 2 Materials selection (1 9 ) 6. 3 Pipeline design . (20) 6. 4 Pipeline labeling (21 ) 7 Architecture and structur巳(23)8 Electrical and lightning protecti

13、on (25) 8. 1 Power distribution and lighting (25) 4 8. 2 Lightning protection and grounding (25) 9 Life safety system (27) 9. 1 Management system of speciality gases (27) 9. 2 Detection system of speciality gases . (27) 9. 3 Safety provisions . (28) 9.4 Int巳rcontrol of speciality gases alarm (29) 10

14、 .Wat巳rsupply &. drainage and fire protection (30) 10.1 Water supply &. drainage (30) 10.2 Fire protection (30) 11 Heat ventilation &. air conditioning 门口11. 1 Heat and ventilation . (31) 11. 2 Air conditioning (32) 12 Engin巳eringconstruction of speciality gases system (33) 12. 1 General requirement

15、 ( 33) 12, 2 Site acceptance of main equipment and materials ( 33) 12. 3 Installation of GC and GR (35) 12. 4 Installation of VMB and VMP (36) 12. 5 Installation of speciality gases pipeline ( 3 6 ) 12. 6 Engineering construction of revamp and expansion project of speciality gases ( 4 1) 12. 7 Inspe

16、ction and acceptance of sp巳cialitygases pipeline system . (42) 12. 8 Installation of exhaust gases local scrubber facilities (42) 12. 9 Installation of life safety facilities (42) 13 Inspection and acceptance of speciality gases system (43) 13. 1 General requireinent (43) 13.2 Inspection and accepta

17、nce of equipment (43) 5 13. 3 Inspection and .acceptance of pipeline system (44) 13.4 Inspection and acceptance of gases detection/monitoring system (46) Appendix A Helium test leakage of speciality gas (47) Appendix B Test record table of system acceptance (48) Explanation of wording in this code (

18、 5 3 ) List of quoted standards (5 4) Addition: Explanation of provisions (5日 6 i 1总则1. 0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全，做到安全适用、技术先进、经济合理、环境友好，制定本规范。1. 0.2 本规范适用于新建、改建和扩建的电子工厂的特种气体系统工程的设计、施工和验收;不适用于特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计、施工和验收。1. O. 3 特种气体系统工程的设计、施工及验收除应符合本规范的规定外，尚应符合国家现行有关标准的规定。

19、1 2术语2.0.1 特种气体specialily gas 电子工厂的掺杂、外延、离子注入、刻蚀等生产工艺中使用的具有自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。2. O. 2 特种气体系统speciality gas system 是指特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称。2.0.3 特种气体间speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。2.0.4 硅炕站silane station 是指放置硅皖或硅皖混合气体钢瓶、钢瓶集装格、Y型钢瓶、长管拖车或IS

20、0标准集装瓶组、硅烧气化装置、尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向生产厂房供应硅皖气体的独立建(构)筑物或区域。2. O. 5 数据采集与监视控制系统supervisory control and data acquisitionCSCADA) 是以计算机为基础的生产过程控制与调度自动化系统。它可以对现场的运行设备进行监视和控制，以实现数据采集、设备控制、测量、参数调节以及各类信号报警等各项功能。2. O. 6 工厂设备管理控制系统facility management control systemCFMCS) 工厂公用设备的管理控制系统，一般只具有监视功能，不具有控制功能。2.0.7 大宗

21、硅皖系统bulk silane system 是指容器水容积超过Z50L的硅烧系统，包括钢瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车CTjT)、IS0标准集装瓶组，以及数量超过7个的独立小钢瓶系统。2.0.8 大宗特种气体系统bulk speciality gas system 一般情况下，储存量大于500L的特种气体储存和送气系统。2.0.9 液态特种气体系统the liquid speciality gas system 是指以液态输送、分配，在用户终端进行汽化的特种气体系统。，2.0.10 气瓶集装格the bundle; of gas cylinders 用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接

22、口并联组合的气体钢瓶组单元。2.0.11 IS0标准集装瓶组IS0 module 按国际标准组织(1S0)要求，允许安装在架子上的多个水容积不超过lZ18L的储罐或长管气瓶的总称。2.0.12 气瓶柜gas cabinet CGC) 特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备。2.0.13 气瓶架gas rack C GR) 特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备。2.0.14 阀门箱valve manifold box CVMB) 特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。2.0.15 阀门盘valve manifold panel CVMP)

23、特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。2.0.16 低蒸气压力气体low vapor pressure gas 在室温下的饱和蒸气压小于O.ZMPa的气体。2.0.17 尾气处理装置local scrubber 对具有自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性等气体的排气与吹扫气 3 一一一一一斗v)二二;1 体的现场处理装置，处理后的尾气达到规定排放浓度，并排入用气车间的排气管道。2.0.18 气体探测系统gas detector system(GDS) 设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘及其他特种气体输送设备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体

24、在空气中的浓度来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供探测数据的系统。2.0.19 气体管理系统gas management system(GMS) 包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据传输与处理系统的气体管理与控制系统的统称。2.0.20 开敞式建筑open area 立柱和墙面遮挡部分的面积小于外围面积25%的建筑。2.0.21 不相容性incompatible 不同气体混合后即发生化学反应，释放出能量并对环境产生危害作用的特性。2.0.22 卧式气瓶horizontal cylinder 用于储存较多特种气体的气瓶。一般水容积为500L、1000Lo2

25、.0.23 自燃性气体pyrophoric gas 常温下在空气中会发生自动燃烧的气体。2.0.24 可燃性气体flammable gas 指与空气(或氧气)能够形成一定浓度的混合气态，并遇到火源会发生燃烧或爆炸的气体。2.0.25 毒性气体toxic gas 半数致死浓度超过200ppm但不超过2000ppm的气体。2.0.26 剧毒性气体virulent gas 半数致死浓度不超过50ppm的气体。2.0.27 腐蚀性气体corroslve gas 是指在一定条件下，对材料或人体组织接触产生化学反应引起可见破坏的气体。 4 2.0.28 氧化性气体oxygemze gas 是指在一定条件下

26、，在与其他物质发生的氧化还原反应里得到电子的气体。2.0.29 惰性气体inert gas 在一般情况下与其他物质不会产生化学反应的气体。2.0.30 限流孔板restrict flow orifice(RFO) 限定流体系统最大流量的一种装置。2. O. 31 过流开关excess flow switch(EFS) 流体系统的流量超出设定值时，给出开关信号。2. O. 32 AP管acidpolished pipe 经过酸洗去除表面残存颗粒的钝化无缝不锈钢管。2. O. 33 BA管brightannealing pipe 经加氢或真空状态高温热处理，消除内部应力并在管道表面形成一层钝化膜的

27、光亮无缝不锈钢管。2.0.34 EP管electro-polishedpip巳经电化学抛光，使表层实际面积得到最大程度的减少，表面产生一层较厚的封闭的氧化铭膜的电化学抛光无缝不锈钢管。2.0.35 吹扫purge 用氮气或氧气对特种气体系统内的本质气体或工作气体进行置换的过程。2.0.36 排气vent 特种气体设备与系统中排出的本质气体或工作气体。2.0.37 气体面板gas panel 集成切断阅门、调压阀、过滤器、压力计等零部件并安装在气瓶柜内的专用设施。2.0.38 最高允许浓度值threshold limit valueCTL V) 工作环境空气中有害物质的最高允许浓度值。2.0.3

28、9 最高允许浓度值一时间加权平均容许浓度threshold limit value-time weighted average(TLV-TWA) 5 作业人员按每天8h、每周刊工作制工作，不会受到伤害作用的时间加权平均浓度。2.0.40 爆炸浓度下限值low巳xplosionlimit(LEL) 可燃性气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值。2.0.41 最低着火浓度low flammable limit(LFL) 可燃性气体在空气或氧化气体中发生燃烧的浓度下限值。2.0.42 最高着火浓度upper flammable limit (UFL) 可燃性气体在空气或氧化气体中发生燃烧的浓度上

29、限值。2. o. 43 半数致死浓度lethal concentration for 50 % of test ed animals (LC50) 毒性物质使受试生物死亡一半所需的浓度。 6 3 特种气体站房3. 1一般规定3. 1. 1 特种气体站房应布置在独立的建(构)筑物、空旷区域或生产厂房的房间内。3. 1. 2 布置在生产厂房内的特种气体间，可采用气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格向生产线供应特种气体。3. 1. 3 布置在单独建(构)筑物或区域内的特种气体站，可采用气瓶集装格、卧式气瓶、IS0标准集装瓶组、长管拖车向生产线供应特种气体。3. 1. 4 特种气体站房的设置应符合下列

30、规定:1 在生产厂房内的特种气体间内的最大允许储存量不得超过表3.1.4的规定;2 当特种气体的储存量超过表3.1.4规定的数量时，应增设房间或设置独立的特种气体站。表3.1.4 生产厂房气体间最大允许储存量序号气休种类气体总量(m3)1 可燃性气体56.0 2 毒性气体92.0 3 剧毒性气体1. 1 4 自燃性气体2.8(57.0) 5 氧化性气体170.0 6 腐蚀性气体92.0 注:1气体总量标准状态下的气体体积量。2 自燃性气体达到括号内的数据应设置独立的气体站。3. 1. 5 生产厂房内的特种气体间应集中布置在生产厂房一层靠外墙的区域。3. 1. 6 低蒸气压力特种气体供应设施应靠

31、近工艺设备布置。 7 一一一一飞飞J飞俨4 3.2 特种气体站房分类3.2.1 特种气体应根据其物理化学性能及安全特性进行分类和工程设计。3.2.2 特种气体间的生产类别应符合下列规定:1 可燃性特种气体间应为甲类;2 毒性气体间、腐蚀性气体间、氧化性气体间应为乙类;3 惰性气体间应为戊类。3.2.3 生产厂房内的特种气体间根据气体性质宜分为可燃性气体间、毒性气体间/腐蚀性气体间、惰性/氧化性气体间等。3.2.4 硅皖、氨气等大宗特种气体的设备应布置在独立的特种气体站内。3.3 特种气体设备的布置3.3.1 不相容的特种气体的气瓶架应布置在不同房间里;当布置在同一房间时，气瓶架之间的距离应大于

32、6m。3.3.2 同时具有可燃性和毒性气体的设备应放在可燃性气体间。3.3.3 特种气体房间内的气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格宜靠墙布置，具有相同或相近性质的气体设备应布置在一起。3.3.4 特种气体间的中间通道宽度不得小于2m，特种气体柜与墙体之间的距离宜大于O.lm，特种气体柜之间的距离宜大于O.lm，特种气体设备的布置应预留维修与运转空间。3.3.5 特种气体站内长管拖车、IS0标准集装瓶组等大型设备宜放置在站房的室外空旷地坪。3.3.6 特种气体系统的电气控制盘、仪表控制盘的布置，应符合下列规定:1 应布置在与特种气体闰相邻的控制室内，隔墙上可设置防爆密闭观察窗。2 控制室应

33、以耐火极限不低于3.铀的隔墙和不低于1.饨的楼板与特种气体间隔开，穿越隔墙的管道孔隙应以防火材料填墙。 8 4 特种气体工艺系统4.1一般规定4. 1. 1 特种气体工艺系统应设置下列主要装置:1 储存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格;2 气体分配用阀门箱、阀门盘;3 辅助氮气吹扫系统;4 尾气处理装置。4. 1. 2 特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特种气体工艺参数、市染控制、使用安全的要求。4. 1. 3 不相容的特种气体的排气管道不得接入同一排气系统。4. 1. 4 不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统。4.2 特种气体输送系统4.2.1 特种气体系统的气瓶柜、气瓶

34、架的设置应符合下列规定:1 气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫氮气(源)瓶单瓶式)、双工艺气瓶外置吹扫氮气(源)瓶(双瓶式)、双工艺气瓶内置吹扫氮气(源)瓶(三瓶式)等多种结构配置;2 不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中;3 气瓶柜、气瓶架应设置作业用气体面板;4 系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实;5 气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，柜内的排风换气次数不得低于300次/h;6 自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排凤出口设置气体泄漏探测器;7 气瓶柜柜体外壳钢板厚度不应小于2.5mm，并有防腐蚀涂层;8 气瓶柜门应具备自动关闭功能，并配备防爆玻璃观察窗;地脚螺

35、栓的设计应满足当地地震设防烈度的要求;9 气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的安全标识牌;10 当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境时，其设计应符合现行国家标准爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范GB 50058的有关规定。4.2.2 特种气体的气瓶柜、气瓶架的气体面板设置应符合下列规定:1 自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门，并应为常闭气动间门，位置应靠近气瓶;2 气瓶压力大于O.lMPa的自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有过流开关;3 自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫、辅助抽真空装置，真空管路应设止回阀;4 气体面板应设置工艺气体排气口。4.2.3

36、可燃性特种气体的气瓶柜应符合下列规定:1 硅皖气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/h，且气瓶柜的负压应连续监控;2 自燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器;3 可燃性特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统;4 自燃性特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板。4.2.4 大宗特种气体系统应符合下列规定:1 应设置独立的气(液)瓶、储罐或长管拖车及其压力指示或钢瓶称重装置、连接回型管、气流控制的气体面板、吹扫氮气单元、电气控制柜等装置;2 大宗特种气体系统的功能配备尚应符合本规范第4.2.1条的有关规定;3 液态气体瓶的大宗特种气体系统应设计钢瓶加热与保温 10 装置;4 大宗特种气体应在

37、减压前对气体进行预热。4.2.5 液态特种气体系统的设置应符合下列规定:1 应设置独立的液体槽罐、液体输送柜、连接回型管、推动气体单元、吹扫氮气单元、电气控制柜等装置;2 液态特种气体系统应利用驱动气体压力将液态特种气体从槽罐输送至液态特种气体柜，或从液态特种气体柜直接驱动输送至用气工艺设备;液态特种气体亦可采用泵送;3 用气点应设置鼓泡器或蒸发器，将液态特种气体鼓泡或直接蒸发，以汽化形式输送至工艺反应设备。4 液态特种气体柜功能配备尚应符合本规范第4.2. 1条的有关规定。4.2.6 自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的阀门箱设置应符合下列规定:1 应设置进气管路隔离阀及压力指示装置;

38、2 气体支路应设有独立的压力控制调节阀、过滤器、过流开关;3 气体支路应设有独立的出口隔离阀;4 气体分支路应设置独立的吹扫气体装置、辅助抽真空装置等。4.2.7 惰性及氧化性特种气体系统的阀门盘设置应符合下列规定:1 应设有进气管路隔离阀及压力指示装置;2 气体支路应设有独立的压力控制调节阀、过滤器;3 气体支路应设有独立出口隔离阀门。4.3 眈扫和排气系统4.3.1 特种气体系统吹扫氯气的设置，应符合下列规定:1 自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫氯气应一一一一十一与独立的氨气源连接，不得与公用氯气或工艺氯气系统相连;2 不相容性特种气体系统的吹扫氨气不得共用同一氯气源;3 吹

39、扫氯气管线必须设置止回阀。4.3.2 吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀、排气管、高低压截止阀、高低压压力指示装置、安全阀。4.3.3 特种气体系统的辅助抽真空装置的设置应符合下列规定:1 真空发生器宜采用氮气作为引射气源;2 抽真空用氮气可由公用普通氮气供给。4.3.4 特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定:1 特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置，防止空气倒流造成污染和腐蚀;2 自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体的排气必须经过尾气处理装置处理。4.3.5 特种气体尾气处理装置的设置应符合下列规定:1 尾气处理装置的类型，应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择，不相容

40、特种气体应分别设置尾气处理装置;2 尾气处理装置应靠近特种气体柜、气瓶架等特种气体设备布置;3 特种气体的尾气处理方法宜采用干式处理吸附、湿式洗涤、加热分解处理、燃烧处理、等离子分解处理、稀释处理及以上几种处理方式的组合。 12 5硅炕站5.1 硅皖站工艺系统5. 1. 1 硅烧站工艺系统的设计应根据下列因素确定:1 硅炕站的规模;2 硅烧的物理化学性质;3 当地硅烧供应的充装、运输状况;4 用户对硅炕纯度、压力和负荷;变化的要求。5. 1. 2 硅皖站应根据工艺要求、当地气候状况、硅烧设备状况选择采用封闭式、开敞式或露天形式进行布置。5. 1. 3 硅烧输送系统应设有硅皖容器、气体面板、阀门

41、箱及连接管道。5. 1. 4 硅烧气体面板应包括减压过滤、吹扫、排气、安全控制的功能。5. 1. 5 硅皖系统应采用独立的惰性气体钢瓶进行吹扫，不得采用管道氯气吹扫。5. 1. 6 硅炕阀门箱设置除应符合本规范第4.2. 6条的规定外，还应配置惰性气体吹扫装置、气体泄漏探测器和火焰探测器。5. 1. 7 硅烧系统的排气装置的设置应符合下列规定:1 硅皖系统的排气管不得接入排风系统;2 排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于O.3m/s; 3 排气的硅皖浓度较高时，应采用燃烧式尾气处理装置处理后排人大气。5. 1. 8 硅皖钢瓶出口应设置常闭式紧急切断阀，硅皖站的安全出口应设置手动紧

42、急切断按钮，至少有一个手动紧急切断按钮与输送系统的距离应大于4.6m。 13 5. 1. 9 硅皖系统阀门、附件的设置应符合下列规定:1 硅炕输送系统应采用金属膜片的波纹管阅、隔膜阀、调压阀;2 非大宗气源应配置直径小于0.25mni的限流孔板，大宗气源应配置直径小于3.175mm的限流孔板;3 硅皖系统应配置过流开关和气体加热装置。5.2 硅皖站的布置5.2.1 硅皖站的总平面布置应符合下列规定:1 应布置在工厂常年最小频率风向的下风侧，并应远离有明火或散发火花的地点;2 不得布置在人员密集地段或主要交通要道邻近处;3 硅皖站应采用单层钢筋混凝土或钢框架、排架结构，钢框架、排架结构应采用防火

43、保护措施;4 硅皖站应设置不燃烧体的实体围墙，其高度不应小于2.5m;5 大宗硅烧系统设备必须布置在独立的开敞式建筑或空旷区域，不得建在地下室。当采用开敞式建筑结构形式时，硅皖站立柱和墙面遮挡部分面积不得大于建筑外围面积的25%。四周有障碍物时，硅皖站与障碍物的距离应大于障碍物高度的2倍;6 硅:皖站的设置应方便运输车辆和消防车辆的进出;7 硅烧站的储存、分配区域应设有防止车辆撞击的保护措施。5.2.2 硅皖站与工厂建(构)筑物的防火间距，不得小于表5.2.2的规定。表5.2.2硅烧站与工厂建(构)筑物的防火闰距(m)硅兢站储量名称;5t 5t 重要公共建筑50 甲类仓库20 民用建筑、明火或

44、散发火花地点30 40 14 其他建筑续表5.2.2名称一、二级耐火建筑三级耐火建筑四级耐火建筑电力系统电压为35kV-500kV且每台变压器容量在10MVA以上的室外变、配电站工业企业的变压器总油量大于到的室外降压变电脑厂内道路路边厂外铁路线中心线厂内铁路线中心线厂外道路路边主要次要硅炕站储量Qt I ?5t 15 I 20 20 I 25 25 30 40 30 20 10 5 30 40 注:1防火间l!:应按相邻建构)筑物的外墙、凸出部分外缘、气瓶集装格外缘的最近距离计算。2 固定容积的硅烧气罐，总容积按其水容积(m3)和工作压力(绝对压力)的乘积计算。3 与高层厂房的防火间距，应按本表相应增加3m。5.2.3 硅炕站的建筑设计应符合现行国家标准建筑设计防火规范)GB50016的有关规定。5.2