GB T 5238-1995 锗单晶.pdf

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1、ICS 29.040.30 H 81 远昌中华人民共和国国家标准错GB/T 5238-1995 单Monocrystalline germanium 目目目1995 -10-17发布1996 - 03-01实施E司第乏主交才这亚窄辛茹毒发布中华人民共和国国家标准GB/T 5238 -1995 错单晶代替GB5238-85 Monocrystalline germanium 1 主题内容与适用范围本标准规定了错单晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于制作半导体器件等用的错单晶。2 引用标准GB 5251 错单晶电阻率直流四探针测量方法GB 5252 错单

2、晶位错腐蚀坑密度测量方法GB 5254 错单晶晶向X光衍射测定方法GB 5255 错单晶晶向光反射图像测定方法GB 5256 错单晶导电类型测量方法GB 5257 错单晶少数载流子寿命直流光电导衰退测量方法3 产品分类3. 1 分类错单晶按导电类型分为n型和p型。根据电阻率允许偏差大小单晶分为三级，用英文大写字母A、B、C表示。3.2牌号3.2.1 错单晶的牌号表示为:- Ge- UC )- 了一E其中:1一一表示错单晶的生产方法。Cz表示直拉法，HB表示水平法。2一-Ge表示错单晶。3一一用n或p表示导电类型，括号内的元素符号表示掺杂剂。4一一用密勒指数表示晶向。3.2.2 示例:a. Cz

3、-Ge-nCSb)-(lll)表示晶向为(lll)n型掺锦直拉错单晶。国家技术监督局1995-10-17批准4 3 2 1 1996- 03-01实施1 GB/T 5238-1995 b. Cz-Ge-p (Ga)-(111)表示晶向为(111)p型掺嫁直拉错单晶。3. 3 规格错单晶的规格应符合表1规定。表1导电类型掺杂剂直径，mm直径允许偏差，%不大于t是度，mmGa 10-50 p In 10-50 10 40-100 Au+Galn) 二20n Sb 10-50 注2直径允许偏差指同一单晶段的最大直径和最小直径之差与其平均直径的比值的百分数。4 技术要求4. 1 物理参数4. 1. 1

4、 错单晶的电阻率参数应符合表2规定。表2导电类型掺杂剂电阻率范围电阻率允许偏差，%不大于断面电阻率不均。cmA B C 匀度，%，不大于Ga 0.1-45 p In 0.1-45 15 20 25 10 Au+Galn) 0.5-5 n Sb 0.1-45 4. 1. 2 错单晶的少数载流子寿命应符合表3规定，高速开关管和功率开关管用的掺金单晶，少数载流子寿命分别为不大于0.2s和0.2-0.5间。表3电阻率范围，0.cm n型0.1-0.9 0.9-2.5 100 2.5-4.0 150 4.0-8.0 220 8.0-16 350 16-45 600 4.2 晶向4.2.1 错单晶的晶向为

5、(111)或由供需双方商定。4.2.2 错单晶的晶向偏离应不大于20。4.3 晶体完整性少数载流子寿命，间不小子p型80 120 200 300 一500 4.3.1 错单晶的位错密度范围分成四类:1000、1000-3000、2000-4 000和3000-5 000 cm-20 4. 3. 2 错单晶不得有位错堆、星形结构、裂纹和气孔。小角晶界和位错排每根的快度不得大于3mm, 总长度不得超过单晶直径的六分之一。2 GB/T 5238 -1995 4.4 晶体外形错单晶两端面应平整，边缘不得有长度和宽度大于3mm、深度大于1mm的缺损。4. 5 其他需方如有特殊要求，供需双方另行商定。5

6、试验方法5.1 错单晶导电类型测量按GB5256进行。5.2 错单晶电阻率测量按GB5251进行。5.3 错单晶晶向测量按GB5254或GB5255进行。5.4 错单晶位错密度测量按GB5252进行。5.5 错单晶少数载流子寿命测量按GB5257进行。5.6 错单晶外形尺寸用分度值为0.2mm游标卡尺或精度相当的量具测量。5. 7 错单晶的外观质量用目视检查。6检验规则6.1 检查和验收6. 1. 1 产品应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定，并填写质量证明书。6.1.2 需方可对收到的产品进行检验，若检验结果与本标准的规定不符时，应在收到产品之日起三个月内向供方提出，由供

7、需双方协商解决。6.2 组批产品应成批提交验收。每批由1020根同一牌号的单晶组成。6. 3检验项目供方应对每根单晶的导电类型、电阻率、晶向、位错密度、少数载流子寿命、晶体外形尺寸进行检验。6.4 抽样仲裁抽样每批产品随机抽取单晶根数的20%，10根以下抽取单晶不超过2根。6.5 检验结果判定若产品的导电类型不合格，则判该批产品为不合格。其他项目检验结果若有一项不合格，则加倍取样对该不合格项目进行复验。若复验结果仍不合格，则按仲裁结果将产品降级或退货。7 标志、包装、运输和贮存7. 1 产品应用清洁的塑料薄膜逐根包装，装入适宜的包装盒内，并采取防护措施，以防损坏产品。7.2 产品外运时，将装有

8、产品的包装盒放入木箱内，并用防震填料塞紧，箱外应标有小心轻放及防潮字样或标志，并注明:a. 需方名称;b. 产品名称;C. 毛重和净重;d. 供方名称。7.3 每批产品应附有装箱单，注明:a. 供方名称Fb. 产品名称pC. 件数pd. 产品净重;e. 产品编号和日期F3 GB/T 5238-1995 f. 需方名称。7.4 每批产品应附有质量证明书，注明:a. 供方名称pb. 产品名称及牌号;C. 产品编号和净重Fd. 各项检验结果和检验部门印记ze. 本标准编号Ff. 出厂日期。7.5 产品在运输过程中要防止机械损伤、受潮和化学腐蚀性物质腐蚀。7.6 产品应贮存在洁净、干燥的环境中。4 附加说明:本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由南京错厂负责起草。本标准主要起草人丁文峰、吴玉麟。本标准1985年7月首次发布，1995年修订。的F|囚的回阁。国华人民二共和国家标准错单晶GB/T 5238-1995 中峰中国标准出版社出版北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045电话:8522112中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷新华书店北京发行所发行各地新华书店经售版权专有不得翻印当酝开本880X12301/16 印张1/2字数8千字1996年6月第一版1996年6月第一次印刷印数1-1500* 定价5.00元标目287-37书号:155066.1-12355 睡