GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范.pdf

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1、UDC P 中华人民共和国国家标准GB 50467 - 2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范Code for construction and acceptace of micro-electronics manufacturing equipment installation engineering 2008 - 12 -15 发布2009 - 07 -01实施中华人民共和国住房和城乡建设部联合发布中华人民共和国国家质量差监督检验检疫总局中华人民共和居留家标准微电子生产设备安装工程施工及验收规范Code for construction and acceptance of micr

2、o-electronics manufacruring equipment installation engineering GB 50467 - 2008 主编部门:li华人民共和国工业和信息化部批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期:20 0 9 年7 月1 日中国计划出版社2009北京1华人民共和同向家标准做电子生产设备安装工程施工及验收规范GB 50.167-2008 力巾华人民共和IP;!工业和信息化部主编1问j-f-;阳IJHl lt!Z H IH J: (J也址，北J;CliP_4 1成脏水掷地:It旦UPII号i萄宏大IY.C座i层)(邮政编码:100038 电话:6

3、3906433(3906381) 新华书h1i北京发行所发行l业界知识到Jljl厂印刷850;HG20201的有关规定。3. 7 设备开箱及吊装3.7.1 设备开箱应有建设方、设备制造广家、发组方和承包方的责任人员共同参加，进口设备还应有海关商检代表参加。3.7.2 设备开箱拆除外包装J.!lZ在设备搬入平台上进行，且由完整保留内包装c3.7.3 设备开箱应使用专用开箱器械撩开箱程序进行，不耐用大锤敲击箱体，在不了解箱体内部情况时不得将J刷牙:等器械插入箱内，拆下的包装材料应及时llj甚远离现场。3.7.4 拆除设备外包装箱后，应及时-检查内包装是否完好，对有监视振动装置的精密设备应及时检查其

4、装置，:H二应按表D.0.1 己录。如发现异常情况还应立即进行影像记录。3.7.5 起吊有内包装的设备时，应符合下列规定:1 用于起吊的吊索应根据设备重盘按本规拖到3.2. 6条规定选用。2 吊索捆绑位置!l!L避开仪表及结构脆弱部位。3 设备起吊不宜过高，以能颐和i拆除外包装底盘为宜。4 起吊时应时止设备倾斜、跌落，升降速度应均匀，不得产生冲击、碰撞现象。5 地j王搬运车运载设备时，放lU茧平稳，不1Yf.偏向如)IJ0 6 起吊设备|除应执行本规范的规定外，向应符合国家J行你1fH工程建设安装工程起直施工);JI.范)l-IG2020怕有关规定。3.7.6 设备内包装宜在气闸室拆除。拆除币

5、11J.主先HI中央点22情扫系统或无尘室专用吸尘器、洁净布清除Fl包提表丽的尘j失。怀!在内包装后，应立即由参加开箱的各方代表共同进行设备的检查和消点，:)1.应按表D.0.1记录。经检查无异常的设备应迅速搬人洁净室(区)就位。当发现异常时应及时做影像记录并提出处理意见。3.7.7 在拆除内包装后的作业过程中不得损坏设备的表面及窑封面。3.8室内搬运3.8.1 i立备从搬人平台经气l凋室至洁净室(区)安装就位的搬运，应符合F列现定:1 j古净厂房设各搬入口的尺寸应满足最大件设备搬入要求，人口位置宜靠近最大、;最重设备安装处t，应用人口数盘宜少。2 位搬运路线的峭壁、墙角、口桂应临时败设3mm

6、厚的硬PVC极保护，当采用5mm厚的Il交合板时应采取防止尘埃产生和扩敞的拍Ullio3 在活动地版上用于动液压搬运车搬运设备时，宜在搬运路线的地报上fil2mm 厚的PVC透明软板;也可先铺姐料剖腹后，两制改3mm草不锈俐板或45mm厚合金铝板。4 苦i搬运设备重坠超过活动地掘的承载能力时，应极据现场实际悄o)litl订力11四方案，井应经建设单位确认后加圈。1JI1固方案J.I满足下列要求:1)如tl因材料应为不产尘材料;2)严禁破坏和l改变原结构;3)不得在洁净室(区)采取焊J亮的方式进行方11固;:1 )力!1回过程中不可避免产生做挂尘埃时，JllZ在作业前作好EllI it ，在作业

7、11才应用中央真空清扫系统或无尘室专用l吸尘器消除尘埃;5)当力u固结构姑碍空气垂直层流班型日寸，)直在设备搬运完成后拆除。5 没备搬入期间所有房门应为关!现状态，在设备搬入过程巾，括通过某一门时，可开启该门，设备通过后应立即关闭。当无闭门器时，人员出人应随手关门。6 厂房设备摄入口的门应只在设备进出的短时间内开启，设备通过后应立即关阁。迎风大于3级时应启用防风门帘，迎风大于5级时应中断作业。3.8.2 室内搬运较轻或普通设备时宜采用手动液压搬运车，起步、停放应缓慢，行车速度应均匀，不得产生冲击、提动现象，不得碰撞壁板、门框及其他设跑。宜根据设备的重盘和体积采取下列搬运工具和方法t1 搬运重量

8、小于Zt时，宜使用3t手动液压搬运车。2 搬运重量在Z4t时，宜使用5t手动被压，撒运车。3 搬运重量在48t或重盘轻体积大的设备时，可使用两台3t或5t手$JWi压搬运车组合共同运载，但两4=应固定牢靠。3.8.3 搬运重大、精密设备时，宜采用气垫搬运装置。采用气垫搬运装置时应满足下列要求:1 操作人员应经过培训井取得特殊作业操作证。2 路面应平坦无缝。3 在活动地板上搬运设备，当单个气垫承载荷蓝大于j也极的承载能力时，应对活动地板加菌，力11因活动地板应按本规班第3.8. 1条第4款的规定执行。4 在搬运的路线上应按本规;在第3.8.1条第3款保护活动地板，并应用特眩带密封不锈钢板或合金铝

9、板的m墟。5 气垫应放在设备j在郁的承置i黄梁下。设备底部空间不足时，可用千斤顶将设备平稳托起，然后再将气垫放在设部底部的珉蓝横架下。每台设备配置的气垫不拇少于1个，严禁使用单个气垫搬运设备。6 气垫充气j吕距地(极)而宜为2日1111，行进1:1-1不手大起大部。3.9 设备安装就位3.9.1 在白流坪地面安装设告时，对地H目的保护措施应按本规班Zf 3. 8. 1条第33式的规定执行。3.9.2 在活动地极上吊装设备Jl.l编制吊装技术方案。3.9.3 设备在基lt/J!lxf也极上的固定方法应符合设备技术文件的规定，若无明确规定时l:投下列方式实施:1 有调整支j坤，且不需设置防位移、l

10、珩倾倒固定装置的设备，可只在支脚下设置不锈钢垫版。2 元调整支11雄，且不1l1i设置防f立移、防倾iflJ固定装置的设备，应设宜凹组以上平垫板。每组宜用1尖，最多不得超过3块。每组多块垫i阪u才.J事板应在下i茧，搏斗反应在上面，最薄的应在中间。3 有/1邱轮丰11可怀j支;反JIl!1的设岳，就位后1直在支承脚下准确放?盯在极，并应调整支承!出l找平设备。4 7辞设置固定装置的设备.;Jt世置点和安装方向应符合设备技术文件的规定。当未给出固定装置的形式时，宜用Z形或L形不锈钢:Jf口lli极压住设备支脚。5 设有，ij军分散版的设备，就位前应先核对固定设备的孔租管线连接月1孔的位置及孔径，

11、井应在荷重分散板上开孔，然后在规定位置安装荷重分散桩，设备就位后应及时用螺栓固定。6 在划!立基础上或自流坪地面上安装需自定的设备时.直采用膨胀螺栓阻定。7 在基础或地根上开孔时，应用中央真空清扫系统或无尘室专HJI监尘器l吸除所产生的尘埃，并应l应尽孔内的尘埃。8 安装在j的酸碱基础H或i的酸碱环氧地面上的设备，应采用不愣俐化学销国螺栓匪l定。3.9.4 简吊装就位的设备，宜采用龙门架、手动葫芦等起重装置。龙门架支)内l应设jt&j茧分散棍，31二应核对活动地极的承载能力，活动地极的敢载能力不能满足要求时应进行加固，加国应按本规范第3.8.1条第4款的规定执行。3.9.5 设备定位的基准面、

12、基准线1&f住点，对安装基准线的平面位置允许偏差应符合下列规定:12 1 与其他设备无机械联系的设备应为士10mm，2 与其他设备有机械联系的设备应为士10111103 成排同型号罚规格的设备.其操作面应在同一直线上，安装偏差不应大于3mmo3.9.6 设备投正词平的测量基准面、基准线或基m点，在设备技术文件无规定时，宜在下列部位选择:1 设备的主要工作面。2 支承滑动部件的导向西。3 精度较高的表团。4 设备水平或铅垂的主要轮廓丽。3.9.7 设备找正调平的基准面、基准线或基准点确定后，设备找正、i周平应在选定的测量位置上进行测量，复查、检验时不悔改变原测量的基准位置。3.9.8 设备找IE

13、i腾平的水:if-度!lx铅垂度应相合设备技术文件的要求。3.9.9 设备安装完成后，应按表D.0.2记录。3.10 工次配管配结3.10.1 二次配管配钱Jls.包括下列内容:1 从各种给水、排水系统的一次管道至设备接口之间的配管。2 从各种大宗气体系统的一次管道至设各接口之间的自己智。3 从各种排风、排气系统的一次管道至设备接口之间的自己智。4 从生产动力终端配电盘至设备电视峰，口之阳的配管配钱。3.10.2 二次配管不应包括特神气体系统、化学品供给与四1151:系统的一次管道至设备接口之间的配管。3.10.3 设备二次配管配线作业j直在设备找正调平井验1151:合棉后进行。3.10.4

14、二次配管配线除J2L执行本规范的规定外，服于压力相二逝的施工还应辑:合现行特种设岳安全监察条例的有关规定。3.10.5 二次配管的主材应符合设计要求e当设计有规定时应按设计采用垫料、填料等辅材;当设计无规定时应采用符合工艺要求、密封性能好、不产尘的垫料、填料等辅材。3.10.6 用于二次配管的管材、宫件、阎门应有产品合格证及材质证明书，自出厂至安装地点的储运应采用符合气体纯度要求的双层密封包装。3.10.7 配管预制作业应在专用的洁净小室内进行，加工件应经洁净处理后搬入洁净室(区)进行安装。洁净小室的洁净度等级不应低于5级。3.10.8 二次配管配钱!直接施工图施工，管线排列应整齐、美现，走向

15、应合理，纠j修应方便，不得在设备操作面布设管钱。3.10.9 当管线穿越吊顶、壁版、地极需F同时，开i同位置应避开梁、在1:、主龙饵、风口。活动地极的管绒服口边统与单块活动地板边沿的距离应大于40mmofh同应用开孔器，严禁凿或火焰切割。开if可过程中应用中央真空r，1f:J三l系统或洁净室专用眼尘器不间断地l民|览切!再及和尘。3.10.10 管线安装完成后，可采用不锈钢、铝、T!l!PVC或镀怦密封牛封J在洞口空|烛，井应用硅胶密封。3.10.11 碳惘支架、吊架应采用锻钵材料，切割端而应作防锈处理，安装店主1.:回可靠，1:卡应与管子直径丰11匹配;不锈钢管与碳钢支架、管卡之间应分别设置

16、|隔离垫和隔离套管，隔离垫宜用软质聚1m航乙烯板，套管宜用聚乙烯软督。3.10.12 从上技术夹层引下的管线，应般民在生产设备酣近的管道竖井内。无坚丹:11才应增设坚井，井盟宜用C形钢做桂架，框架)jiz夕l寸DJlj装饰不锈钢艇，面板上可安装电:气插座、3l关箱及气体快速攘头。3.10.13 输送大宗气体、非腐蚀性i容剂的不锈钢管，当采用焊接连接时，应采用鸽极直弧自动焊，鸽极茧弧自动焊使用的保护气体纯度应符合本规范第3.2.4条第6款的规定。3.10.14 进行二次配管配线时，不得在洁净室区)内进行器、铿、钻、凿等产尘作业。3.10.15 生产设备、电气配营、氢气配营、氧气配臂的撞地必组与专

17、用撞地钱可靠连接。3.10.16 当做电子生产设备的生产和安装同时进行时，二次配管配结应符合下列规定:1 施工中进行焊接等产烟明火作业时，必摄取得建设单位签发的动火许可证及动用消防设施许可证。2 生产区与安装区之间应采取临时隔离措施。3 垂直作业肘，应采取安全隔离措施，并应设置危险瞥示标志。4 洁净度等级高于等于5级的洁净室区)的人员密度不应大子0.1人1m2，洁净度等级低于5级的洁净室(区的人员密度不应大于0.25人Im203.10.17 管子从在用配管连接到新安装设备时，必细从一次配管上预留问门后接至设备相应接口，严禁在一次配管上新开三通接管。3.10.18 管子从停用配管连接到新安装设备

18、时，应排尽间后所有营内介质，其中可燃、易爆和助燃介质应排至室外安全场所。3.11 二次配啻压力试验3.11. 1 二次配管工作压力不小子。.1MPa的管道应进行压力试验，其中可燃、易:曝和助燃性气体管道应进行气富性试验;气密性试验合格后，再次拆卸过的管道必须再次做气密性试验。3.11. 2 压力试验介质应采用气体，不得采用水应试验，井应符合下列规定:1 非可燃气体、无毒气体管道的试验介质可采用与一次臂闷相同的气体或惰性气体。2 可燃、易爆和l助;燃性气体管道试验介!反应采用惰性气体。3 出验气体纯度不得何于一次管网气体的纯度。3.11. 3 二次配管气j王试验的试验压力应符合下列J:m定:15

19、 I 管道设叶压力不大子。.6MPa时试验压力应为设计压力的1.15 f音。2 管i革设计压力大于等于0.6MPa时，应按设计文件规定过H，井应采取安全蜡施。3 真空管道试验压力成为O.2MPao3.11. 4 二次配管压力试验开始时应j9!IJ盖章试验温度，试验温度严禁接近材料脆性转变温度。3. l 1. 5 ill行压力试验时应埋慢升压，达到O.2MPa时应暂停升庄，)j:应边行拉查，无异常后可继续缓慢升压到试验压力，稳压lOmin后应将压力降到设计力。应用中性发泡剂检查，无损坏、元tI挂漏应判为合梢。3.11. 6 气辛苦性试验可在压力试验后连续进行，试验压力应为设计压力，出验时间谊恃结

20、24ho应用中性发泡JfIl检查，并应重点检查l月门鸟飞料丽、法兰及蝶纹连接处，无压阵、无泄漏应判为合格。3.11. 7 泄m性出验可结合吹洗一并进行，试验压力应为设计压力，并j蓝蓝点栓在il:Q门填料函、法兰及螺纹连接处，无世隔应判为合格。3.11. 8 当世计文件规定以卤索、氮气或其他方法进行世漏性出验时，应符合现行国家际准氮泄漏检验)GB/T15823及相关的技术规定。3.11. 9 二改配管压力试验完成后应脱开设备用惰性气体进行冲(r次)洗。)11(吹)洗气体的纯度不应假于管网输送介质的纯度。除输送介质为可:棚、易爆和):燃的管网外，可用管网输送的介质进行)1 1 (1次)洗。3.11

21、. 10 输送介质为可踹、易爆和助燃的营造应采用惰性气体进行;中(吹)洗I中(吹)洗气体的纯度不应低于管同输送介质的纯度。3.11. 11 二次配管施工完成后，应进行质量检验，并应按表D. O. 3记录;二次配管压力试验和冲洗时，应按表D.0.4记录。16 4 单机调试及试运转4.0.1 设备单机调试及试运转应在设备安装和二次配管配线完成，并应经检验合格后进行。设备单机调试及试运转应由建设单位组织实施。当设备安装与单机调试非同一安装单位时，单机调试应由生产厂或供货方进行;当设备安装与单机调试为同一安装单位时，单机调试应由施工单位进行。4.0.2 设备试运转应具备下列条件z1 设备安装完毕，验收

22、合格口2 设备所需各种气体动力配管配线己与设备接通，各种介质的各项参数(包括纯度)符合设备使用要求。3 给水、排水、排气、排风已与设备接通。4 电气线路相位正确，接线端子连接牢固、可靠，绝缘也阻lj11J试合格。5 接地正确，连接牢固、可靠。6 房间洁净度、温温度、照度指标测试合格。7 室内各项安全设施和悄防设施满足使用要求，且运行正常。4.0.3 典型国产集成电路生产设备单机试运转及验收，应战本规程附录E的要求进行。进口设备应按设备采购合同技术服务条款执行。17 5工程验收5.1一般规定5. 1. 1 橄电子生产设备安装工程验收可分为交接验收与竣工验收。5. 1. 2 V挂电子生产设各二次配

23、管配线工程完成后，应对各系统进行愤验，合楠j舌j主进行交接验l段。5. 1. 3 做电子生产设各交撞验收后应进行单肌民运转。经调试、试运转，边iIJ5Z扣技术指;j:jj)副主进行竣工验收。5. 1. 4 做电子生产设备安装工程质盘验I1:i:1直接现行国家标准建Sj.工程施工质缸验收统一际准)GB50300的有关规定执行。设备交接验收ril按每台设备的安装工程及每台设备的配宫配线工程各圳为一个检验批，井J安设备安装工程及设备配管配线工程各划为一个分JlI:If进行设备交接验收。5.2交接验收5.2.1 建设单位接到安装单位战表D.O. 5填写的微电子生产设备安装工程交接(战工)验收报告后，应

24、组织施工单位、设计单位组成验收组，并应根据施工合同、本规范及设备技术文件的规定iit行交接验l肢。5.2.2 交接验收应在下列阶段进行:1 设备找正、调平后，进行设备安提交接验收。2 设备配管配线完成后，进行配管配钱交接验收。5.2.3 交接验II:i:B才安装单位应提交下列资料:1 微电子生产设备安装工程施工合问。2 主要材料合格证或质量保证书。18 3 设备开箱检查记录。4 设备安装检验批质量记录及分项工程质盘验tI!;记录。5 设备配管配线检验批质量记录及分顶工程JJlU查验收记录。6 管道焊接捡验记录。7 设备二次配管压力试验、冲(眈洗记录。8 雄主图及设计变更文件。9 工程质量事故处

25、理记录。10 设备随机技术文件。5.2.4 做电子生产设备安装工程质量主控项目，应按下列要求和方法检查:1 设备安装的平面坐标位置!但符合设i十要求。检验方法:对照自纸用钢皮尺检查。Z 垫板安装位置应准确、接触应紧密、无松动现象。检验方法:自测和月3小挪头轻击垫板检查。3 防f立移、防倾倒的压;但设置方向应正确、紧回牢靠。检验方法:对照设备安装使用说明书日泪IJ利用小粮11头轻击曰:板检查。4 特殊基础上平面不平皮、安装水平度应符合要求，调控水平度的螺脚坤应与垫极紧密接触。检验方法:用水平尺和塞尺jNlJ盘基础上平面不平度;用水平仪测量基础水平度，抽拉垫极检查接触紧密度。5 设备安装的水平度、

26、垂直度应符合设备安装使用说明书的要求。检查办法:用水平仪测量。6 二次配智的管材、阀门应符合设计要求，井应有jk4171合拍证和产IfL质盘证明书。:1金验方法:查看设计图纸、产品合格证如产品质;险证明书。7 管线布置和走向应符合设计要求。检验方法:对照图纸检查。 1!J 8 管道的对接:碍，缝处及曲管赴严禁捍接支管;需缝亮起弯点骂王吊架边主是应大于5011自由。拉验方法z哥捕或尺盘69 管边支吊架!可距应符合设计要求。拴验万洼:现察或尺量。10 二7!K配管压力试验应符合本规范第3.11.53.1L7条的合格!?f;j(G 检翻方法z查看试验记录。11 二次配管il!l(1次榄应按本规廷第3

27、.11. 9条的规定进行，并应用洁净白绸布拉查，无污染物应笋1为台暗号检副万法:查看记录。12 二次重己线的电线电缆规格、型号Jf.l符合图纸要求过在臻、丰HJ应符合设备技术文件或现行国家挥;在建筑电气工程施工质撞验收现延)GB50303的有关规定。4金验方注:对照自主L检查，南朝应电压等级的克欧表检查。13 接地连接应正确可靠，)1二应持合现行商家挥准电气装置安装工程接地装置施工及验收规起)GB50169的有关规定。拉验方法:目邮或i!1试电阻。5.2.5 敬电子生产设备安装工程质量一般项目，可接下时要求帮i方法检查:1 设各安装用的垫板表面应元尘无油，每组不应超过3块。检验方法=观察或用自

28、绸布擦拭检查。2 设各跨壁板安装的窜封应严密。检验方r:目酬，必要时进行夜间漏光检查。3 WI撤据基础H周围与活动地板之间JiI柔性接触，嵌入的柔性胶条应牢固。检验方法:目测与手触检查。4 有坡度要求的管道，其坡度应符合设计规定。检验方法:)在水准仪i!f置。20 5 管材、甜件和j闰门用螺纹连接时，其螺纹应清洁规整、元断丝乱丝;镀铮件的镀捍层应无损伤、无锈斑;螺纹接口填料应无夕卡布昏丘吉。检验方法:目础。6 法兰连接:符合下列规定:1)对接应同心、平行、紧密并与管中心垂直:2)衬垫的材质应柯:合设计要求，且不应超过1J芸;螺栓露出螺母的长度应一致，宜为露出3个螺距。检验方法:目测。7 不锈钢

29、管与眼钢支吊架、管卡之间的隔离应无遗漏。检验方法:吕视。8 阀门安装应特合下列规定:1)型号、规格应符合设计要求;引进出口方向应正确;3)手轮朝向应合理。检验方法:对照图纸检查型号、规格，臼.91tl检查安装的正确性。5.2.6 验收组应对工程质量进行评价，井应提出验收结论。参加验收单位代表应在表D.O. 6上签字。5.3蜡工验收5.3.1 建设单位接到散电子生产设备调试单位按表D.O. 5填写的微电子生产设备安装工程交接(竣工)验11:1(报告后，应组织施工单位、供货单位、设计单位组成验收组，井应根据施工合同、设计文件、本规范及设备技术文件进行撒电子生产设备安装工程竣工验收。5.3.2 设备

30、安装工程竣工验收时，调试单位应提供每台设悔的lyl机试运转记录。5.3.3 验Ijj:组应对做电子生产设备安装工程的所有工程内容:ll行全面审核、检查，检查时应作好记录，各项指标符合世-!-要求应判为合格。审查内容应缸捂没备安装、配管配线梧设备技术指挥。5.3.4 验收组应:挂t验试验以验洗俭盗评定记录验收记录2 j 5 6 7 且! 10 11 12 13 1.1 j 5 16 17 18 19 20 赂工J(!f立的查结娘lf定项目专业质篮检验!Jl: 年月日j监II!l.tfi: 项目专业技术fft货人.年月日 30 D.O.S 散电子生产设备安装工程交接竣工验收报告内容及格式应符合表D

31、.O. 5的规定。表D.O. 5 微电子生产设备安装工程交接(按工验收报告工程名称|合同主商号建设单位1交法日Jl(政工日j的施工单位问:臼专业质篮负究人检验li1设备安装完成情况二次自己管完成销况工程质盘验1投资料状况质:1ft控制资料状况施工单位.(:见项1:1绞卫l!:F n n illi以单位,I jjt意见项目负挝人:11二)11:1 31 D.0.6 设备安装(配管配线j分项工程质量验收记录内容及格式应符合表D.O. 6的规定。衰。.O. 6 设备安装边管配线)分项工程质麓验收记录J:科手:码:布iill写号i范IJ(飞位l项目?理I 项负目F技t人术lIY 检，j:41t部位施单

32、位j!Hti旧制I 验收结1仨2 7 8 9 10 11 12 13 J.i 15 lG ill设单位施工单位设汁单位验1立Jy! (公:lil正(公:iY)公j在)iiI f El负货人:项目技术:fft货人:项目负资人.项目经J!ll:年月日年月日年月日 32 D. O. 7 散电子生产设备安装工程竣工验l_记录内容及格式应销合表D.O. 7的规定。表D.O. 7 微电子生产设备安装工程拔工验收记录工程名称i m备平面| 可在笠罔号Jll 13技术施工单位项目经理负资人分包单位分包单位分包单位负责人除术负资人序号分项工程名称检验批数施工单位检查评定j拨I!:意见3 U 6 句J 8 9 1

33、0 II 12 &:li:t:坐ilj资料安全和功能检验(检测)jlt告感观质旧金收|filllT!(L主建设单位设备1J货1i设il寸IYtf.L施工单位分包单位11立(公1!n(公1p也)(公t)(生l正(公W:)JY飞项目负货人:代表.M立负资人:JY!.i:L fl革t人z场Ll古UJ人t年ylEI 年)I:l ;1二)1IJ 110 Jl 11 11 )1 1.1 3:3 附录E典型国产集成电路生产设备单机试运转及验收范例E.I曙光机E. 1. 试运轩在iT应检查下列项目.)1:应在符合要求后进行单初LJJ.:j孟件:1 环境温度Jjif_为220C土20C，相对眼皮应为40%60%

34、.洁净!皮等级应为5钮，室内光线应为黄色。2 J在中11交流l包服屯ffi应为220V士0%，频率应为50土lI-Izc 3 HLJjif_有良好的接j山。4 压缩空气压力应为O.50. 7MPac 5 J江空压力应为一O.04-O. 08MPao 6 安I河内不得有腐蚀性气体、电瞄辐射，探动频率大于等于10Hz1时，安装机器!可陋的撮19J幅度应小于3nl，据动频率小于10Hz 1I才，安装机器用1m的振动幅度应小于1.5J.m。7 开机前括cf且均应处在关|羽状态。E. 1. 2 验收项目应科合下列要求:1 设各验11:(应符合表E.1. 2的规定。表E.1. 2 设备验收要求j芋lF项目

35、数的验收方法允i!F偏差实际偏差备注1 11辑方;ii .fJl 150rmn:! X 150mm -1三尺1百11古只w大于9 d 曝光不均生JfJ技术JH际内均匀性先!盘再计算土15%捡汹J:tI应曦光能回;注IOmW/cm2光强it检测二主1位前Vjm-;Jl片xr:可行IlX士5mmI尺i赂ftt士O.5mm5 J Jt- Y r句11:rl Y士5mmI尺附|士O.5mm 31 主主表E.1. 2 项吕;& 自|验收1ft:.I尤问羔i实际时i制l击!承片台。阳程li慨激i士lI一l =二57 I显短时imil阳卡尺i驳i在s i阳台Z叫10m口1深度尺在当放主O.Srll. !ll

36、 日i毁。L绝缘也阻|二2且1010Cl0 Ix兆lX炎注，1检s范围应小于基)-lL1圭1011111102 曝光均匀性的检验方法应先rfi罔E.1. -l浏HiU毕J1;范11;内的先强.1j1占J安式E.1. Z- ii-:守:u= :!:m. -E =工一一一一一mm、.:100% Em且+E曲。二:牛u 挂i!在囚的光强均匀(%); Em且一一-il!jil在H内泌i!:点小m大光5!i( m V /cm) ; Em1ro-iY!I!范l:m内泌继.t小l起小光强1(m V Icm斗。? 罔E.1.2-光sl均匀1J:Pl盘点示意(E, 1. -l ) 2 I曝光分辨率检查应在特定的

37、工艺条件探证下，将涂有1000 1200nm光致抗蚀剂的基片用分辨率版曝光、显彤、j自恤，用线宽测盘仪按图E.1. 2-2检视IJt;片上线条的宽度，品式巳1.2年2 -.-I-算线宽变化率，其线宽变化率小于10%的报小钱如应为11艇光分辨率。I bu -b; I川B=-17一X00% 式中B一一线宽变化率(% ); (E. 1. 2-2) 35 bc一分辨率版标码;线宽(m); b, -基片上3处线宽值的最大直或最小值(m)。bo 一k-b, I b, b, l羽E.l.公2线条宽l且:抽出监示意E.2 分步投影曝光机E.2.1 试运转前应检查下列项目，并应在符合要求后进行单机试运转:1 环

38、境室阻应为22C土2C，相对温度应为40%60%，净化等组j立为5级。2 三科i交流电源电压应为380V土5%，颇率应为50土1Hz, 3 怜却水压力j壶，为O.5 O. GMPa ，水温应为lG28C，流1ft应大于30L/mino4 压缩空气或组气压力J:.!J.为O.5O. 6MPa，流量应为5L/n11n，末端过滤精度不应大于O.lp.m，露点血度应为-lOOC以下。5 真空压力应为O.02O. OtlMPa ，流i:!:应为240L/min。6 地而VR动掘。目不应大于8pm，振动分析仪的拾振装置应放1辈子工作台机座附近测试。7 璧初L应设置接地n和明显的接地标志，且接地电阻不得大于

39、1a , i)J力电路和控制电路对机壳绝缘电阻不应小于2Ma。8 交流1500V耐压试验1min，初级电路与机壳间不应被击穿且不产生故屯，漏电电流不应大于lmA0 9 JF机前应检查按钮均处在关闭状态。 36 丑2.2验收项目应符合下列要求:1 传动机向应灵活、平稳，动作应准确、协调。2工作台速度应用专用测试软件!tl盘，速度不得低于50mm/s;用直尺测盘工作台的行程不应大子lGOmll1c3 镜头验收应选取一定尺寸的硅片多片，并应确定好工艺条件，同时应进行曝光显E苔，应用扫描电镜、线宽测量仪栓!投影镜头的分辨率。镜头的分辨率应提据不同的曝光谱线确定，并应符合下列规定:l)g统曝光机:2O.

40、8111， 2) i线曝光机:0.8O. 35111; 3)DUV线i曝光机:0.35O. 181110 4 曝光系统应符合下列规定:1)光、据调节方便灵活、准确可靠;2)曝光系统曝光均匀性根据分辨率要求确定，不得大于2.5% ，应用专用测试软件和l光强检测仪进行垃测。5 ili焦、调平系统应符合下列规定:1)调焦系统采用专用测试软件、电!ll.i91敝仪(0.1 (J.m)检i则。输入调焦盘(随机)，启动启动调焦系统，回复并重复5次。IITI复的最大误差不应超过规定的调焦柏度，调焦精度为O.50. l (J.ll1 o 曙光机应对硅片进行整片或逐场调焦。2)用本款第1项的方法检i员IJi周平

41、精度。当线宽监i十不大于1J-m时，应采用精!变为O.5O. 1，.Lffi的J，平系统;当统克设计不大于O.5m时.应采用逐场调平系统。6 掩膜光栏系统应用日ffllJ、手动脸查。掩脱光栏的阻Il)i监版可在任意位置对任意尺寸进行调节。7 峨振装置的自动找平功能店，月1气功传感器791IJ盘，应保iEI烛光机的各种运行tJlj度。8 对准系统的对m方式可采用|司轴刑。l1j或离制hx才月LJU主肘照实物验收。 37 9 1主机验收应符合下列规定:1)确定好工艺条件，将万能游标测试版对准，选取具有零摆标l己的硅片肉片，自动上片，自iJJ:.t (i硅片.1靡一定数盘的回语问:列，I iJ下!匠

42、，自功下硅片，将X、Y工作台移动一定距离以后重复以上过程并显路。在显撤镜下读出每个图形的X、Y游标偏差，计算IJ:I套发IJ误差，以两片中柏度最假的作为l曝光机的套刻精度，曝光机的套亥IJ粘度为设计线宽的1/31/5;2) Hl粒子计数器检测净化等级。O 监机明Jlflj金t!)且在空载运转状态下进行，并应按现行国家标准声学yt)王法llJ定噪声回声J;l:宁主级反射面上方采用包络ijlJ -11:表面的简易法/GB37G8规定的试验方法验收。11 可靠性Jilz按现行国家标准恒定失效率假设下的失效率与平均无故障11才问的验证试验方案iGB5080.7规定的试验方法验11失。E. 3 内圈切片

43、机巳3.1i:运转前应险查下列项目，并应在符合要求后进行单村L民运转:I 环境瞌j芷应为15300C，相对温度应小于80%。2 g直1:JL对J也绝缘应用1000伏兆欧表检测，电阻应大于2ML 3 开机前电抓到:关应1:E关闭状态。E. 3. 2 验收项目应符合下列要求:1 刀t1k跳动应用杠杆式千分表检测，端面跳动不应大于8，)_m，径肉跳功不应大于0.015mm，2 工作台运动轨迹同刀盘回转平丽的平行度应用千分表栓测，不应大于0.001122003 主和1I啊?刀缸连续运转2h后，用半导体点温计检甜其滚动轴承ilflt升不应大于环境温度30C。 38 4 空载运转状态下，应用声提汁检油路声

44、主机前方1m处fii小于76dBCA)，E. -I. 硅片清洗机E.4.1 试运转前应检查下列项目Ji-直在符合要求后进行1)1机试运转:1 环境洁净度等级应为6级a2 去离子水管应采用UPVC管，接口外径j虫:为20ml11，去离子水压力应为O.25O. 3MPa，疏ft不应小于15L/mino3 排水管应采用PP管，管口外径j直为60m1110 4 氯气管应采用PP管，接口夕l、径应为10ml11.氯气压力应为O. 25O. 35MPa，流虫不应小子18L/mino5 去离子水注入应能自动进行。6 去离子水抖1，放应畅通。7 液位检测功能应完好。8 故障报警状态、提示应itrif。9 设备

45、接地应正确、可靠。10 排风装置应能正常运行。11 开机前按钮均应处在关闭状态。E. 4. 2 验收项目应抨合下列要求:1 排风口直径应为200111m ，每个中11，风口排风盘不应小于8500L/min , 2 交括在电源单相应为220V士10%，JjJl:t:s应为3.8kW D 3 机械手抖动现率应为3060次/min，可分段设定，抖动行程宜为30mmo4 去离子水快速注入时间，J有秒表检!lj不应大于150so5 去离子水排放H才1词，m秒表检测不应大于6日。6 石英清洗梢加热温度j直可间J世m点也i十检测，rlJt J芷成为室温至80C之间，允词:偏差应);J土3.C。 39 E.

46、5 旋转冲洗甩子机E.5.1 试运转前应检查下列项目，并由在特合要求后进行单机试运转:1 环境洁净度等级应为5级。2 整和lX.j!也绝缘电阻J_;iz大于2MfL3 设备摆地应可靠。4 去离子水进设备前应装有O.l，um的过出器，去离子水电i坦率1也大于17MD，细雨般不应大于1个/时，做拉数应小于10个/时，压力应符合设备使用要求，水服流动应无脉动。5 鲸气应力及流lJ:l:J主符合设-&使用要求。6 J王3fti空气进入设衍Ttr应装抨j度为0.003m的过出器，且应干跟元前110 7 开机前撞倒均应处在关闭状态。E. S. 2 验11立项目应符合下列要求:1 甩干j虫JJr可分5主歧，

47、Jfj转速表检测应为3002800r/min , 允许偏差为士31402 应m，温i十检mll氯气温度，跟度应为腔室泪N至800C之间，允卧铺盖应为S.C。3 ?J!f洗片架应为无污染的可;惰性搜IL91鼠乙烯/特报隆材料。4 测试排片应为亲水性表面，!IW1牧测试仪检测做桂数不应大于0.2个/cm205 碎片率j直为1/10000.6 平均无故i峰时间不应少于500hoE.6 扩散、氧化、退火、CVD设备E.6.1 出运转前j直检查下列项目，并应在符合要求后进行单机民运转:1 环境洁净皮等组应为6级，温度应为22.5.C士2.50C，相. 40 对?显度应为40%70%。2 湿度传感器、室内

48、温度传感器、风压传感器、空气质盘传感器应避开气体放空口及出风口处。3 接地电在且不应大于1204 不间断三相交流电摞电压应为3S0V土10%，相率由为50Hz，功率应为40kW。5 冷却水压力应为O.5MPa，流哇!应为5lOLmino 6 压缩空气压力应为O.4 MPa，流盘应为1O20Lmin。7 设备气柜风量应为1015m3/min，宁11:毒箱排风址J.l为812m3/mi丑态E.6.2 验收项目应符合下列要求:1 设备的植度传感器、压力传感器、水流7f关、水流挝叶、真空规管工作应显示正常。2 加热炉升阵温度应正常。3 机械手、推拉舟应工作正常。E.7亥IJ蚀机E.7.1 试运转前应栓聋下列项目，并应在符合要求Jf进行lyl机试运转:1 环境应符合下列规定:1)洁净度等组应为6级，温度应为2