GB T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇.pdf

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1、ICS 01. 040.13;13.040.35 C 70 道B中华人民=lI二./、和国国家标准G/T 25915.6-2010/180 14644-6 :2007 洁净室及相关受控环境第6部分:词汇Cleanrooms and associated controlled environments一Part 6: V ocabulary (ISO 14644-6: 2007 , IDT) 2011-01-14发布2011-05-01实施数码防伪/ 中华人民共和国国家质量监督检验检茂总局中国国家标准化管理委员会发布GB/T 25915.6-2010/ISO 14644-6 :2007 自次前言

2、.皿引言.N l 范围.2 术语和定义.参考文献.索引.18I GB/T 25915.6-2010/ISO 14644-6 :2007 目U吕GB/T 25915(洁净室及相关受控环境包含八个部分:第1部分:空气洁净度等级;一一第2部分:证实持续符合GB/T25915. 1的检测与监测技术要求;一一第3部分:检测方法;一一第4部分z设计、建造、启动;一一-第5部分:运行;第6部分z词汇;第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境); 一一第8部分:空气分子污染分级。本部分是GB/T25915的第6部分。本部分按照GB/T1. 1-2009给出的规则起草。本部分使用翻译法等同采用ISO

3、14644-6: 2007(洁净室及相关受控环境第6部分:词汇。本部分由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。本部分由苏州市洁净室科技促进中心、中国电子学会洁净技术分会、深圳市标准化研究院负责起草，江苏姑苏净化科技有限公司、浙江盾安机电科技有限公司、北京世源希达工程技术公司、深圳市兴科净机电工程有限公司、中国石化集团上海工程有限公司、烟台宝源净化有限公司、燕山大学建筑工程与力学学院、爱思克空气系统产品(苏州)有限公司、德州艾荷过滤设备有限公司参加起草。本部分主要起草人:王尧、陈刚、缪德弊、涂有、乐细明、耿佐力、章洪伟、陈绍丽、尤荣法、欧阳建、曾世清、杨长治、

4、于自强、刘之援、张勇、王大千。阳皿GB/T 25915.6-2010/ISO 14644-6 :2007 引为了完成对污染敏感的活动，洁净室及相关受控环境将空气悬浮粒子污染控制在适当的水平。产品或工艺受益于空气粒子物污染控制的领域有z航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗等行业。N GB/T 25915.6-2010/ISO 14644-6 :2007 洁净室及相关受控环境第6部分:词汇1 范围GB/T 25915的本部分给出了洁净室和相关受控环境有关的术语和定义，是本系列标准其他部分出现的术语和定义的汇总。本部分也包括了GB/T25916. 1和GB/T25916.2中的术语和定义。2 术

5、语和定义2. 1 2.2 2.3 2.4 2.5 2.6 6个月6 months 动态(2.97)运行的整个期间，定期复检的平均间隔不超过183d，最长间隔不超过190d的周期。GB/T 25915.2-2010,3.2. 3J 12个月12 months 动态(2.97)运行的整个期间，定期复检的平均间隔不超过366d，最长间隔不超过400d的周期。GB/T 25915.2-2010,3.2. 4J 24个月24 months 动态(2.97)运行的整个期间，定期复检的平均间隔不超过731d，最长间隔不超过800d的周期。GB/T 25915.2-2010,3.2. 5J 介入器具acces

6、s device 操作隔离装置(2.118)内工艺、工器具或产品的用具。因B/T25915.7-2010 ,3. 1J 酸acid以接收电子对并建立新化学键为化学反应特性的物质。GB/T 25915.8一2010，3.2.1J(普通)干预值action level (general) 用户在受控环境(2.45)中设定的量值。超过该值时，需立即进行干预，包括查明原因及纠正行动(2.46)。GB/T 25915. 7-2010 ,3.2; GB/T 25916. 1-2010,3. 1. 1J 2. 7 (微生物)干预值action level (micro biological) 用户在受控环境

7、(2.45)中设定的微生物量值。超过该值时，需立即进行干预，包括查明原因及纠正行动(2.46)。GB/T 25916.2一2010，3.1J1 G/T 25915.6-2010/ISO 14644-6 :2007 2.8 2.9 气溶胶发尘aerosol challenge 对过滤器和己装过滤系统(2.83)施用检测气溶胶(2.131)的过程。GB/T 25915.3-2010 ,3.3. 1J 气溶胶发生器aerosol generator 能以加热、液压、气功、超声波、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当的(例如0.05rn2rn)微粒物质的器具。2.10 2. 11 2.12 GB/T

8、25915. 3 2010 ,3.2.1J 气溶胶光度计aerosol pho1ometer 利用光散射原理、用前散射光腔测量空气悬浮粒子(2.13)质量浓度的仪器。GB/T 25915.3-2010,3. 6.1J 换气次数air exchange rate 单位时间的换气值，以单位时间送人的空气体积除以该空间的体积计算。GB/T 25915.3一2010，3.4.1J空气分子污染airborne molecular contamination AMC 以气态或汽态存在于洁净室(2.33)或相关受控环境(2.45)中，可危害洁净室(2.33)或相关受控环境(2.4日中产品、工艺或设备的分子(

9、化学的、非颗粒的)物质。注，:本定义不包含生物大分子，将其归为粒子。注2:改写GB/T25915. 8-2010，定义3.1.2。2. 13 空气悬浮粒子airborne particle 悬浮在空气中、活或非活、固体或液体、粒径1nrn100m的粒子。注:用于洁净度等级的见2.1030GB/T 25915.3-2010,3.2. 2J 2. 14 (普通)预警值alert level (general) 用户在受控环境(2.45)中设定的量值，对可能偏离正常的状况给出早期报警，超过此值时应加强对工艺的关注。GB/T 25915.7-2010 ,3. 3J 2. 15 (微生物)预警值aler

10、t level (rnicrobiological) 用户在受控环境(2.45)中设定的微生物量值，对可能偏离正常的状况给出早期报警。注:当超出预警值时，应加强对工艺的关注。GB/T 25916.1 2010 ,3. 1. 2;GB/T 25916.2一2010，3.2J2.16 2 非等动力采样anisokinetic sampling 采样口进气平均风速与该位置单向流(2.138)的平均风速明显不同的采样条件。GB/T 25915.3一2010，3.6.2JGB/T 25915.6-2010/180 14644-6:2007 2. 17 空态as-built 设施(2.82)已建成并运行，

11、但没有生产设备、材料和人员(2.108)的状态。GB/T 25915. 1-2010, 2. 4. 1; GB/T 25915. 3-2010, 3. 7. 1; GB/T 25915. 5一2010，3.2.1;GB/T 25916. 1-2010,3.2. 1J 2. 18 静态at-rest 设施(2.82)已建成，生产设备已安装好并按需方(2.51)与供方(2.123)议定的条件运行，但没有人员(2.108)的状态。GB/T 25915. 1-2010, 2.4.2; GB/T 25915.3-2010 , 3.7.2; GB/T 25915.5一2010，3.2.2;GB/T 259

12、16.1-2010,3.2. 2J 2. 19 2.20 文件索51audit trail 相关文件链或文档条目，可以据此追溯相关信息。GB/T 25916.2-2010,3. 3J 平均凤量average air flow rate 单位时间内通过的平均空气容积，可据此确定洁净室(2.33)或洁净区(2.34)的换气次数(2.11 L 注:风量的单位为立方米每小时(m3/怡。GB/T 25915. 3-2010,3.4. 2J 2.21 屏障barrier 实现隔离的各种手段。GB/T 25915. 7-2010 ,3. 4J 2.22 碱base2.23 2.24 2.25 2.26 以给

13、出电子对并建立新化学键为化学反应特性的物质。GB/T 25915.8-2010,3.2. 2J 生物气溶胶bioaerosol 悬浮在气态环境中的生物微粒。GB/T 25916.1-2010,3. 1. 3J 生物洁净室biocleanroom 产品和工艺对微生物污染敏感时所使用的洁净室。GB/T 25915. 5-2010,3. 1. 1J 生物污染biocontamination 活粒子(2.142)对物料、装置、人员、表面、液体、气体或空气的污染。GB/T 25916.1-2010,3. 1. 4;GB/T 25916.2-2010 ,3. 4J 生物毒素biotoxic 危害生物、微生

14、物、生物组织或细胞个体的生长与存活的污染物(2.41)。注2:改写GB/T25915.82010，定义3.2.303 GB/T 25915.6-2010/ISO 14644-6:2007 2.27 缝隙风速breach velocity 缝隙处能有效阻止物质逆流运动的风速。GB/T 25915. 7一2010，3.5J2.28 串级撞击采样器cascade impactor 利用撞击原理在串联的采集表面上采集气溶胶粒子(2.102)的采样装置。注2气溶胶气流速度逐级升高，使后一个采集表面采集的粒子比前一个小。GB/T 25915.3-2010 ,3.6. 3J 2.29 更衣室changing

15、 room 人员出入洁净室(2.33)时穿、脱洁净服的房间。GB/T 25915.4一2010，3.1;GB/T25915. 5-2010,3. 1. 2J 2.30 洁净度等级c1assification 洁净度分级以ISON级表示的、洁净室(2.33)或洁净区(2.34)内按空气悬浮粒子浓度划分的洁净度(2.32)水平(或规定、确定该水平的过程)。洁净度等级代表关注粒径粒子的最大允许浓度(表示为每立方米空气中的粒子(2.102)个数)。注1:浓度计算见GB/T25915.1-20103.2的式(1)。注2:本部分的等级范围限于ISO1级-ISO9级。注3:本部分的等级关注粒径(2.105)

16、限于o.1m-5m范围(较低阂值)。指定粒径阂值超出此范围的空气洁净度(2.32)，可以用U描述符(2.136)或M描述符(2.89)描述和说明(但不分级)。注4:ISO等级可带小数，最小增量为0.1，即ISO1. 1级-IS08.9级。注5:洁净度等级可适用于所有3种占用状态(见2.17，2.18，2.97)。GB/T 25915. 1-2010,2. 1. 4J 2.31 2.32 空气净化装置c1ean air device 对空气进行净化处理及分配、使环境达到规定条件的独立设备。GB/T 25915.4-2010,3. 2J 洁净度c1eanliness 产品、表面、装置、气体、流体等

17、有明确污染程度的状况。注:污染可以是粒子的、非粒子的、生物的、分子的或其他类型的。GB/T 25915.4-2010 ,3. 3J 2.33 洁净室c1eanroom 空气悬浮粒子(2.13)浓度受控的房间，其建造和使用方式使房间内进入的、产生的、滞留的粒子(2. 102)最少，房间内温度、湿度、压力等其他相关参数按要求受控。GB/T 25915. 1-2010, 2. 1. 1; GB/T 25915. 3-2010, 3. 1. 1; GB/T 25916. 1-2010, 3. 1. 5; GB/T 25916.2-2010,3. 5J 2.34 洁净区c1ean zone 空气悬浮粒子

18、(2.13)浓度受控的专用空间，其建造和使用方式使区内进入的、产生的、滞留的粒子4 GB/T 25915.6-2010/ISO 14644-6 :2007 (2. 102)最少，区内温度、湿度、压力等其他相关参数按要求受控。注2洁净区可以是开放的或封闭的;在也可不在洁净室(2.33)内。GB/T 25915.1-2010,2. 1. 2;GB/T 25915. 3-2010,3. 1. 2J 2.35 调试commissioning 为使设施(2.82)达到规定的正常运行技术条件而按计划实施并有文字记录的系列检验、调节、检测(2. 130)。2.36 2.37 2.38 GB/T 25915.

19、4-2010,3. 4J 可凝聚物condensable 可在洁净室(2.33)运行状态下因凝聚而沉积在表面上的物质。GB/T 25915.8-2010,3.2. 4J 凝聚核计数器condensation nucleus counter CNC 以凝聚方式使超微粒子(2.137)增大，再用光学方法对其计数的仪器。GB/T 25915.3-2010,3.6. 4J 接触装置contact device 专门设计的、装有适当元菌培养基、其表面易于与被测表面接触以采样的装置。GB/T 25916.1-2010 ,3. 1. 6J 2.39 接触盘contact plate 2.40 2.41 2.

20、42 以刚性盘为容器的接触装置(2.38)。GB/T 25916.1一2010，3.1.7J 隔离containment 用隔离装置(2.118)实现的操作人员(2.98)与其作业之间的高度分隔状态。GB/T 25915.7一2010，3.6J污染物contaminant 对产品或工艺有不良影响的粒子、非粒子、分子或生物体。GB/T 25915.4-2010,3. 5J 污染物类别contaminant category 沉积在关注表面时有特定和类似危害结果的一组化合物的统称。GB/T 25915.8一2010，3.1.4J 2.43 2.44 连续监测continuous 不间断的监测。GB

21、/T 25915.2-2010,3. 2.1J 控制点control point 受控环境(2.45)中的点，在该点实施控制以防止危害(2.77，2.78)的发生，或是将其消除或降至允许程度。5 GB/T 25915.6-201 O/ISO 14644-6: 2007 2.45 2.46 2.47 2.48 GB/T 25916.1-2010 ,3. 1. 8J 受控环境controlled environment 以规定方法对污染源进行控制的特定区域。GB/T 25916. 1-2010,3. 1. 9J 纠正行动corrective action 当监测(2.94)结果表明预警值(2.14

22、)(2. 15)或干预值(2.6)(2.7)己被超过时，需要采取的行动。GB/T 25916. 1-2010,3. 1. 10J 腐蚀物corrosive 使表面产生破坏性化学变化的物质。GB/T 25915.8-2010 ,3.2. 5J 数量中值粒径count median particle diameter CMD 按粒径排列粒子(2.105)时，处于中位数的粒子的粒径值。注:占一半数量的粒子其粒径小于数量中值粒径，占另一半数量的粒子其粒径大于该数量中值粒径。GB/T 25915.3-2010 ,3.2. 3J 2.49 计数效率counting efficiency 2.50 2.51

23、 2.52 2.53 2.54 给定粒径范围内读出的粒子(2.102)浓度与实际粒子浓度之比。GB/T 25915.3-2010,3.6. 5J 跨凳cross-over bench 更换洁净室(2.33)服装用的辅助长凳，也是隔开地面污染的屏障(2.21)。GB/T 25915.5-2010,3. 1. 3J 需方customer 规定洁净室(2.33)或洁净区(2.34)具体要求的机构或其代理。GB/T 25915. 1-2010,2.5. 1J 数据分组data stratification 为便于看出并理解重要趋势和偏差而对数据进行的重新组合。GB/T 25916.2一2010，3.6

24、J去污decontamination 将不需要的物质降至规定的水平。GB/T 25915.7-2010 ,3. 7J 渗漏限值designated leak 需方(2.51)与供方(2.123)商定的、可用离散粒子计数器(2.59)或气溶胶光度计(2.10)扫描(2.116)测出的设施(2.82)潘漏(2.87)最大允许透过率。GB/T 25915.3-2010 ,3.3. 2J 6 GB/T 25915.6-201 O/ISO 14644-6: 2007 2.55 微分迁移率分析仪differential mobility analyzer DMA 2.56 2.57 2.58 按粒子(2.

25、102)的电迁移率测量粒径分布(2.107)的仪器。GB/T 25915.3-2010，3.6.的扩散元件diffusion baUery element 多级粒径限制器(2.106)的专用部件，它利用扩散机理去除流动气溶胶中较小的粒子(2.102)。GB/T 25915.3-2010,3.6. 7J 稀释装置dilution system 按已知容积比将气溶胶与元粒子稀释空气混合，以降低气溶胶浓度的装置。GB/T 25915.3一2010，3.3.3J放电时间discharge time 绝缘的导电监测板上的电压(正或负)降至初始电压的百分率所需的时间。GB/T 25915.3-2010,3

26、.5. 1J 2.59 离散粒子计数器discrete-particle counter 粒子计数器2.60 2.61 2.62 2.63 DPC 可显示并记录确定体积空气中离散粒子(2.102)数量和直径(可辨别粒径)的仪器。GB/T 25915.3-2010,3.6. 8J 消毒disinfection 将物体或表面的微生物清除、破坏或灭活。GB/T 25915.5-2010,3. 1. 4J 掺杂物dopant 经产品本体吸收或(和)经扩散后，与本体合为一体，即使为微量亦可改变材料特性的物质。GB/T 25915.8-2010,3.2. 6J 估计值estimate 根据样本估计(2.6

27、3)结果获得的估计量(2.64)的值。GB/T 25916.2一2010，3.7J估计estimation 根据样本推断总体分布的未知成分，例如参数。GB/T 25916.2-2010,3. 8J 2.64 估计量estimator 用于估计总体分布未知量的统计量。7 GB/T 25915.6-2010/ISO 14644-6:2007 GB/T 25916.2二2010，3.9J2.65 2.66 2.67 2.68 2.69 2. 70 2.71 2. 72 2. 73 伪计数false count 背景噪声计数background noise count 空白计数zero count 不

28、存在粒子(2.102)时，因仪器内外多余电信号造成的离散粒子计数器(2.59)的误计。GB/T 25915.3-2010 ,3.6. 9J 纤维fiber 长宽比不小于10的粒子(2.102)0GB/T 25915.1-2010 ,2.2. 7;GB/T 25915.5-2010 ,3. 1. 5J 过谑系统filter system 由过滤器、安装架及其他支撑装置或箱体组成的系统。GB/T 25915.3-2010 ,3.3. 4J 末端过滤器final filter 空气进入洁净童(2.33)之前最末端位置上的过滤器。GB/T 25915.3-2010 ,3.3. 5J 凤量罩flowbo

29、od with f10wmeter 可分别将设施(2.82)的各个末端过滤器(2.68)或散流器完全罩住并直接测量其风量的装置。GB/T 25915.3 2010 ,3.6.10J 正规体系formal system 带有既定书面规程的生物污染(2.25)控制体系。GB/T 25916. 1-2010,3. 11J 频繁监测frequent 运行中间隔时间不超过60min的监测。GB/T 25915.2-2010 ,3.2. 2J 长手套gauntlet 可套住整个臂长的手套(2.73)。GB/T 25915.7-2010 ,3. 8J 手套隔离装置(2.118) J glove 介入器具(2

30、.4)的构成部分，当操作人员(2.98)的手伸入隔离装置的封闭空间时维持屏障(2.21)有效。GB/T 25915.7-2010,3. 9J 2. 74 手套口glove port 用于连接手套(2.73)、套袖及长手套(2.72)的部位。8 GB/T 25915.6-2010/ISO 14644-6 :2007 2. 75 2. 76 GB/T 25915.7-2010,3. 10J 手套套袖系统glove sleeve system 多部件介入器具(2.的，当更换套袖、连接封套及手套(2.73)时，维持屏障(2.21)有效。GB/T 25915.7-2010,3. 11J 半身装half-

31、suit 可在操作人员(2.98)的头、躯干、手探入隔离装置(2.118)的工作空间时，维持屏障(2.21)有效的一种介入器具(2.的。2. 77 2. 78 2. 79 GB/T 25915. 7-2010,3. 12J (普通)危害hazard (generaD 潜在的有害源。GB/T 25916. 1-2010,3. 1. 12J (微生物)危害hazard (microbiologicaD 对人员、环境、工艺或产品有不良影响的生物、化学或物理的因素。GB/T 25916.2-2010 ,3. 10J 每小时泄漏率hourly leak rate Rh 在正常工作条件(压力和温度)下隔离

32、(2.40)空间每小时的泄漏量q与该隔离空间的体积V之比。注:以小时的倒数表示(h-1)。2.80 2.81 2.82 GB/T 25915.7-2010,3. 13J 撞击采样器impact sampler 令空气或气体撞击固体表面以采集其所携粒子的装置。GB/T 25916.1一2010，3.1.13J 冲击采样器impingement sampler 令空气或气体冲击液面并进入液体，以采集其所携粒子(2.102)的装置。GB/T 25916.1-2010,3. 1. 14J 设施installation 所有相关构筑物、空气处理系统以及服务、公用系统集合而成的洁净室(2.33)，或一个或

33、数个这样的洁净区(2.34)。GB/T 25915.1-2010,2. 1. 3;GB/T 25915. 3-2010,3. 1. 3J 2.83 己装过谑系统installed filter system 已安装在顶棚、侧墙、装置、风管上的过滤系统(2.67)。GB/T 25915.3-2010，3.3.的9 GB/T 25915.6-2010/ISO 14644-6 :2007 2.84 己装过滤系统检漏installed filter system leakage test 为确认过滤器安装良好，向设施(2.82)内元旁路渗漏，过滤器及其安装框架均元缺陷和渗漏(2.87)而进行的检测(2

34、.130)。GB/T 25915. 3-2010,3.3. 7J 2.85 2.86 2.87 2.88 2.89 同轴采样iso-axial sampling 采样口进气气流方向与被采样单向流(2.138)气流方向一致的采样条件。GB/T 25915.3一2010，3.6.11J等动力采样isokinetic sampling 采样口进气气流的平均风速与该位置上单向流(2.138)的平均风速相等的采样条件。GB/T 25915.3-2010 ,3.6. 12J 渗漏leak 过滤系统(2.67)J因密封性欠佳或缺陷使污染物(2.41)漏出，造成下风向浓度超过预期值。GB/T 25915. 3

35、一2010，3.3.8J泄漏leak 隔离装置(2.118)J压差检测(2.130)按大气状况修正后所发现的缺陷。GB/T 25915.7一2010，3.14JM描述符M descriptor 每立方米空气中大粒子(2.90)的实测或规定浓度。M描述符中的当量粒径与测量方法有关。注:M描述将可作为采样点平均浓度上限C或置信上限，该值随洁净室(2.33)或洁净区(2.34)性能测定采样点数量而定。不能用M描述符确定空气洁净度等级(2.32)，但可将其单独或随洁净度等级引述。GB/T 25915.1-2010 ,2.3. 2;GB/T 25915.3-2010,3.2. 5J 2.90 大粒子ma

36、croparticle 当量直径大于5m的粒子(2.102)。GB/T 25915.1-2010 ,2. 2. 6;GB/T 25915.3-2010,3.2. 4J 2.91 质量中值粒径mass median particle diameter MMD 按质量排列粒子(2.102)时，处于中位数的粒子的粒径值。注:占全部质量一半的粒子其数径小于质量中值粒径，占另一半质量的粒子其粒径大于该质量中值粒径。2.92 2.93 GB/T 25915. 3-2010 ,3.2. 6J 测量平面measuring plane 用来检测(2.130)或测量风速等性能参数的横断面。GB/T 25915.3

37、一2010，3.4.3J分子污染molecular contamination 危害产品、工艺、设备的分子(化学的、非颗粒)物质。10 GB/T 25915.6-2010/ISO 14644-6:2007 GB/T 25915.8-2010,3. 1. 1J 2.94 监测monitoring 为检验设施(2.82)的性能而按照规定的方法和计划实施的测试。注:该信息可用来发现动态(2.97)状况下的趋势，并为工艺提供支持。GB/T 25915.2-2010,3. 1. 3J 2.95 2.96 2.97 非单向流non-unidirectional airflow 送入洁净区(2.34)的空气

38、以诱导方式与区内空气混合的一种气流分布。GB/T 25915.4-2010,3. 6;GB/T 25915.3 2010 ,3.4. 4J 补偿电压offset voltage 将未充电的绝缘导电板置于电离空气中时其上积累的电压。GB/T 25915.3-2010,3.5. 2J 动态operational 设施(2.82)按规定方式运行，其内规定数量的人员(2.108)按议定方式工作的状态。GB/T 25915.1-2010 , 2.4.3; GB/T 25915.3-2010 , 3.7.3; GB/T 25915. 5 2010 , 3. 2. 3; GB/T 25915. 1二2010

39、，3.2.3J2.98 2.99 操作人员operator 在洁净室(2.33)内从事生产工作或执行工艺程序的人员。GB/T 25915. 5-2010 , 3. 1. 6J 有机质organic 以碳为基本元素，含氢，含或不含氧、氮等其他元素的物质。GB/T 25915.8- 2010 ,3.2. 7J 2. 100 释放气体outgassing 从材料中释放出气态或蒸气态分子物质。GB/T 25915.8-2010,3. 1. 5J 2. 101 氧化荆oxidant 沉积在关注表面或产品上后，形成氧化物(02/03)或参与氧化还原反应的物质。GB/T 25915. 8-2010,3. 2

40、. 8J 2. 102 粒子(普通)particle 有明确物理边界的微小物质。GB/T 25915.4-2010,3.7 ;GB/T 25915.5-2010 ,3. 1. 7J 2. 103 粒子洁净度等级(2.30)J particle 在O.1m5m的粒径阔值(下限)范围上累计的固体或液体物质。GB/T 25915. 1-2010,2.2. 1J 11 GB/T 25915.6-2010/ISO 14644-6:2007 2. 104 粒子浓度particle concentration 单位体积空气中粒子(2.102)的个数。GB/T 25915.1一2010，2.2.3;GB/T

41、25915. 3一2010，3.2.7J2. 105 粒径particle size 给定的粒径测量仪器所显示的、与被测粒子的响应量相当的球形体直径。注:离散粒子计数器给出的是当量光学粒径。GB/T 25915.1-2010,2.2. 2;GB/T 25915. 3-2010,3. 2. 8J 2. 106 粒径限制器particle size cutoff device 连接在离散粒子计数器(2.59)或凝聚核计数器(2.37)采样口、能够将小于关注粒径的粒子(2.102) 清除的装置。GB/T 25915.3一2010，3.6.13J2. 107 粒径分布particle size dis

42、tribution 粒子按粒径(2.105)大小累计得出的粒子浓度(2.104)。GB/T 25915.1-2010 ,2.2. 4;GB/T 25915. 3-2010 ,3. 2. 9J 2. 108 人员personnel 进入洁净室(2.3汩的任何人。GB/T 25915.5-2010,3. 1. 8J 2. 109 预过滤器pre-fiIter 为减轻某过滤器的负荷而另装在其上风向的空气过滤器。GB/T 25915.4-2010 ,3. 8J 2. 110 压力维持度pr四sureintegrity 提供检测条件下可再现的压力泄漏率的能力。GB/T 25915.7-2010，3.1日

43、2. 111 工艺核心区proc臼score 与环境产生相互影响的工艺位置。GB/T 25915.4-2010 ,3. 9J 2. 112 鉴定qualification 证实一个对象(作业、工艺、产品、组织或其任何组合)是否能够满足规定要求的过程。GB/T 25916.1-2010,3. 1. 15J 2. 113 再鉴定r叫ualification按照规定的检测(2.130)顺序对设施(2.82)进行检测，包括对所选定的预检测条件的验证(2.14 1), 以证明设施(2.82)符合GB/T25915. 1-2010的洁净度等级(2.30)。GB/T 25915. 2-2010,3. 1.

44、1J 12 GB/T 25915.6-2010/ISO 14644-6 :2007 2. 114 凤险risk 危害发生的可能性及其严重性。GB/T 25916. 1-2010,3. 1. 16;GB/T 25916.2-2010 ,3. 11J 2. 115 凤险区risk zone 人员、产品或材料特别易受污染的界定空间。GB/T 25916.1-2010,3. 1. 17;GB/T 25916.2一2010，3.12J2. 116 扫描scanning 让气溶胶光度计(2.10)或离散粒子计数器(2.59)的采样口覆盖面，以略有重叠的往复行程移过规定的检测(2.130)区来查找过滤器及其

45、他部件渗漏(2.87)的方法。GB/T 25915.3-2010,3.3. 9J 2. 117 隔离描述符separation descriptor A. : BbJ 在规定的检测(2.130)条件下，隔离装置(2.118)内外洁净度(2.32)等级(2.30)差异的简要数字表达。其中zA一-装置内部的ISO等级;a一二一测量A时所用粒径(2.105); B一-一装置外部的ISO等级;b一一测量B时所用粒径(2.105)。GB/T 25915. 7-2010 ,3.16J 2. 118 隔离装置separative device 利用构造与动力学方法在确定的容积内外创建可靠隔离水平的设备。注:

46、各种行业用的隔离装置有:洁净风罩、隔离(2.40)箱、手套箱、隔离器、微环境。GB/T 25915.3-2010，3.1.幻GB/T25915.5一2010，3.1.9;GB/T 25915. 7一2010，3.17J2. 119 落菌盘settle plate 具有一定尺寸并放置有适当元菌培养基的容器(如培养皿)。将其敞开后放置某规定的时间，以收集空气中沉降的活粒子(2.142)。GB/T 25915. 1-2010, 3. 1. 18J 2. 120 标准渗漏透过率standard leak penetration 离散粒子计数器(2.59)或气溶胶光度计(2.10)的采样头停顿在渗漏处，

47、以标准采样流量测得的渗漏(2.87)透过率。注2透过率为过滤器下风向与上风向粒子浓度之比。GB/T 25915.3-2010,3. 3.10J 2. 121 启动start up 使设施(2.82)及其所有系统准备就绪并开始实际运行的行为。注2系统可包括规程、培训要求、基础设施、服务设施、法规要求等。GB/T 25915.4一2010，3.10J13 GB/T 25915.6-2010/ISO 14644-6:2007 2. 122 静电耗散特性static-dissipative property 以传导等机理将工作表面或产品表面的静电荷降至某规定值或标称零电荷的能力。GB/T 25915.

48、3-2010,3.5. 3J 2. 123 供方supplier 使洁净室(2.33)或洁净区(2.34)达到规定要求的机构。GB/T 25915.1-2010 ,2.5. 2J 2. 124 送凤量supply airflow rate 单位时间内从末端过滤器(2.68)或风管送人设施(2.82)的体积空气量。GB/T 25915.3-2010 ,3.4. 5J 2. 125 表面分子污染surface molecular contamination SMC 在洁净室(2.33)或受控环境(2.45)中以吸附状态存在的、对产品或关注表面有不良影响的分子(化学的、非颗粒)物质。GB/T 25915.8一2010，3.1.3J 2. 126 表面电压surface voltage level 用适用仪器在工作表面或产品表面所测出的或正或负的静电电压。GB/T 25915.3一2010，3.5.4J2. 127 拭子swab 对被采集微生物元抑制作用的元菌元毒、带适当尺寸基底物的小棒。GB/T 25916. 1-2010,