GB T 25915.3-2010 洁净室及相关受控环境.第3部分：检测方法.pdf

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1、ICS 13.040.35 C 70 道B中华人民-=H工./、和国国家标准GB/T 25915.3-201 O/ISO 14644-3: 2005 洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法Cleanrooms and associated controlled environments一Part 3! Test methods CISO 14644-3: 2005 , IDT) 2011-01-14发布2011-05-01实施数码防伪中华人民共和国国家质量监督检验检夜总局中国国家标准化管理委员会发布G/T 25915.3-201 O/ISO 14644-3: 2005 目次前言.1 引言.n

2、1 范围-2 规范性引用文件.3 术语和定义3.1 一般术语13.2 空气悬浮粒子测量.3.3 空气过滤器和过滤系统3.4 气流.4 3.5 静电测量-3.6 测量器具和测量条件3. 7 占用状态64 检测规程74. 1 洁净室检测74.2 原理85 检测报告9附录A(资料性附录)检测项目的选择和实施顺序四附录B(资料性附录)检测方法.附录c(资料性附录)检测仪器40参考文献.53 G/T 25915.3-2010/ISO 14644-3 :2005 剧昌GB/T 25915(洁净室及相关受控环境分为八个部分:-一第1部分:空气洁净度等级;一一第2部分:证实持续符合GB/T25915. 1的检

3、测与监测技术要求;一一第3部分:检测方法;-一一第4部分:设计、建造、启动;第5部分:运行;一一第6部分:词、汇;一一第7部分z隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境); 一一第8部分:空气分子污染分级。本部分是GB/T25915的第3部分。本部分按照GB/T1. 1-2009给出的规则起草。本部分使用翻译法等同采用ISO14644-3: 2005(洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法。本部分由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会CSAC/TC319)提出并归口。本部分由苏州尚科洁净技术有限公司、上海科信检测科技有限公司、北京市产品质量监督检验所负责起草，苏州英德尔室内空气技术有限公

4、司、北京控制工程研究所、苏州克林络姆空调系统工程有限公司、苏州工业园区宏基洁净科技有限公司、苏州高科净化有限责任公司、净微(苏州)科技有限公司、莱特浩斯仪器(苏州)有限公司、深圳金开利环境科技有限公司参加起草。本部分主要起草人:吴俊民、涂光备、丁卫敏、张和j群、蔡杰、陈思源、张训彪、严勤丰、边炳秀、郭良、徐伟。I GB/T 25915.3-2010/ISO 14644-3 :2005 51 洁净室及相关受控环境将空气污染物控制在合适的水平，以便完成对污染敏感的工作。航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗等行业的产品和工艺受益于对空气污染的控制。GB/T 25915的本部分给出了对GB/T25

5、915其他各部分所介绍并规定的洁净室特征进行检测的方法。注:本部分并未包括所有洁净室参数的检测规程。涉及特定产品和特定工艺的洁净室和洁净区及相关参数的检测规程和所用仪器，在SAC/TC319编制的其他文件中讨论例如，对活物质的控制与检测规程(GB/T25916)，洁净室功能性检测(GB/T25915.4-2010汀，隔离装置检测(GB/T25915.7-2010)。此外，洁净室的检测活动中也可以考虑采用其他适用标准。GB/T 25915的本部分的陈述中参照了美国材料与试验协会(ASTM)，欧洲标准化委员会(CEN), 德国标准化协会(DIN)，美国环境科学技术学会(IEST)，日本空气洁净协会

6、(JACA)，日本工业标准(JIS)和国际半导体制造协会(SEMI)等团体编制的标准。E GB/T 25915.3-201 O/ISO 14644-3: 2005 洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法警告一-GB/T25915的本部分的应用可能涉及有害材料、作业和设备。GB/T25915的本部分未提及与应用有关的所有安全性问题。使用前，GB/T25915本部分的用户有责任制定适当的安全和卫生措施，并遵守各种强制性规定。1 范围GB/T 25915的本部分规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度等级的检测方法，以及洁净室和洁净区性能的检测方法。性能检测针对是空态、静态和动态3种可能的占用状态下的

7、单向流和非单向流型式洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用检测仪器和检测规程。某些检测方法受限于洁净室或洁净区的类型，为此，本文件推荐了若干替代方法。为了满足不同用户的要求，对于某些检测项目，本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若需方与供方协商同意，也可以使用本部分未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。本部分不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环

8、境第1部分:空气洁净度等级(ISO14644-1: 1999 , IDT) GB/T 25915.2-2010 洁净室及相关受控环境第2部分:证明持续符合GB/T25915. 1的检测与监测技术要求(ISO14644-2: 2000 , IDT) GB/T 25915.4-2010 洁净室及相关受控环境第4部分:设计、建造、启动(ISO14644-4: 2001, IDT) ISO 7726: 1998 热环境人体功效学物理量测量仪器3 术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3. 1 一般术语3. 1. 1 洁净室c1eanroom 空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式使房间内进入的、

9、产生的、滞留的粒子最少，房间内温度、湿度、压力等其他相关参数按要求受控。GB/T 25915.1-2010 ,2. 1. 1J 1 G/T 25915.3-201 O/ISO 14644-3: 2005 3. 1. 2 洁净区clean zone 空气悬浮粒子浓度受控的专用空间，其建造和使用方式使区内进入的、产生的、滞留的粒子最少，区内温度、湿度、压力等其他相关参数按要求受控。注:洁净区可以是开放的或封闭的;在也可不在洁净室内。GB/T 25915.1-2010 ,2. 1. 2J 3. 1.3 设施installation 连同所有建筑结构、空气处理系统以及服务、公用系统的洁净室，或一个或数

10、个这样的洁净区。注:改写GB/T25915. 1-2010.定义2.1.3 0 3.1.4 隔离装置separative device 采用构造和动力学方法在确定的容积内外创建可靠隔离水平的设备。注:某些行业专用隔离装置有二洁净风罩、隔离箱、手套箱、隔离器、微环境。3.2 空气悬浮粒子测量3.2. 1 气溶胶发生器aerosol generator 能以加热、液压、气动、超声波、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当的(例如O.05m-2m) 微粒物质的器具。3.2.2 空气悬浮粒子airbome particle 悬浮在空气中、活或非活、固体或液体、粒径(对GB/T25915的本部分而言)ln

11、m100m的粒子。注:用于洁净度等级的，参见GB/T25915. 1-2010 , 2.2. 1. 3.2.3 数量中值粒径cotlnt median particle diameter CMD 按粒径排列粒子时，处于中位数的粒子的粒径值。注:占一半数量的粒子其粒径小子数量中值粒径，占另一半数量的粒子其粒径大于该数量中值粒径。3.2.4 大粒子macroparticle 当量直径大于5m的粒子。GB/T 25915.1-2010 ,2.2. 6J 3.2.5 M描述符M descriptor 每立方米空气中大粒子的实测或规定浓度。M描述符中的当量粒径与测量方法有关。注:M描述符可作为采样点平均

12、浓度上限(或置信上限，该值随洁净室或洁净区性能测定采样点数量而定)。不能用M描述符规定悬浮粒子洁净度等级，但可将其单独或随洁净度等级引述。GB/T 25915.1一2010，2.3.2J3.2.6 2 质量中值粒径m囚smedian particle diameter M如m按质量排列粒子时，处于中位数的粒子的粒径值。注:占全部粒子质量一半的粒子其粒径小于质量中值粒径，占另一半质量的粒子其粒径大于该中值粒径。GB/T 25915.3-201 O/ISO 14644-3: 2005 3.2.7 粒子浓度particle concentration 单位体积空气中粒子的个数。GB/T 25915.

13、 1-2010,2.2. 3J 3.2.8 粒径particle size 给定的粒径测量仪器所显示的、与被测粒子的响应量相当的球形体直径。注:离散粒子计数器给出的是当量光学粒径。GB/T 25915. 1-2010,2.2. 2J 3.2.9 粒径分布particle size distribution 粒子按粒径累计得出的浓度。GB/T 25915. 1一2010，2.2.4J3.2. 10 测试气溶胶test aerosol 具有已知并受控的粒径分布及浓度的固体和(或)液体粒子的气态悬浮物。3.2. 11 U描述符U descriptor 包括超微粒子在内的、每立方米空气粒子的实测或规定

14、浓度。注:U描述符可作为采祥点平均浓度上限(或置信上限，该值随洁净室或洁净区性能测定采样点数量而定)。不能用U描述符确定空气洁净度等级，但可将其单独或随洁净度等级引述。GB/T 25915.1-2010 ,2.3. 1J 3.2.12 超微粒子uItrafine particle 当量直径小于0.1m的粒子。GB/T 25915. 1-2010,2. 2. 5J 3.3 空气过滤器和过滤系统3.3. 1 气溶胶发尘aerosol challenge 对过滤器和已装过滤系统施用检测气溶胶的过程。3.3.2 渗漏限值designated leak 需方与供方商定的、可用离散粒子计数器或气溶胶光度计

15、扫描测出的设施渗漏最大允许透过率。3.3.3 稀释装置dilution system 按己知容积比将气溶胶与元粒子稀释空气混合，以降低气溶胶浓度的装置。3.3.4 过捷系统filter system 由过滤器、安装架及其他支撑装置或箱体组成的系统。3.3.5 末端过滤器final filter 空气进入洁净室之前最末端位置上的过滤器。3 GB/T 25915.3-2010/ISO 14644-3 :2005 3.3.6 己装过滤系统installed filter system 己安装在顶棚、侧墙、装置、风管上的过滤系统。3.3.7 己装过滤系统检漏installed filter syste

16、m leakage test 为确认过滤器安装良好，向设施内无旁路渗漏，过滤器及其安装框架均无缺陷和渗漏而进行的检测。3.3.8 渗漏leak (过滤系统)因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下风向浓度超过预期值。3.3.9 扫描scanning 让气溶肢光度计或离散粒子计数器的采样口覆盖面，以略有重叠的往复行程移过规定的检测区来查找过滤器及其他部件渗漏的方法。3.3.10 标准渗漏透过率standard leak penetration 离散粒子计数器或气溶胶光度计的采样头停顿在渗漏处，以标准采样流量测得的渗漏透过率。注:透过率为过滤器下风向与上风向粒子浓度之比。3.4 气流3.4. 1 换

17、气次数air exchange rate 单位时间的换气值，以单位时间送入的空气体积除以该空间的体积计算。3.4.2 平均凤量average air f10w rate 单位时间内通过的平均空气容积，可据此确定洁净室或洁净区的换气次数。注z风量的单位为立方米每小时(旷/h)。3.4.3 测量平面measuring plane 用来检测或测量风速等性能参数的横断面。3.4.4 非单向流non-unidirectional airflow 送入洁净区的空气以诱导方式与区内空气氓合的一种气流分布。GB/T 25915.4-2010 ,3. 6J 3.4.5 送凤量supply airflow rat

18、e 单位时间内从末端过滤器或风管送入设施的体积空气量。3.4.6 总凤量total air flow rate 单位时间内通过设施某断面的体积空气量。3.4.7 4 单向流unidirectional airflow 通过洁净区整个断面、风速稳定、大致平行的受控气流。注:这种气流可定向清除洁净区的粒子。GB/T 25915.4-2010 ,3. 11J GB/T 25915.3-2010/ISO 14644-3 :2005 3.4.8 气流均匀度uniformity of airflow 各点风速值处于平均风速限定百分率以内的单向流形式。3.5 静电测量3.5. 1 放电时间discharge

19、 time 绝缘的导电监测板上的电压(正或负)降至初始电压的百分率所需的时间。3.5.2 补偿电压offset voltage 将未充电的绝缘导电板置于电离空气中时其上积累的电压。3.5.3 静电耗散特性static-dissipative property 以传导等机理将工作表面或产品表面的静电荷降至某规定值或标称零电荷的能力。3.5.4 表面电压surface voltage level 用适用仪器在工作表面或产品表面所测出的或正或负的静电电压。3.6 测量器具和测量条件3.6. 1 气溶胶光度计aerosol photometer 利用光散射原理、用前散射光腔测量空气悬浮粒子质量浓度的仪

20、器。3.6.2 非等动力采样anisokinetic sampling 采样口进气平均风速与该位置单向流的平均风速明显不同的采样条件。3.6.3 串级撞击采样器cascade impactor 利用撞击原理在串联的采集表面上采集气榕胶粒子的采样装置。注:气溶胶气流速度逐级升高，使后一个采集表面采集的粒子比前一个小。3.6.4 凝聚核计数器condensation nucleus counter CNC 以凝聚方式使超微粒子增大，再用光学方法对其计数的仪器。3.6.5 计数效率counting efficiency 给定粒径范围内读出的粒子浓度与实际粒子浓度之比。3.6.6 微分迁移率分析仪di

21、fferential mobility analyzer D岛1A按粒子的电迁移率测量粒径分布的仪器。3.6.7 扩散元件diffusion battery element 多级粒径限制器的专用部件，它利用扩散机理去除气溶胶流中的小粒子。5 GB/T 25915.3-2010/ISO 14644-3:2005 3.6.8 离散粒子计数器discrete-particle counter 粒子计数器DPC 可显示并记录确定体积空气中离散粒子数量和直径(可辨别粒径)的仪器。3.6.9 伪计数false count 背景噪声计数background noise count 空白计数zero coun

22、t 不存在粒子时，因仪器内外多余电信号造成的离散粒子计数器的误计。3.6. 10 凤量罩flowhood with flowmeter 可分别将设施的各个末端过滤器或散流器完全罩住并直接测量其风量的装置。3.6. 11 同轴采样iso-axial sampling 采样口进气气流方向与被采样单向流气流方向一致的采样条件。3.6.12 等动力采样isokinetic sampling 采样口进气气流的平均风速与该位置上单向流的平均风速相等的采样条件。3.6.13 粒径限制器particle size cutoff device 连接在离散粒子计数器或凝聚核计数器采样口、能够将小于关注粒径的粒子清

23、除的装置。3.6. 14 阐值粒径threshold size 选定的最小粒径，以测量大于或等于该粒径的粒子浓度。3.6. 15 飞行时间粒径测量time-of-flight particle size measurement 以粒子飞越两固定平面间距离所需的时间，测定其空气动力学直径。注:依据粒子被诱导至与其速度不同的流场中产生的速度漂移测量粒径。3.6. 16 虚拟撞击器virtual impactor 令粒子以惯性力撞击假设(虚拟)表面而分离不同粒径粒子的仪器。注:大粒子穿越表面进入一个容积空间停滞，小粒子在该表面随主气流偏转。3.6.17 代测板witness plate 当特定表面元

24、法接近或对处置太敏感而无法直接进行测量时，作为被测表面替代物的、具有规定表面积的污染敏感材料。3. 7 占用状态3.7. 1 6 空态as-built 设施已建成并运行，但没有生产设备、材料和人员的状态。GB/T 25915. 1-2010,2.4. 1J GB/T 25915.3-2010/ISO 14644-3:2005 3.7.2 静态叶rest设施已建成，生产设备已安装好并按需方与供方议定的条件运行，但没有人员的状态。GB/T 25915. 1-2010,2.4. 2J 3.7.3 动态operational 设施按规定方式运行，其内规定数量的人员按议定方式工作的状态。GB/T 259

25、15.1-2010 ,2.4. 3J 4 检测规程4. 1 洁净室检测4. 1. 1 必测项目为了依据GB/T25915.1-2010进行分级，应按GB/T25915.2-2010规定的周期，对设施的空气悬浮粒子数量进行测定(见表口。表1设施的必测项目GB/T 25915.3-2010的对应条目必测项目提及处原理规程仪器洁净度分级以及洁净室和空气净化装置4.2.1 B.1 C.1 GBjT 25915.1和的检测GBjT 25915.2 4. 1.2 可选检测项目表2列出适用于设施的其他检测项目。这些项目适用于所有3种占用状态。所列检测可能并不全面，具体到检验某项工程也可能不需要全测。进行哪些

26、检测、采用什么检测方法，应由供需双方议定。有些检测项目可列入设施的常规监测计划(见GB/T25915.2-2010)定期进行。附录A给出了检测项目选择指南和一份检测清单。各种检测方法的介绍见附录B。附录B只是检测方法的概述。使用中，应针对特定用途制定更具体的方法。表2设施可选检测项目GBjT 25915.3-2010的对应条目选择性检测项目a提及处原理方法仪器空气超微粒子计数4.2.1 B.2 C.2 GB/T 25915. 1 空气大粒子计数4.2.1 B. 3 C.3 GB/T 25915. 1 气流检测b4.2.2 B. 4 C.4 GB/T 25915. 1和GB/T25915.2 空

27、气压差检测b4.2.3 B.5 C.5 GB/T 25915. 1和GBjT25915.2 已装过滤系统检漏4.2.4 B. 6 C.6 GB/T 25915.2 气流方向检测与显形检查4.2.5 B.7 C.7 GB/T 25915.2 温度检测4.2.6 B.8 C.8 IS0 7726 -7 GB/T 25915.3-2010/ISO 14644-3 :2005 表2(续)GB/T 25915.3-2010的对应条目选择性检测项目a提及处原理方法仪器湿度检测4.2.6 B.9 C.9 1S0 7726 静电和离子发生器检测4.2.7 B.10 C.10 粒子沉降检测4.2.8 B.11

28、C.11 自净检测4.2.9 B. 12 C. 12 GB/T 25915.2 隔离检漏4.2.10 B. 13 C.13 GB/T 25915. 1和GB/T25915.2 a这些可选检测项目并非按重要性排序。检测项目的实际实施顺序是根据文件的具体要求，或由供需双方议定。b GB/T 25915. 2-2010规定的必检项目。4.2 原理4.2. 1 空气悬浮粒子计数本项检测旨在确定空气的洁净状态，可能包含下述3项内容:a) 洁净度检测(见B.1); b) 超微粒子检测(可选项目)(见B.2);c) 大粒子检测(可选项目)(见B.3)。上述b)项和c)项检测可起补充说明的作用，或只针对某具体

29、要求，这两项检测不能用于洁净度分级。4.2.2 气流检测这项检测用于测定非单向流洁净室的送风量，或单向流洁净室的风速分布。一般情况下只测风速或只测风量，而且只需要报告一种结果:平均风速，或平均风量，或总风量。对于非单向流设施，总风量可决定换气次数。对单向流洁净室要测定风速。风量与风速检测规程见B.40 4.2.3 空气压差检测空气压差检测的目的是验证洁净室系统维持设施与周围环境间规定压差的能力。空气压差检测在下述工作完成之后进行:设施的风速或风量、气流均匀性以及其他适用检测项目已满足验收标准。有关空气压差检测的具体介绍见B.50 4.2.4 己装过滤系统检漏此项检测旨在确认高效过滤系统安装正确

30、。检测中要验证设施不存在旁路渗漏，过滤器元缺陷(滤材和边框密封处的小孔和损伤)，元渗漏(过滤器边框和密封垫的旁路渗漏，过滤器安装架的渗漏)。这项检测不检查系统的过滤效率。检测过程中，在过滤器上风向引人气溶胶尘源胶发尘，在过滤器下风向及支撑架处扫描，或在过滤器下风向的风管中采样。B.6介绍了2种检漏技术。4.2.5 气流方向检测与显形检查此项检测旨在确认气流方向、气流形态、或这两者均符合设计要求和性能要求。若有要求，还要确认设施内气流的空间特征。检测方法见B.7。GB/T 25915.3-2010/ISO 14644-3 :2005 4.2.6 温度与湿度均匀性检测这项检测旨在验证:在需方规定的

31、时间内，所测区域的洁净室空气处理系统具有将空气的温度和湿度(以相对湿度或露点表示)保持在控制限值之内的能力。相关检测规程见B.8和B.9。4.2.7 静电和离子发生器检测这些检测旨在评估物体的静电电压，材料的静电耗散特性，设施静电控制所用离子发生器(即电离器)的性能。静电检测的内容包括:评估工作表面和产品表面的静电电压，评估地面、工作台面等的静电耗散特性。离子发生器检测用于评估离子发生器消除表面静电的性能。检测规程见B.10。4.2.8 粒子沉降检测粒子沉降检测中，测量置于各种方向表面上沉降的粒子量(数量或质量)或效果(光散射或覆盖面积)。这项检测的规程见B.1104.2.9 自净检测自净检测

32、是测定设施暂时暴露于空气悬浮粒子源后，能否在有限时间内恢复到规定的洁净度。单向流设施不推荐本项检测。检测规程见B.120使用人工气溶肢时，应注意避免其残留物对设施的污染。4.2.10 隔离检漏这项活动用于测定:是否有未经过滤的空气通过接合部、缝隙、门缝和加压顶棚，从洁净室或洁净区外侵入密闭的洁净环境。检测规程见B.13。5 检测报告每项检测结果都应记录在检测报告中。检测报告应包含下述信息:a) 检测机构的名称、地址、检测日期;b) 本部分的国家标准编号，即GB/T25915.3-2010; c) 清楚标明所测洁净室或洁净区的具体位置(必要时以邻近区域作参照)，并标注所有采样点的具体坐标;d)

33、为洁净室或洁净区所规定的标准，包括IS0等级，相应的占用状态，关注粒径;e) 所用检测方法的详细说明，包括特殊的检测条件以及与规定检测方法的偏离之处;检测仪器的规格型号，仪器最新的校准证书;f) 检测结果，包括附录B相关条目中要求的报告数据，以及达到要求的说明;g) 与附录B条目有关的、针对特定检测项目的其他具体要求。9 G/T 25915.3-2010/ISO 14644-3 :2005 附录A(资料性附录)检测项目的选择和实施顺序A.1 概述本部分给出的检测规程，可用于检查设施是否满足用户规定的性能条件，也可用于定期检测。根据设施的设计、运行状态、认证要求等因素选择检测项目。供需双方应事先

34、确定检测项目的实施顺序，规定检测顺序时应考虑，一旦洁净室不符合要求时可避免重复劳动。A.2 检测清单表A.l是份检测项目和器具列表。具体检测顺序应由供需双方议定。表A.1推荐设施检测项目和实施顺序选择检测检测规程选择检测检测器具项目和实检测规程检测器具备注施顺序a参照条目器具b参照条目属于洁净度分级和常规检测的空气悬浮粒子计数B. 1 离散粒子计数器(DPC)C.1 凝聚核计数器CCNC)C. 2. 1 空气越微粒子计数B.2 离散粒子计数器(DPC)C. 2. 2 粒径限制器C. 2. 3 空气大粒子计数B.3 C.3 通过采集粒子进行的空显微镜观测采样滤纸C.3.1 气太粒子计数B. 3.

35、 3. 2 串级撞击采样器C. 3. 2 无需采集粒子的空气大离散粒子计数器(DPC)C. 3. 3 粒子计数B.3.3.3 飞行时间粒径测量仪C. 3. 4 气流B. 4 C.4 热风速仪C. 4. 1. 1 B. 4. 2. 2 3维或3维等效超声波风速仪C. 4. 1. 2 单向流设施的风速测量和B. 4. 2. 3 叶轮风速计C. 4. 1. 3 皮托管和压差计C. 4. 1. 4 热风速仪C. 4. 1. 1 非单向流设施的送风风3维或3维等效超声波风速仪C. 4. 1. 2 速测量B.4.3.3 叶轮风速计C. 4. 1. 3 皮托管和压差计C. 4. 1. 4 风量罩C. 4.

36、2.1 已装过滤器下风向总风B. 4. 3. 2 孔板流量计C.4.2.2 量测量文丘里流量计C. 4. 2. 3 10 GB/T 25915.3-201 O/ISO 14644-3: 2005 表A.1(续)选择检测检测规程选择检测检测器具项目和实检测规程参照条目器具b检测器具参照条目备注施顺序a风量罩C. 4. 2. 1 孔板流量计C. 4. 2. 2 风管风量测量B. 4.2.5 文丘里流量计C. 4. 2. 3 皮托管和压差计C. 4. 1. 4 电子微压计C.5.1 空气压差测量B. 5 斜管压差计C. 5. 2 机械式压差计C. 5. 3 已装过滤器检漏B.6 C.6 线性气溶跤光

37、度计C. 6. 1. 1 对数气溶胶光度计C. 6. 1. 2 B. 6. 2 离散粒子计数器(DPC)C. 6. 2 已装过滤系统扫描检漏和气溶胶发生器C. 6. 3 B.6.3 气溶胶物质C. 6.4 稀释装置C. 6. 5 凝聚核计数器C.2.1 线性气溶胶光度计C. 6. 1. 1 对数气溶胶光度计C. 6. 1. 2 离散粒子计数器(DPC)C. 6. 2 风管或空气处理机组内B.6.4 气溶胶发生器C. 6. 3 的过滤器检漏气溶胶物质C. 6.4 稀释装置C. 6. 5 凝聚核计数器C.2.1 示踪物或示踪剂C.7.1 热风速仪C. 7. 2 气流方向与显形检查B.7 3维超声波

38、风速仪C. 7. 3 气溶胶发生器C. 7. 4 烟雾发生器C. 7. 4 温度B.8 C.8 玻璃温度计C.8.1 一般温度检测B.8.2.1 热电偶C. 8. 2 热敏电阻C. 8. 3 玻璃温度计C.8.1 严格温度检测B.8.2.2 热电偶C. 8. 2 热敏电阻C. 8. 3 11 GB/T 25915.3-201 O/ISO 14644-3: 2005 表A.1(续)选择检测检测规程选择检测检测器具项目和实检测规程参照条目器具b检测器具参照条目备注施顺序a电容式湿度计C. 9. 1 毛发式湿度计C. 9. 2 湿度B.9 露点传感器C. 9. 3 于湿球湿度计C. 9. 4 静电和

39、离子发生器B.10 C.10 静电电压计C.10.1 静电B. 10. 2. 1 高阻欧姆计C.10.2 充电监测板C.10.3 静电电压计C. 10. 1 离子发生器B. 10. 2. 2 离阻欧姆计C.10.2 充电监测板C.10.3 代测板双目复式光学显微镜粒子沉降B.11 粒子沉降光度计C. 11. 1 表面糙子计数器C. 11. 2 粒子发生器C. 11. 3 离散粒子计数器CDPC)C.12.1 自净B. 12 气溶胶发生器C.12.2 稀释装置C. 12. 3 隔离检漏B.13 C.13 离散粒子计数器CDPC)C. 13. 1 计数器法B. 13. 2. 1 气溶胶发生器C.1

40、3.2 稀释装置C.13.3 光度计C.13.4 光度计法B. 13. 2. 2 气溶胶发生器C.13.2 a检测的规划人员可在第1栏的空格中填写所选检测项目的顺序编号。b检测的规划人员可在第4栏的空格中标记针对检测方法所选择的检测器具。12 附录B(资料性附录)检测方法B.1 属于洁净度分组与常规检测的空气悬浮粒子计数B. 1. 1 原理GB/T 25915.3-201 O/ISO 14644-3: 2005 本检测方法对如何测量阔值粒径O.1m5m的空气悬浮粒子浓度作出规定。测量可在空态、静态、动态所有3种占用状态下进行。本方法用于设施符合GB/T25915.1-2010规定洁净度的认证或

41、验证，或用于GB/T25915. 22010规定的定期复检。B.1给出的方法源自IEST-G-CC1001:1999lIJ。B. 1.2 检测规程B. 1. 2. 1 概述采样点数量，采样点位置的选择，洁净区级别的判定，所需数据的量，所有这些都要符合GB/T 25915. 12010的规定。B.1给出的是在每个采样点进行空气采样的基准方法。若供需双方另有协议，也可采用其他具有同样准确度并给出等效数据的方法。若无一致同意的其他方法或出现争议，则应使用本附录给出的基准方法。注:若要了解用离散粒子计数器检测洁净室的详细信息，或需要了解粒子计数器标准文件，可查阅相关标准2;:4:11刀山B. 1.2.

42、2 空气悬浮粒子计数规程将离散粒子计数器的采样探头放在预定位置，设定计数器的流量，选择符合GB/T25915. 1 2010 规定的粒径阔值。在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样汀，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点，将采样口正对气流的主方向。在风速不受控或不可预测(例如非单向流)的采样点，采样口应竖直向上。采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。采样粒子大于或等于1m时，连接管的长度和直径不应超过制造商的建议值。采样过程中，因扩散造成的小粒子损失、因沉降与撞击造成的大粒子损失所产生的采样误差不应大于5%。B. 1.3 空气悬浮粒子计数仪器如C.

43、1的介绍，离散粒子计数器(DPC)应能够对空气中的粒子进行计数、计径，其粒径辨别力应满足待测设施的洁净度判定要求。粒子计数器应能对规定粒径范围的粒子进行计数，并显示或记录，所用计数器应具有有效的校准证书。B. 1.4 检测报告根据供需双方的协议，对于设施洁净度分级或常规检测，第5章规定的检测报告及下述信息和数据应记录在案:a) 离散粒子计数器的伪计数率;b) 测量类型:洁净度分级还是监测;c) 设施的洁净度级别;d) 粒径范围和计数;13 GB/T 25915.3-2010/ISO 14644-3 :2005 e) 离散粒子计数器采样口的采样流量，通过光敏区的流量;f) 采样点位置;g) 检测

44、洁净度等级的采样协议，或监测用采样计划;h) 占用状态;i) 与测量有关的其他数据。B.2 空气超微粒子计数B.2.1 原理B. 2. 1. 1 慨述本检测方法用于测量粒径小于0.1m的空气悬浮粒子浓度;该浓度以U描述符表示。B.2给出的方法源自IEST-G-CC1001:1999间。测量可在洁净室或洁净区处于空态、静态、动态中的任何一种状态下进行。此项测量可按GB/T25915. 1-2010附录E的规定测定超微粒子浓度，或用于GB/T 25915.2-2010规定的定期复检。B.2. 1. 2 计数效率测量U描述符所用体系的计数效率应落在图B.1的阴影之内12J。该阴影区为性能达标区，其中

45、心对应的选定粒径超微粒子的计数效率为50%，粒径示为Uo超微粒径U的允差为:!:10%，见图B.1中的1.1U和0.9U。这一计数效率允差的规定，是基于对扩散元件透过率的计算，该扩散元件对粒径大于选定超微粒径10%的粒子的透过率不低于40%，对粒径小于选定超微粒径10%的粒子的透过率不高于60%。若离散粒子计数器(DPC)或凝聚核计数器(CNC)的计数效率曲线落在图B.1阴影区之外的右侧，则不能用其测量或验证U描述符。若曲线落在阴影区之外的左侧，则可使用B.2. 1. 3介绍的粒径限制器来降低计数效率。此时，经改进的离散粒子计数器或凝聚核计数器的计数效率就成为原计数器的计数效率与粒径限制器透过

46、率的乘积。Y 100 nun 。POHM甜甜啊摇太5U X 粒径/m0.5U 0.9U U 1. 1U 5U 例:U=0.020.010 0.018 0.02 0.022 0.1 例:U=0.030.015 0.027 0.03 0.033 0.15 例:U=0.050.025 0.045 0.05 0.055 0.25 国B.1所选仪器计数效率达标区14 GB/T 25915.3-201 O/ISO 14644-3: 2005 B.2. 1. 3 粒径限制器为获得测量或验证U描述符所需的计数效率特性，可在计数效率曲线落在图B.1阴影区之外左侧的离散粒子计数器CDPC)或凝聚核计数器的采样管上

47、，安装一个粒径限制器。改动后，计数器、采样口与粒径限制器的综合计数效率曲线落在图B.1的阴影区内。粒径限制器清除小于规定粒径的粒子，以准确且可再现的方式降低透过率。粒径限制器多种多样，其大小和配置各异，只要它们具有所要求的透过率即可接受。合适的粒径限制器包括扩散元件和虚拟撞击器。透过率随粒子的物理特性、限制器构造和体积流量而变化。因此，使用粒径限制器时要小心，它们只能用于规定的流量，安装时要防静电累积。为了减少电荷累积，粒径限制器应有良好的接地。B.2.2 超微粒子计数规程架设离散粒子计数器或凝聚核计数器的采样探头(需要时接粒径限制器)。按GB/T25915. 1-2010附录B或GB/T25915.2-2010的规定，在每个采样点按规定流量采样并重复测量。小流量长采样管线可能造成相当大的超微粒子扩散损失。因扩散造成超微粒子损失所产生的采样误差不应超过5%。计算供需双方议定的超微粒径范围内U描述符的浓度，并报告数据。若需要有关超微粒子浓度稳定性的信息，可按供需双方议定的时间间隔，在选定位置进行不少于3次测量。B. 2. 3 超微粒子计数仪器使用C.3规定的离散粒子计数器CDPC)或C.2规定的凝聚核计数器CCNC)。若使用离散粒子计数器，则其对GB/T25915. 1-2010附录B规定的超微粒子，应具有50%的计数效率，至少对粒径1m的粒子仍具有准确的粒径分