GB T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级.pdf

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1、ICS 13.040.35 C 70 GB 国家标准和国11: ./、中华人民G/T 25915.1一2010/ISO14644-1:1999 洁净室及相关受控环境第1部分:空气洁净度等级Cleanrooms and associated controlled environments一Part 1 : Classification of air cleanliness (ISO 14644-1: 1999 , IDT) 2011-01-14发布2011-05-01实施、-(1数码防伪中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布GB/T 25915.1-2010/ISO

2、14644-1: 1999 目次前言.m引言.NI 范围-2 术语和定义.3 等级.34 等级的证实4附录A(资料性附录)洁净度等级表1的图示.6 附录B(规范性附录)采用光散射离散粒子计数器测定粒子洁净度等级.7 附录c(规范性附录)粒子浓度数据的统计处理.10 附录D(资料性附录)分级计算实例四附录E(资料性附录)超出分级粒径阔值范围的粒子计径和计数.附录F(资料性附录)序贯采样法.18 参考文献. . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 I GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 目。吕GB/T 25915(洁净室及相关受

3、控环境分为八个部分:一一第l部分:空气洁净度等级E一一第2部分:证明持续符合GB/T25915.1的检测与监测技术条件;一一第3部分:检测方法;一一第4部分:设计、建造、启动;一一第5部分:运行;一一第6部分:词汇;一一第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境); 一一第8部分:空气分子污染分级。本部分为GB/T25915的第1部分。本部分按照GB/T1. 1-2009给出的规则起草。本部分使用翻译法等同采用ISO14644-1: 1999(洁净室及相关受控环境第1部分:空气洁净度等级。本部分由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。本部分由中国电

4、子工程设计院、苏州市洁净室科技促进中心、中国药品生物制品检定所负责起草，浙江盾安机电科技有限公司、江苏姑苏净化科技有限公司、江苏苏净科技有限公司、苏净集团苏州安泰空气技术有限公司、中国石化集团上海工程有限公司、上海三现净化装饰工程有限公司、爱思克空气系统产品(苏州)有限公司、苏州市碧海永乐净化科技有限公司、南京埃科净化技术有限公司、深圳市丽风空调净化技术有限公司参加起草。本部分主要起草人z严德隆、范存养、白东亭、陈霖新、侯忆、蒋家明、苏钢民、姜伟康、冯晓明、张立海、金真、杨一心、叶茎。阳山GB/T 25915. 1-20 1 O/ISO 14644-1: 1999 sl 洁净室及相关受控环境将

5、空气悬浮粒子控制在适当的水平，以便完成对污染敏感的活动。航空航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗卫生等行业的产品和工艺受益于对悬浮污染物的控制。GB/T 25915的本部分规定的ISO等级，可作为洁净室及相关受控环境内空气洁净度的技术条件。这里不仅规定了测定空气悬浮粒子浓度的规程，也规定了标准的检测方法。本部分为粒子浓度限值限定了粒径范围。可按本部分提供的标准程式，根据小于或大于等级关注粒径的空气悬浮粒子浓度，确定洁净度的水平。本部分是洁净室和污染控制系列标准中的一个。除空气悬浮粒子浓度外，在洁净室和其他受控环境的设计、技术条件、运行及管理中还有许多因素必须考虑。在本标准的其他部分中，有这

6、方面的详细内容。有些场合，有关管理机构可能会规定补充性的政策或限制。遇到这种情况，可能需要对标准检测方法进行适当调整，N GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 1 范围洁净室及相关受控环境第1部分:空气洁净度等级GB/T 25915的本部分划分洁净室及相关受控环境的空气洁净度等级仅依据其内的空气悬浮粒子浓度，该浓度系指粒径大于或等于阔值(低限)粒径的粒子总数，规定的阔值(低限)粒径为0.1m5m。本部分未设立o.1m5m规定粒径以外粒子总数的洁净度等级。但可以用U描述符和M描述符，分别表述超微粒子5m)的总数。本部分不能用于描述空气悬浮粒子的物理、化学、放射性

7、或存活特性。注:大于或等于某粒径的粒子浓度实际分布一般难以预测，且通常是随时间变化的。2 术语和定义下列术语和定义适用于本文件。2. 1 一般2. 1. 1 洁净室c1eanroom 空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式使房间内进入的、产生的、滞留的粒子最少，房间内温度、湿度、压力等其他相关参数按要求受控。2. 1. 2 洁净区c1ean zone 空气悬浮粒子浓度受控的专用空间，其建造和使用方式使区内进入的、产生的、滞留的粒子最少，区内温度、湿度、压力等其他相关参数按要求受控。注:洁净区可以是开放的或封闭的，可在也可不在洁净室内。2. 1. 3 设施installation 所有相关

8、构筑物、空气处理系统以及服务、公用系统的洁净室，或一个或数个这样的洁净区。2. 1.4 洁净度等级c1assification 洁净度分级c1assification 以ISON级表示的、洁净室或洁净区内按空气悬浮粒子浓度划分的洁净度水平(或规定、确定该水平的过程)。洁净度等级代表关注粒径粒子的最大允许浓度(表示为每立方米空气中的粒子个数)。注1:浓度计算见3.2的式(1)。注2:本部分等级的范围限于IS01级-IS09级。注3:本部分的等级关注粒径限于0.1m-5m范围(较低阔值)。指定阕值粒径超出此范围的空气洁净度，可以用U描述符和M描述符(见2.3.1和2.3.2)描述和说明(但不分级)

9、。注4:IS0等级可带小数，最小增量为0.1，即IS01. 1级-IS08.9级。注5:洁净度等级可适用于所有3种占用状态(见2.的。1 GB/T 25915.1一2010/ISO14644-1:1999 2.2 空气悬浮粒子2.2. 1 粒子particle 其粒径阔值(下限)在O.1m5m范围的、累计的固体或液体物质。2.2.2 粒径particle size 给定粒径测量仪器给出的、与被测粒子的响应量相当的球形体直径。注z离散粒子计数器给出的是当量光学直径。2.2.3 粒子浓度particle concentration 单位体积空气中粒子的个数。2.2.4 粒径分布particle s

10、ize distribution 粒子按粒径大小累计得出的粒子浓度。2.2.5 超微粒子ultrafine particle 当量直径小于O.1m的粒子。2.2.6 大粒子macroparticle 当量直径大于5m的粒子。2.2.7 纤维fiber (长宽)比不小于10的粒子。2.3 描述符2.3. 1 U描述符U descript()r 包括超微粒子在内的、每立方米空气粒子的实测或规定浓度。注:U描述符可以作为采样点平均浓度的上限(或置信上限，该置信上限依洁净室或洁净区性能评定采样点数量而定)。不能用U描述符确定空气洁净度等级，但可以将其单独或随洁净度等级寻|述。2.3.2 M描述符M d

11、escriptor 每立方米空气中大粒子的实测或规定浓度。M描述符中的当量粒径与测量方法有关。注:M描述符可以作为采样点平均浓度上限(或置信上限，该值依洁净室或洁净区性能评定采样点数量而定。不能用U描述符确定空气洁净度等级，但可以将其单独或随洁净度等级引述。2.4 占用状态2.4.1 空态as-built 设施已建成并运行，但没有生产设备、材料和人员的状态。2.4.2 静态at-rest 设施已建成，生产设备已安装好并按需方与供方议定的条件运行，但没有人员的状态。2 GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 2.4.3 动态operational 设施按规定方式运

12、行，其内规定数量的人员按议定方式工作的状态。2.5 有关各方2.5.1 需方customer 规定洁净室或洁净区具体要求的机构或其代理。2.5.2 供方supplier 使洁净室或洁净区达到规定要求的机构。3 等级3. 1 占用状态洁净室或洁净区的洁净度等级，应按一种或几种占用状态确定，即空态、静态、动态(见2.的。注空态检测适用于新建成或新改造的洁净室或洁净区。完成了空态检测后，应进行静态或动态或这两者的达级检测。3.2 等级编号空气洁净度等级以等级编号N表示。每种关注粒径D的最大允许粒子浓度Cn由式(1)确定:Cn =1们(号)2.08 . ( 1 ) 式中:Cn一大于或等于关注粒径的粒子

13、最大允许浓度(以每立方米空气中粒子的个数表示)，将Cn修约为不超过3位有效数字的整数;N -ISO等级的数字编号，最大不超过90N的各整数等级之间可以设定最小增量为0.1的中间等级;D -一关注粒径，单位为微米(m);O. 1一常数，单位为微米(m)。表1给出了空气洁净度的整数级别及其对应的关注粒径及以上的粒子允许浓度。图A.1(见附录A)以图解说明整数等级。出现争议时，应以式(1)计算出的浓度Cn为准。表1洁净室及洁净区空气洁净度整数等级大于或等于关注粒径的位子最大浓度限值IC个1m3)ISO等级N0.1m 0.2m 0.3m 0.5m 1m 5m ISO 1级10 2 ISO 2级100

14、24 10 4 ISO 3级1 000 237 102 35 8 ISO 4级10000 2370 1020 352 83 3 GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 表1(续)大于或等于关注校径的粒子最大浓度限值I(个1m3)IS0等级N0.1m 0.2m 0.3m 0.5m 1m 5m IS0 5级100 000 23700 10 200 3 520 832 29 IS0 6级1 000 000 237 000 102 000 35200 8320 293 IS0 7级352 000 83 200 2 930 IS0 8级3 520 000 832 000

15、29 300 ISO 9级35 200 000 8 320 000 293 000 注:按测量方法相关的不确定度要求，确定等级水平的浓度数据的有效数字不超过3位。3.3 等级的表达表述洁净室及洁净区空气的洁净度，应包含以下内容za) 以IS0N级表示的等级;b) 等级相应的占用状态;c) 等级的关注粒径以及由式(1)确定的相应浓度，且每个关注粒径阔值均在O.1m5m范围内。示911: ISO 4级;动态;关注粒径:0.2m(2370个1m3);1m(83个1m3)。需方与供方双方应商定浓度测量中所用的一个或多个关注粒径。如果测量的关注粒径不只一个，则相邻两粒径中的大者(如D2)与小者(虫日D1

16、)之比不得小于1.5倍，即:D2;主1.5 X D1 4 等级的证实4. 1 原理根据需方与供方的协议，实施规定的检测，并提供规定的检测结果和检测条件的文件，来验证设施符合需方规定的空气洁净度CISO等级)要求。4.2 检测附录B给出了达级验证的基准检测方法。也可以使用其他准确度可比的方法。如未指定或议定其他检测方法，则应使用基准检测方法。达级检测中应使用经校准的仪器。4.3 空气悬浮粒子读度眼值按4.2完成检测后，按附录C中的公式计算粒子平均浓度和95%置信上限(适用时)。按式(C.l)计算出的关注粒径见3.3c) 的粒子平均浓度，不得超过按3.2中式(1)计算出的浓度限值。此外，若采样点的

17、数量不少于2且不多于9，则按C.3规定计算出的95%置信上限，不得超过上面计算的浓度限值。注:附录D给出了等级计算实例。粒子浓度用于判定与分级限值的一致性时，对所有关注粒径的浓度测量都应采用同一种方法。4 GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 4.4 检测报告以综合报告的形式记录并提交各洁净室和洁净区的检测结果，报告中应声明检测结果是否达到规定的空气洁净度等级。检测报告应包括如下内容:a) 检测机构的名称、地址、检测日期;b) 本部分的国家标准编号，即GB/T25915. 1 2010; c) 清楚标明所测洁净室或洁净区的具体位置(必要时以邻近区域作参照)，并

18、标注所有采样点的具体坐标;d) 为洁净室或洁净区所规定的标准，包括IS0等级，相应的占用状态，关注粒径;e) 所用检测方法的详细说明，包括特殊的检测条件以及与规定检测方法的偏离之处;检测仪器的规格型号，仪器最新的校准证书;f) 检测结果，包括每个采样点的坐标和粒子浓度数据。注:若按附录E的说明表述了超微粒子或大粒子的浓度量，则检测报告中就应包含相应信息。5 GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 附录(资料性附录)洁净度等级表1的图示A 图A.l是表l空气洁净度等级的图示，仅起说明作用。表1的ISO等级在图中以直线表示，直线代表关注粒径阔值所对应的等级浓度限值。

19、这些限值是根据3.2中的式(1)计算得来。而图中的直线只是等级限值的一种近似表示，不能以此确定限值，确定限值仍使用式。)。图中的实心点对应的是每个ISO等级粒径阔值的最大和最小值，因此，等级线不能延伸至实心点之外。等级线不代表洁净室和洁净区内粒径的实际分布。10 Cn=10.v X (0. lID)2.0. 10. 1-一一-一-一一-一-一-_一-一一-106 104 105 (伺EJTGMmM在uma段将扩创10 102 101 5.0 1. 0 0.5 0.3 0.2 100 0.1 粒径D/m注1:C.表示大于或等于关注粒径的空气悬浮粒子最大允许浓度(个/时)。注2:N代表规定的ISO

20、等级。各ISO等级浓度限值图示图A.16 GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 附录B(规范性附录)采用光散射离散粒子计数器测定粒子洁净度等级B. 1 原理使用光散射离散粒子计数器，在指定的采样点，测定大于或等于关注粒径的空气悬浮粒子浓度。B.2 仪器要求B.2.1 粒子计数器离散粒子计数器(DPC)是一种光散射测量装置，能够显示或记录空气中离散粒子的数量和粒径;具有粒径辨别力，可在相关洁净度等级所涉及的粒径范围内测定粒子总浓度;并带有一套合适的采样系统。B.2.2 仪器校准仪器应具有有效的校准证书;校准频度和校准方法应符合现行公认的标准和规范。B.3 预检测

21、条件B. 3. 1 检测准备检测前，先验证洁净室或洁净区整体运行的各个方面均正常元误，符合性能要求。预检测工作可包括如:a) 风量或风速检测;b) 空气压差检测;c) 气密性检测zd) 己装过滤器的检漏。B.3.2 预检测所用仪器的设置按照制造商的说明设置并调准仪器。B.4 采样B. 4.1 确定采样点位置B. 4. 1. 1 按式(B.l)求出最少采样点数量:N L =/互式中zNL一一-最少采样点数量(修约为整数); A一一洁净室或洁净区的面积，单位为平方米(m2)。注:对水平单向流，面积A可以取垂直于气流方向的截面积。.( B.l ) 7 GB/T 25915.1-2010/ISO 14

22、644-1: 1999 B.4. 1. 2 确保采样点在整个洁净室或洁净区内均匀分布，并位于工作面高度。若需方规定了附加的采样点，应对新增采样点的数目和位置做出规定。注:附加采样点可位于按风险分析得出的关键位置。B.4.2 确定各采样点的单次采样量B. 4. 2.1 若关注粒径的最大粒子浓度处于指定ISO等级的浓度上限，则在每个采样点要采集足以检测出不少于20颗粒子的空气量。由式(B.2)确定每个采样点的单次采样量V，: 20 V.=三X1 000 式中:V, 一一每个采样点一次最少采样量(例外情况见B.4. 2. 2)，单位为升(L); c一一相关等级最大关注粒径的浓度限值，单位为个每立方米

23、(个/m3); 20 一一当粒子浓度处于等级限值时可被检测到的粒子数量规定值。注:V，值很大肘，采样时间可很长。使用序贯采样法(见附录F)所需采样量和采样时间均可减少。B.4.2.2 每个采样点的采样量不得少于2L，采样时间不得少于1min. B.4.3 采样规程B. 4. 3.1 按制造商的说明和仪器校准证书设置粒子计数器(B.2.1)。B.4.3.2 .(B. 2) 采样探头应指向气流。若采样点处气流方向未受控或不可预测(例如非单向流)，则采样探头的进气口应垂直向上。B.4.3.3 在每个采样点按且4.2确定的最小采样量采样。B.4.3.4 当仅需要一个采样点时也.4.1)，则在该点最少进

24、行三次采样。B.5 记录结果B.5.1 各采样点的平均粒子浓度B.5. 1. 1 记录下相关空气洁净度等级的每个关注粒径(3.3)粒子的单次采样浓度。注2在计算95%置信上限之前，应先考虑B.6.1的要求。B.5. 1.2 当只有一个采样点时，计算每个关注粒径采样数据(B.4.3.4)的平均值并记录下来。B.5. 1. 3 当在一个采样点上进行2次或2次以上的采样时，按照C.2中给出的规程，从各次采样(B.5. 1. 1) 计算出每个关注粒径的粒子平均浓度，并记录结果。 GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 B. 5. 2 95%置信上限(UCL)的计算要求B

25、. 5. 2.1 当采样点数量不只1个且不到10个时，按照C.3中给出的规程，以所有各点的平均粒子浓度(B. 5. 1)计算总平均值、标准差和95%置信上限。B.5.2.2 当采样点只有1个或多于9个时，无需计算95%置信上限。B.6 数据分新B. 6.1 分级要求若每个采样点测得的粒子浓度平均值，以及适用时按B.5. 2计算的95%置信上限，均未超过按3.2中式(1)确定的浓度限值，则认为该洁净室或洁净区达到规定的空气洁净度等级。若检测结果未能满足规定的空气洁净度等级，可新增均匀分布的采样点进行检测。重新计算结果时，除了包含新采样点的数据外，还应包括原有采样点的所有数据。对包括新采样点在内的

26、数据进行的重新计算，其结果是不可更改的。B. 6. 2 异常值的处理95%置信上限(UCL)的计算结果，可能未达到规定的ISO等级。如果未达级是测量差错(由于操作差错或设备不正常)所致或是粒子浓度异常低(由于个别测点空气异常洁净)而引起的单个非随机异常值所致，则该值可以不计，条件是:a) 重新计算时包括所有剩余采样点的数据;b) 计算中至少还有3个测量值;c) 计算中不计的测量值不得超过1个;d) 记录造成测量差错或低粒子浓度的可疑原因，并得到供需双方的认可。注:依所测洁净设施的应用性质，各采样点粒子浓度相当大的差异可能是合理的，甚至是有意而为。9 GB/T 25915.1-2010/ISO

27、14644-1: 1999 附录C(规范性附录)粒子浓度数据的统计处理C.1 通则统计分析中只考虑随机误差(精度不足)，不考虑非随机误差(如，校准误差造成的偏差)。C.2 单个采样点平均琅度(忌)计算方法在一个采样点多次采样时，须使用式(C.1)来确定该点的平均粒子浓度。采样次数不只1次的采样点，均应计算平均粒子浓度。X i.l +Xi.2 +十Xi.nXi= n 式中:L 一一采样点i处的平均粒子浓度;Xi.l至Xi，n一一采样点i处的各次采样粒子浓度;n 一一采样点t处的采样次数。C.3 95%置信上限计算方法C. 3.1 原则( C.1 ) 本方法只适用于采样点数量多于1个但不足10个的

28、情况。在这种情况下，除了执行式(C.1)的计算外，还须进行以下计算。C.3.2 总平均值(x)用式(C.2)计算所有测点平均值的总平均值。-Xi.l+X川+Xi.mX= . ( C.2 ) m 式中:z 一一所有采样点平均值的总平均值;Xi.l至Xi.m一-用式(C.1)计算出的各采样点的平均值;m -一一采样点的数量。元论某个采样点的样本数是多少，各采样点平均值给予相同加权。C.3.3 采样点平均值的标准差(s)用式(C.3)确定采样点平均值的标准差。s= )CXiI-Z川王22;十十CXi.m-:;)2 . . . ( C.3 ) 式中:5一一采样点平均值的标准差。10 GB/T 2591

29、5.1-2010/ISO 14644-1: 1999 C. 3. 4 总平均值的95%置信上限(UCL)用式(C.4)确定总平均值的95%置信上限:式中:95%UCL=二十tO95毛.,;m tO95一-m-l自由度时处在第95%分位上的t分布值。.( C.4 ) 表C.l中给出了计算95%置信上限(UCL)所用的t分布值(tQ.95)，也可以采用计算机自带统计程序给出的t分布值。|采样点的数量Iml| t I 2 6.3 表C.1计算95%置信上限所用的t分布值3 2.9 4 2.4 5 2.1 6 7-9 2.0 1. 9 11 GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1:

30、 1999 D.1例1附录D(资料性附录)分级计算实例D. 1. 1 被测洁净室的面积(A)为80m2，需确定动态下是否符合规定的空气洁净度等级。该洁净室规定的空气洁净度等级为ISO5级。D. 1.2 规定了2个关注粒径:0.3m(j)和0.5m(2)。a) 2个粒径都在ISO5级粒径阔值范围之内见3.3c)和表1J:O. 1mO. 3m，0.5m 5mo b) 检查粒径比2二三1.5 X1 见3.3c)J:0. 5m二三1.5 X 0.3m=0.45m，符合要求。D. 1. 3 利用式。)(见3.2)计算悬浮粒子最大允许浓度。对二三0.3m(1)的粒子z10. 1 2.08 =1一. 1 X

31、 105 = 10 176，修约到10200个1m3.( D.1 ) 飞0.31对二三O.5m(2)的粒子:10.1 2.08 =1一1X 105 = 3 517，修约到3520个1m3.( D.2) 飞0.51D. 1. 4 按式(B.1)(见B.4. 1.1)计算采样点数量:NL =./互=./8百=8.94，修约到9.( D.3 ) 所以，采样点最少数量为9个。由于采样点数量少于10，要按附录C计算95%置信上限。D. 1. 5 按式2 L(见B.4. 2. 2); b) c.m 20个1m3(见B.4. 2. 1); c) 采样时间二三1min(见B.4. 2. 2)。D. 1. 6

32、每个采样点只进行1次采样(28L) (B. 4. 2. 1)。所测计数记录(B.5. 1. 1)如下。12 GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 采样点粒子汁数粒子计数(二三0.3m) (二三o.5m) l 245 21 2 185 24 3 59 。4 106 7 5 164 22 6 196 25 7 226 23 8 224 37 9 195 19 D. 1.7 以原始数据(D.1. 6)计算出每旷粒子汁数Xi:采样点Xi(二三0.3m)Xi(注0.5m)l 8750 750 2 6 607 857 3 2 107 。4 3786 250 5 5857

33、786 6 7000 893 7 8071 821 8 8000 1 321 9 6964 679 计算出的o.3m和0.5m粒子所有浓度值均低于D.1.3中确定的限值，这满足分级(B.6. 1)的第1项要求，可按附录C计算95%置信上限如下。D. 1.8 每个测点只进行了1次采样，这个采样即代表了测点的平均粒子浓度，所以不用式(C.1) (见C.2)计算平均浓度，使用式(C.2)计算总平均值(见C.3. 2)。对二三0.3m的粒子: 1 f8 750 + 6 607 + 2 107十3786+58571 I 1=丁X57 142 9 飞十7000十8071 + 8 000 + 6 964 1

34、 日=6349.1，修约到6349个1m3对注0.5m的粒子:飞JF气UD f飞 1 f750 + 857 + 0十250+7861 I 1=一X6 357 9飞+893+821十1321+67919 =706.3，修约到706个/旷D. 1.9 按式(C.3) (见C.3.3)计算采样点平均值的标准差。对二三0.3m的粒子:民8750 - 6 349)2 + (6 607 - 6 349)2 + (2 107 - 6 349)2 l S2 =专忏(3786 -6则与(58俨6削2+ (7 000 -6则21+ (8 071- 6 349)2 + (8000 - 6 349)2 + (6 96

35、4 - 6 349)21 =37川073=4641 259.1，修约到4阳259、，/户。D /E飞( D.7 ) 13 GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 s=.J4百口百=2154.4，修约到2154个/旷对二三0.5m的粒子z民750- 706)2 + (857一706)2+ (0一706)2l 52=tM250一706)2十(786一706)2+ (肌一706)2I 1+ (821一706)2十(1321-706)2 + (679一706)21 =t1川5问们82.1，修约到山582s=.jlli百E=381. 6，修约到382个1m3.( D.8

36、) .( D.9 ) . ( D. 10 ) D. 1. 10 按式(C.的(见C.3. 4)计算95%置信上限(UCL)。单个平均值的数目m=9，查表C.1，取t=1.9。12 154 95%UCL(注o.3m) = 6 349 + 1. 9 !一一 ) . ( D. 11 ) 俨一飞J百/=7713.2，修约到7713个1m31382 95%UCL(0. 5m) =706 + 1. 9:Ji) =947.9，修约到948个1m3.( D.12) D. 1. 11 按B.6.1解释结果。D.l.7中所列各单次采样量的粒子浓度均低于规定的等级限值;D.1. 10 中计算出的95%置信上限同样低

37、于D.1.3中规定的等级限值。因此，该洁净室的空气洁净度达到要求的等级。D.2例2D. 2.1 此例是为了说明95%置信上限计算对结果的影响。一个洁净室动态时规定空气悬浮粒子洁净度为ISO3级，采样点数量为5。由于采样点数量大于1且小于10，要按附录C计算95%置信上限。只有一个关注粒径(D注O.1m)。D.2.2 从表1中取ISO3级、粒径二三O.1m的粒子浓度限值:C.(O.lm) =1 000个1m3D.2.3 每个采样点仅进行1次采样(B.5.1.口，并计算出每个采样点每旷粒子数量Xi如下:采样点Xi(二三O.1m) 1 926 2 958 3 937 4 963 5 214 阔值粒径

38、D=O.lm处所有粒子浓度值均小于D.2. 2中规定的限值。这个结果满足分级的第1项要求(B.6.口，因此可按附录C计算95%置信上限。D.2.4 按式(C.2) (见C.3. 2)计算总平均值1GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 l x=一(926+ 958十937+ 963十214)=一X3998 ( D. 13 ) 5 =799.6，修约到800个/m3D.2.5 按式(C.3) (见C.3. 3)计算采样点平均值的标准差:2 1 1(926 - 800)2 + (958 -800)2十(937- 800)2l I I ( D. 14 ) 4 L +

39、(214 -800)2十(963- 800)2 J =t574= 107 393.5，修约到107394 S=JI百百4. . . . . ( D. 15 ) =327.7，修约到328个/m3D.2.6 按式(C.4)(见C.3.4)计算95%置信上限(UCL)。平均值个数m=5，查表C.1，取t=2.1o则UCL= 800 + 2. 1 (去). ( D. 16 ) =1 108个/m3D.2.7 所有点的粒子浓度均低于规定的等级限值(D.2. 2)。但是，95%置信上限的计算表明，该洁净室的空气洁净度不符合规定的等级。本示例表明，一个远低于限值浓度的数据(即第5个采样点对95%置信上限计

40、算结果的影响。因空气洁净度未达级是应用95%置信上限所致，并且是因一个粒子浓度数据过低造成的，所以，可按照B.6.2中的规程判定未达等级的结果是否可予否定。15 G/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 附录E(资料性附录)超出分级粒径闻值范围的粒子计径和计数E. 1 原理在某些涉及特定工艺要求的情况下，可按分级粒径阔值范围之外的粒子浓度另外规定空气洁净度的水平。这类粒子的最大允许浓度和相应的检测方法由需方与供方议定。E.2(对于U描述符)和E.3(对于M描述符)中说明了相关检测方法和规定表达式。E. 2 小于O.1m的粒子(超微粒子)一-u描述符E. 2. 1 应

41、用如果需要评估小于O.1m的粒子造成污染的风险，就要采用符合这类粒子具体特性的采样装置和测量方法。应按照B.4.1确定采样点数量，最小采样量V.应为2L(B. 4. 2. 2)。E. 2. 2 U描述符表达式可以单独采用U描述符说明超微粒子浓度，也可将它作为空气洁净度等级的补充说明。U描述符用U(x;y)表示，其中:z一一超微粒子的最大允许浓度(每立方米空气超微粒子个数表示); y 以微米计的粒径，合适的离散粒子计数器在该粒径点的粒子计数效率为50%。例:粒径范围二三0.01m、最大允许超微粒子浓度140000个/旷，可表示为UC140000;0.01m)。注，:1EST-G-CCI002IJ

42、中给出了小于0.1m的悬浮粒子浓度的检测方法。注2:如果用U描述符作为空气洁净度等级的补充说明，则超微粒子的浓度(x)不得小于对应该IS0等级粒径0.1m的粒子浓度限值(每立方米粒子个数。E. 3 大于5m的粒子(大粒子)一-M描述符E. 3. 1 应用如果需要评估大于5m的粒子造成污染的风险，就要用符合这类粒子具体特性的采样装置和测量方法。空气悬浮粒子中的大粒子一般是从工艺环境中释放的，因此，应根据具体使用情况来确定适用的采样装置和测量方法。需要考虑的因素有:粒子的密度、形状、体积、空气动力学特性等等。此外，可能还需要特别关注总悬浮粒子中的特定组分，如纤维。E. 3. 2 M描述符表达式M描

43、述符可以单独引述，也可将它作为空气洁净度等级的补充说明。M描述符用M(a;b);c表示，其中za 大粒子的最大允许浓度(以每立方米空气中的大粒子个数表示); GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 b一一与规定的大粒子测量方法对应的当量直径(或直径)(m); c一一规定的测量方法。注1:如果采样的悬浮粒子中含有纤维，则可以在M描述符上加一个纤维标记，表示为M纤维(a;b);c。示例1: 若使用气溶胶飞行时间粒子计数器，测定的粒子空气动力学直径5m的粒子浓度为10000个1m3，则用M描述符表示为:M(10 000;5m);气溶胶飞行时间粒子计数器飞示例2:若使用

44、显微镜对多级撞击采样器采集的粒子进行粒径测定和计数，测得10m-20m糙径范围的悬浮粒子浓度为1000个1m3，则用M描述符表示为:M(1000;10m-20m);多级撞击采样器，以显微镜测定粒径并计数。注2:1E5T-G-CC10032J中给出了大于5m的悬浮位子浓度的检测方法。注3:如使用M描述符作为空气洁净度等级的补充说明，则大粒子浓度(a)不得大于对应于该150等级的粒径5m的粒子浓度限值(每立方米粒子个数)。17 GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 F.1 背景和条件F. 1. 1 背景附录E(资料性附录)序贯采样法若采样空气的污染度明显大于或明显

45、小于规定等级中关注粒径的粒子浓度限值，采用序贯采样法通常可大幅度减少采样量和采样时间。即使浓度接近规定限值时，序贯采样法仍可节省一些工作量。当预期空气洁净度为ISO4级或更洁净时，序贯采样法最合适。注z有关序贯采样法的详细资料见IEST-G-CCl 0040 F. 1. 2 限制序贯采样法的主要限制条件是:a) 此法仅适用于在规定等级或浓度限值处对关注粒径的每次采样目标总数为20颗粒子。b) 每次样本测量都要辅以监测和数据分析，可由计算机自动完成。c) 由于序贯采样法降低了采样量，测出的粒子浓度不如常规采样法精确。F.2 序贯采样法的依据序贯采样法根据的是粒子实时累计计数与参照计数的比较。参照

46、值的上、下限由式(F.1)和式(F.2)导出:式中zC一一实测计数;E一一预期计数。上限:C二3.96十1.03E ( F. 1 ) 下限:c=-3.96+ 1. 03E ( F.2 ) 为便于比较，图F.1和表F.1分别以图和表的形式给出了参照值。这两种方式均可采用。18 25 20 :.J 领15;t. 去105 。不合格，终止计数C=3. 96+ 1. 03 E 5 持续计数10 预期计数E图F.1 序贯采样法合格与否边界线合格，终止计数C=-3. 96+1. 03 E 15 20 GB/T 25915.1-2010/ISO 14644-1: 1999 表F.1实测计数C出现时间的上下限不合格合格C早于递进时间出现C迟于递进时间出现递进时间t实测计数递进时间t实测计数0.001 9 4 。.1922 。0.050 5 5 0.240 7 1 0.099 2 6 0.289 3 2 0.147 6 7 0.337 8 3 O. 196 1 8 0.386 4 4 0.244 7 9 0.434 9 5 0.293 2 10 0.483 4 6 0.341 7 11 0.532 0 7 0.390 2 12 0.580 5 8 0.438 8 13 0.629 1 9 0.487 3 14 0.667 6 10 0.