DB1310 T 227-2020 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范.pdf

《DB1310 T 227-2020 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《DB1310 T 227-2020 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范.pdf（7页珍藏版）》请在麦多课文档分享上搜索。

1、ICS 31.030L90 DB1310廊 坊 市 地 方 标 准DB 1310/T 227 2020电 子 专 用 材 料 单 晶 硅 生 长 用 石 英 坩 埚 工 艺技 术 规 范 2020 -10- 16发 布 2020- 11-16实 施廊 坊 市 市 场 监 督 管 理 局 发 布 DB1310/T 2272020 I 前 言本 标 准 按 照 GB/T 1.1 2009给 出 的 规 则 起 草 。本 标 准 由 大 厂 回 族 自 治 县 市 场 监 督 管 理 局 提 出 。本 标 准 起 草 单 位 ： 廊 坊 赫 尔 劳 斯 太 阳 能 光 伏 有 限 公 司 。本 标

2、准 主 要 起 草 人 ： 贾 建 亮 、 黄 永 恩 、 贾 建 恩 、 孙 艳 、 关 海 华 、 李 继 东 。 DB1310/T 2272020 1 电 子 专 用 材 料 单 晶 硅 生 长 用 石 英 坩 埚 工 艺 技 术 规 范1 范 围本 文 件 规 定 了 电 子 专 用 材 料 单 晶 硅 生 长 用 石 英 坩 埚 的 术 语 和 定 义 、 从 业 人 员 、 设 备 、 原 辅 材 料 、 工艺 过 程 、 环 境 要 求 和 管 理 要 求 。本 文 件 适 用 于 电 子 专 用 材 料 单 晶 硅 生 长 用 石 英 坩 埚 工 艺 技 术 。2 规 范 性

3、引 用 文 件下 列 文 件 对 于 本 文 件 的 应 用 是 必 不 可 少 的 。 凡 是 注 日 期 的 引 用 文 件 ， 仅 所 注 日 期 的 版 本 适 用 于 本 文件 。 凡 是 不 注 日 期 的 引 用 文 件 ， 其 最 新 版 本 （ 包 括 所 有 的 修 改 单 ） 适 用 于 本 文 件 。 GB 8978 污 水 综 合 排 放 标 准GB 12348 工 业 企 业 厂 界 环 境 噪 声 排 放 标 准GB 16297 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准GB 18597 危 险 废 物 贮 存 污 染 控 制 标 准GB 18599 一 般 工

4、业 固 体 废 物 贮 存 、 处 置 场 污 染 控 制 标 准GB 50034 建 筑 照 明 设 计 标 准GB 50073 洁 净 厂 房 设 计 规 范GBZ 2.1 工 作 场 所 有 害 因 素 职 业 接 触 限 值 （ 第 一 部 分 化 学 有 害 因 素 ）GBZ 188 职 业 健 康 监 护 技 术 规 范GBZ/T 189.8 工 作 场 所 物 理 因 素 测 量 第 8部 分 ： 噪 声3 术 语 和 定 义 下 列 术 语 和 定 义 适 用 于 本 文 件 。3.1 电 弧 熔 制 arc fusion利 用 高 温 电 弧 熔 融 石 英 砂 原 料 的

5、过 程3.2 涂 层 coating在 石 英 坩 埚 内 壁 或 外 壁 涂 覆 特 种 材 料 的 过 程 。4 从 业 人 员 4.1 职 业 健 康 DB1310/T 2272020 2 应 按 照 GBZ 188的 要 求 ， 对 从 业 人 员 进 行 岗 前 、 岗 中 、 离 岗 职 业 健 康 体 检 ， 同 时 配 备 符 合 要 求 的 个体 防 护 用 品 ， 保 证 从 业 人 员 符 合 职 业 健 康 安 全 管 理 要 求 。4.2 岗 位 技 能从 业 人 员 应 通 过 三 级 安 全 教 育 、 岗 位 技 能 培 训 ， 经 考 核 合 格 后 方 可

6、上 岗 。5 设 备5.1 熔 制 设 备应 具 有 电 极 开 闭 、 升 降 、 旋 转 、 冷 却 、 弧 变 、 除 尘 等 装 置 。5.2 外 表 面 处 理 设 备 应 具 有 喷 砂 、 研 磨 等 功 能 。5.3 切 边 倒 棱 设 备应 具 有 对 中 、 切 制 、 内 倒 角 、 外 倒 角 等 功 能 。5.4 纯 水 清 洗 设 备5.4.1 手 动 纯 水 清 洗 设 备应 具 有 纯 水 冲 洗 等 装 置 。5.4.2 自 动 纯 水 清 洗 设 备应 具 有 产 品 自 动 化 传 输 、 纯 水 自 动 冲 洗 等 装 置 。5.5 涂 层 设 备 应

7、具 有 加 热 、 旋 转 、 喷 雾 、 冷 却 专 用 涂 层 等 装 置 。6 原 辅 材 料6.1 石 英 砂石 英 砂 杂 质 元 素 含 量 应 符 合 表 1的 规 定 。 DB1310/T 2272020 3 表 1 石 英 砂 杂 质 元 素 含 量位置 元 素 名 称铝 AL 钙Ca 镁Mg 钡Ba 铬Cr 铜Cu 铁Fe 镍Ni 锰Mn 锂Li 钠Na 钾K 锆Zr 钛Ti 锗Ge 磷P 硼B内层1 13.5 1.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.5 0.1 0.1 0.8 0.8 0.8 0.5 2.0 2.0 0.1 0.1内层2 7.7 0.8 0.05 0

8、0 0 0.2 0 0 0.1 0.2 0.1 0 1.4 0.7 0 0.1 外层 16.0 1.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.5 0.1 0.1 1.0 1.0 1.0 0.5 2.0 2.0 0.1 0.1注 1： 锂 、 钠 、 钾 3种 元 素 之 和 2.0。注 2： 杂 质 元 素 含 量 小 于 或 等 于 表 中 所 示 值 。6.2 石 墨 电 极应 符 合 以 下 要 求 ：a) 体 积 密 度 ： 1.65 g/cm；b) 电 阻 率 ： 8.5 m；c) 灰 分 ： 50 g /g；d) 抗 压 强 度 : 35 MPa；e) 抗 折 强 度 ： 15 MP

9、a。 6.3 涂 层 原 料6.3.1 涂 层 原 料试 剂 纯 度 99.99%。6.4 纯 水电 阻 率 16 M cm。7 工 艺 过 程7.1 熔 制7.1.1 上 料 成 型 利 用 离 心 力 和 成 型 装 置 ， 将 石 英 砂 原 料 在 旋 转 的 坩 埚 模 具 内 形 成 一 定 的 形 状 和 厚 度 。7.1.2 埚 坯 电 弧 熔 制以 高 温 电 弧 为 热 源 ， 对 坩 埚 模 具 内 的 石 英 砂 原 料 进 行 高 温 熔 制 。7.2 外 表 面 处 理 DB1310/T 2272020 4 坩 埚 端 口 朝 下 放 置 于 作 业 平 台 ， 利

10、 用 研 磨 设 备 或 各 类 喷 砂 设 备 去 除 坩 埚 外 表 面 未 完 全 熔 融 的 石 英砂 。7.3 切 边 倒 棱利 用 切 边 倒 棱 设 备 的 对 中 装 置 对 坩 埚 进 行 校 正 后 ， 按 高 度 要 求 用 切 断 装 置 对 坩 埚 进 行 切 断 ， 再 利 用内 、 外 倒 角 装 置 ， 按 要 求 对 坩 埚 切 断 端 面 进 行 倒 角 处 理 。7.4 纯 水 清 洗7.4.1 手 动 清 洗将 坩 埚 浸 入 盛 放 纯 水 的 浸 泡 池 内 ， 规 定 时 间 内 取 出 ， 对 坩 埚 内 、 外 表 面 及 端 口 进 行 纯

11、水 清 洗 。7.4.2 自 动 清 洗 将 坩 埚 放 置 于 自 动 进 料 传 输 平 台 ， 按 相 应 工 艺 参 数 对 设 备 进 行 设 置 ， 然 后 对 坩 埚 内 、 外 表 面 及 端 口进 行 纯 水 清 洗 。7.5 涂 层7.5.1 手 动 涂 层人 工 利 用 手 动 涂 层 装 置 将 配 比 好 的 特 种 材 料 涂 覆 在 坩 埚 内 表 面 和 （ 或 ） 外 表 面 上 。7.5.2 自 动 涂 层按 相 应 工 艺 参 数 对 设 备 进 行 设 置 ， 自 动 将 配 比 好 的 特 种 材 料 涂 覆 在 坩 埚 内 表 面 和 （ 或 ） 外

12、 表 面 上 。8 环 境 要 求 8.1 总 则企 业 应 为 员 工 提 供 适 宜 的 作 业 环 境 ， 作 业 场 所 的 洁 净 度 、 温 度 、 湿 度 、 照 度 、 通 风 换 气 、 作 业 场 所噪 声 、 粉 尘 、 废 弃 物 排 放 应 在 适 宜 的 范 围 内 。8.2 洁 净 度 、 温 度 和 湿 度应 符 合 表 2的 规 定 。 表 2 各 工 序 工 作 洁 净 度 、 温 度 和 湿 度 范 围工 序 名 称 空 气 洁 净 要 求 温 度 / 相 对 湿 度 RH/%埚 坯 电 弧 熔 制 应 符 合 GB 50073中 规 定 的 N 8 16

13、 38 10 60外 表 面 处 理 新 风 初 效 处 理 16 33 10 80切 边 倒 棱 新 风 初 效 处 理 16 33 10 80纯 水 清 洗 应 符 合 GB 50073中 规 定 的 N 9 16 33 10 60涂 层 应 符 合 GB 50073中 规 定 的 N 7 20 38 10 50 DB1310/T 2272020 5 8.3 照 度照 度 应 符 合 GB 50034的 规 定 。8.4 通 风 换 气作 业 场 所 应 通 风 良 好 ， 设 置 适 宜 的 局 部 排 风 除 尘 设 施 和 新 风 补 偿 设 施 ， 应 保 证 每 人 不 小 于

14、20m/h 的新 风 量 。8.5 作 业 场 所 噪 声作 业 场 所 噪 声 应 符 合 GBZ/T 189.8的 规 定 .8.6 粉 尘粉 尘 应 符 合 GBZ 2.1的 规 定 . 8.7 废 弃 物 排 放8.7.1 废 水废 水 经 过 处 理 后 的 排 放 标 准 应 符 合 GB 8978及 相 应 的 地 方 法 律 法 规 的 规 定 。8.7.2 废 气废 气 经 过 处 理 后 的 排 放 标 准 应 符 合 GB 16297及 相 应 的 地 方 法 律 法 规 的 规 定 。8.7.3 厂 界 噪 声厂 界 噪 声 应 符 合 GB 12348及 相 应 的

15、地 方 法 律 法 规 的 规 定 .8.7.4 固 体 废 物固 体 废 物 的 收 集 、 处 置 应 符 合 GB 18599及 相 应 的 地 方 法 律 法 规 的 规 定 。 8.7.5 危 险 废 物危 险 废 物 的 处 置 应 符 合 GB 18597及 相 应 的 地 方 法 律 法 规 的 规 定 。9 管 理 要 求9.1 作 业 现 场 应 建 立 管 理 制 度 ， 设 置 人 员 专 用 安 全 通 道 ， 明 确 提 示 、 禁 止 标 识 。9.2 作 业 现 场 的 设 备 及 器 物 应 采 取 定 置 管 理 ， 摆 放 整 齐 有 序 。9.3 人 员 、 产 品 进 出 净 化 室 应 使 用 专 用 通 道 。9.4 在 线 原 辅 材 料 、 产 品 应 采 取 防 护 措 施 ， 避 免 受 到 污 染 。9.5 现 场 操 作 人 员 应 佩 戴 适 宜 的 头 部 、 呼 吸 器 官 、 眼 面 部 、 手 部 、 足 部 、 躯 干 防 护 用 品 。_