DB111631-2019 电子工业大气污染物排放标准.pdf
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1、ICS 13.020.40 Z 62 DB11 北京市 地 方 标 准 DB 11/ 1631 2019 电子工业 大气污染物排放标准 Emission standard of air pollutants for electronic industry 2019 - 06 - 13 发布 2019 - 09 - 01 实施 北京市生态环境局 北京市 市场 监督 管理 局 发布 DB11/ 1631 2019 I 目 次 前言 . II 引言 . III 1 范围 . 1 2 规范性引用文件 . 1 3 术语和定义 . 2 4 时段划分 . 4 5 有组织排放控制要求 . 4 6 无组织排放控
2、制要求 . 6 7 企业边界污染监控要求 . 9 8 监测 . 9 9 实施与监督 . 11 附录 A(资料性附录) 电子专用材料涵盖的产品范围 . 12 DB11/ 1631 2019 II 前 言 本标准为全文强制。 本标准依据 GB/T 1.1 2009给出的规则起草 。 本标准 由北京市 生态环境 局提出并归口。 本标准 由北京市人民政府于 2019年 6月 4日 批准。 本标准由北京市 生态环境 局组织实施。 本标准主要起草单位:北京市环境保护科学研究院。 本标准主要起草人:李国昊、李树琰、李宗泽、刘晓宇、聂磊、邵霞、高喜超、白画画、石爱军、 薛亦峰 。 DB11/ 1631 201
3、9 III 引 言 为贯彻中华人民共和国环境保护法、中华人民共和国大气污染防治法、大气污染防治行 动计划和北京市大气污染防治条例, 防治 电子工业的大气污染物排放,改善北京市大气环境质量, 促进 电子工业 的技术 进步和可持续发展 , 制定本标准。 DB11/ 1631 2019 1 电子工业 大气污染物排放标准 1 范围 本标准规定了电子工业 ( 包括电子专用材料、电子元件、印制电路板、半导体器件、显示器件及光 电子器件、电子终端产品 ) 大气污染物排放 控制要求 、监测和 监督管理 要求。 本标准适用于 现有 电子工业企业或生产设施的大气污染物排放管理,以及电子工业建设项目的环境 影响评价
4、、环境保护设施设计、竣工环境保护验收 、 排污许可证核发 及 其投产后的大气污染物排放管理。 2 规范性引用文件 本标准内容引用了下列文件或其中的条款。凡是注明日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注明日期的引用文件, 其最新版 本(包括所有的修改单)适用于本文件 。 GB/T 15516 空气质量 甲醛的测定 乙酰丙酮分光光度法 GB/T 16157 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法 GB/T 16758 排风罩的分类及技术条件 AQ/T 4274 局部排风设施控制风速检测与评估控制规范 HJ/T 27 固定污染源排气中氯化氢的测定 硫氰酸汞分光光度法 HJ/T
5、 28 固定污染源排气中氰化氢的测定 异烟酸 -吡唑啉酮分光光度法 HJ/T 30 固定污染源废气 中 氯气的测定 甲基橙分光光 度 法 HJ 38 固定污染源废气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 气相色谱法 HJ/T 42 固定污染源排气中氮氧化物的测定 紫外分光光度法 HJ/T 43 固定污染源排气中氮氧化物的测定 盐酸萘乙二胺分光光度法 HJ/T 55 大气污染物无组织排放监测技术导则 HJ/T 65 大气固定污染源 锡的测定 石墨炉原子吸收分光光度法 HJ/T 67 大气固定污染源 氟化物的测定 离子选择电极法 HJ 77.2 环境空气和废气 二噁英类的测定 同位素稀释高分辨气相色谱高分
6、辨质谱法 HJ 75 固定污 染源烟气( SO2、 NOX、颗粒物)排放连续监测技术规范 HJ/T 397 固定源废气监测技术规范 HJ 501 水质 总有机碳的测定 燃烧氧化非分散红外吸收法 HJ 533 环境空气和废气 氨的测定 纳氏试剂分光光度法 HJ 538 固定污染源废气 铅的测定 火焰原子吸收分光光度法 (暂行) HJ 544 固定污染源废气 硫酸雾的测定 离子色谱法 HJ 548 固定污染源废气 氯化氢的测定 硝酸银容量法 HJ 549 环境空气和废气 氯化氢的测定 离子色谱法 HJ 583 环境空气 苯系物的测定 固体吸附 /热脱附 -气相色谱法 HJ 584 环境空气 苯系物
7、的测定 活性炭吸附 /二硫化碳解吸 -气相色谱法 HJ 604 环境空气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 直接进样 -气相色谱法 HJ 644 环境空气 挥发性有机物的测定 吸附管采样 热脱附 /气相色谱 -质谱法 DB11/ 1631 2019 2 HJ 657 空气和废气 颗粒物中铅等金属元素的测定 电感耦合等离子体质谱法 HJ 685 固定污染源废气 铅的测定 火焰原子吸收分光光度法 HJ 692 固定污染源废气 氮氧化物 的测定 非分散红外吸收法 HJ 693 固定污染源废气 氮氧化物的测定 定电位电解法 HJ 732 固定污染源废气 挥发性有机物的采样 气袋法 HJ 733 泄漏和敞开
8、液面排放的挥发性有机物检测技术导则 HJ 734 固定污染源废气 挥发性有机物的测定 固相吸附 -热脱附 /气相色谱 -质谱法 HJ 759 环境空气 挥发性有机物的测定 罐采样 /气相色谱 -质谱法 HJ 777 空气和废气 颗粒物中金属元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 HJ 819 排污单位自行监测技术指南 总 则 HJ 836 固定污染源废气 低浓度颗粒物的测定 重量法 HJ 1011 环境空气和废气 挥发性有机物组分便携式傅里叶红外监测仪技术要求及检测方法 HJ 1012 环境空气和废气 总烃、甲烷和非甲烷总烃 便携式监测仪技术要求及检测方法 DB 11/ 1195 固定污染源监
9、测点位设置技术规范 DB 11/T 1367 固定污染源废气 甲烷 /总烃 /非甲烷总烃的测定 便携式氢火焰离子化检测器法 DB 11/ T 1484 固定 污 染源废气挥发性有机物监测技术规范 DB 11/ T 1566 环境空气和废气 三甲苯的测定 活性炭吸附 /二硫化碳解吸 -气相色谱法 污染源自动监控管理办法(国家环境保护总局令 第 28 号) 环境监测管理办法(国家环境保护总局令 第 39 号) 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本 文件 。 3.1 电子专用材料 special electronic materials 具有特定要求且只用于电子产品的材料。根据其作用与用途,包括电
10、子功能材料:半导体材料、光 电子材料、压电晶体材料、铝电解电容器电极箔;互联与封装材料:覆铜板及铜箔材料;工艺与辅助材 料:电子浆料等。不包括磁性材料、陶瓷 材料、锂离子电池材料、焊接材料等。具体产品范围见附录 A。 3.2 电子元件 electronic unit 电子电路中可对电压和电流进行控制、变换和传输等具有独立功能的单元。包括:电阻器、电容器、 电子变压器、电感器、压电晶体元器件、电子敏感元器件与传感器、电接插元件、控制继电器、微特电 机与组件、电声器件等产品。 3.3 印制电路板 printed circuit board( PCB) 在绝缘基材上,按预定设计形成印制元件、印制线路
11、或两者结合的导电图形的印制电路或印制线路 成品板。包括刚性板与挠性板,单面印制电路板、双 面印制电路板、多层印制电路板,以及刚挠结合印 制电路板和高密度互连印制电路板等。 DB11/ 1631 2019 3 3.4 半导体器件 semiconductor device 利用半导体材料的特殊电特性制造,以实现特定功能的电子器件。包括分立器件和集成电路两大类 产品。 3.5 光电子器件 photoelectron component 利用半导体光 -电子(或电 -光子)转换效应制成的各种功能器件。 包括 发光二极管( LED) ; 半导 体光电器件中的光电转换器、光电探测器等;激光器件中的气体激光
12、器件、半导体激光器件、固体激光 器件、静电感应器件等;光通信电路及其 他器件;半导体照明器件等。 3.6 显示器件 display device 基于电子手段呈现信息供视觉感受的器件。包括薄膜晶体管液晶显示器件( TN/STN-LCD、 TFT-LCD)、低温多晶硅薄膜晶体管 液晶 显示器件 ( LTPS-TFT-LCD)、 有机发光二极管显示器件 ( OLED)、真空荧光显示器件( VFD)、场发射显示器件( FED)、等离子显示器件( PDP)、曲面 显示器件以及柔性显示器件等。 3.7 电子终端产品 electron terminals products 以采用印制电路板( PCB)组装
13、工艺技术为基础装配 的具有独立应用功能的电子产品 或组件 。包括 计算机以及 其他 电子设备。 3.8 挥发性有机物 volatile organic compounds( VOCs) 参与大气光化学反应的有机化合物,或者根据有关规定确定的有机化合物。 本标准 采用非甲烷总烃(以 NMHC表示)作为 挥发性 有机物综合 控制项目。 3.9 非甲烷总烃 non-methane hydrocarbons( NMHC) 采用规定的监测方法,氢火焰离子化检测器有响应的除甲烷外的气态有机化合物的总和,以碳的质 量浓度计。 3.10 企业边界 enterprise boundary 电子工业企业或生产设施
14、的法定边界。若 难以确定法定 边界,则指企业或生产设施的实际占地边界 。 3.11 VOCs 物料 VOCs-containing materials DB11/ 1631 2019 4 VOCs质量占比大于等于 10%的原辅材料、产品和废料(渣、液),以及有机聚合物原辅材料和废 料(渣、液)。 3.12 密闭排气系统 closed vent system 将工艺设备或车间排出或逸散出的大气污染物,捕集并输送至污染控制设备或排放管道,使输送的 气体不直接与大气接触的系统。 3.13 VOCs 治理设施 treatment facility for VOCs 处理 VOCs的吸收装置、吸附装置、
15、冷凝装置、 燃烧装置、 生物处理设施或其它有效的污染 处理 设 施。 3.14 挥发性有机液体 volatile organic liquid 任何能向大气释放 VOCs的符合以下任一条件的有机液体: ( 1)真实蒸气压大于等于 0.3 kPa的单一 组分有机液体;( 2)混合物中真实蒸气压大于等于 0.3 kPa的组分总质量占比大于等于 20%的有机液体。 3.15 真实蒸气压 true vapor pressure 有机液体工作(储存)温度下的饱和蒸气压(绝对压力),或者有机混合物液体气化率为零时的 蒸 气压,又称泡点蒸气压,可根据 GB/T 8017测定的雷德蒸气压换算得到。 注: 在
16、常温 下工作( 储存 )的 有机液体 ,其工作( 储存 ) 温度按常年的月平均气温最大值计算。 3.16 开式循环冷却水系统 open recirculating cooling water system 循环冷却水与大气直接接触散热的循环冷却水系统。 3.17 现有污染源 existing pollution source 本标准实施之日前,已建成投产或环境影响评价文件已通过审批的 工业企业和生产设施 。 3.18 新建污染源 new pollution source 本标准实施之日起,环境影响评价文件通过审批的新建、改建和扩建的 建设项目 。 4 时段 划分 DB11/ 1631 2019
17、 5 4.1 现有 污染源 自本标准实施之日起至 2020 年 3 月 31 日止执行第 时段 规定 的限值 , 自 2020 年 4 月 1 日 起 执行第 时段规定的限值。 4.2 新建污染源自本标准实施之日起执行第 时段规定的限值。 4.3 厂区内 VOCs 无组织监控要求 自 2020 年 4 月 1 日 起执行 。 4.4 其他未划分时段的排放限值 和 控制要求等, 自本标准实施之日起执行。 5 有组织排放 控制要求 5.1 电子工业 生产 过程 中, 设备或车间排气筒排放大气污染物浓度 执行表 1 规定的限值。 表 1 排气筒大气污染物排放浓度限值 单位: mg/m3 序号 污染物
18、项目 排放浓度限值 监控位置 第 时段 第 时段 1 颗粒物 10 车间或生产设施排气筒 2 氯化氢 10 3 氮氧化物 a 50 4 硫酸雾 5.0 5 氰化氢 b 0.5 6 氟化物(以 F 计) c 3.0 7 氯气 d 3.0 8 氨 10.0 9 苯 1.0 0.5 10 甲醛 5.0 11 苯系物 e 15 8 12 非甲烷总烃( NMHC) 20 10 13 铅及其化合物 f 0.1 14 锡及其化合物 g 1.0 a 适 用于 电子专用材料、 电子 元件、 印制电路板、半导体器件、显示器件及光电子器件 工业 企业 的 硝酸酸洗工艺。 b 适用于印制电路板和半导体器件工业企业。
19、c 适用于电子专用材料、 电子 元件、印制电路板、半导体器件、显示器件及光电子器件 工业 企业 。 d 适用于电子专用材料、半导体器件和显示器件及光电子器件工业企业。 e 苯系物包括苯、甲苯、二甲苯、三甲苯、乙苯和苯乙烯。 f 适用于电子专用材料、电子元器件、印制电路板和电子终端产品工业企业。 g 适用于电子专用材料、电子元器件、印制电路板、半导体器件和电子终端产品工业企业。 5.2 VOCs 燃烧(焚烧、氧 化)装置 除 满足 表 1 规定 的限值外,还需对排放烟气中的 氮氧化物、 二噁 英类 进行 控制, 达到 表 2 规定 的限值 。 DB11/ 1631 2019 6 表 2 VOCs
20、 燃烧(焚烧、氧化) 装置 氮氧化物和二噁英类排放限值 单位: mg/m3 序号 污染物项目 排放浓度限值 第 时段 第 时段 1 氮氧化物 100 2 二噁英类 a 0.1 ng-TEQ /m3 a 燃烧含氯有机废气时,需监测该指标 。 5.3 进入 VOCs 燃烧(焚烧、氧化)装置的废气需要补充空气进行燃烧、氧化反应 的 ,排气筒中实测 大气污染物排放浓度 , 应按公式( 1)换算为基准含氧量为 3%的大气污染物基准排放浓 度,并 以基准 排放浓度作为达标判定依据 。 进入 VOCs 燃烧(焚烧、氧化)装置 中废气 含氧量可满足自身 燃 烧 、氧化 反应 需要 , 不需另外补充空气的( 燃
21、烧器 需要补充空气 助燃 的除外) ,按排气筒中实测大气污染物浓度 作为达标 判定 依据 , 但 装置出口烟气含氧量 不得 高于装置进口废气含氧量。 实实基基 OO2121 . ( 1) 式中 : 基 大气污染物基准排放浓度, mg/m 3; 基O 干烟气基准含氧量, %,取值为 3; 实O 实测的干烟气含氧量, %; 实 实测大气污染物排放浓度, mg/m 3。 5.4 非燃烧 (焚烧、氧化) 类废气处理装置的排放口以实测浓度 作为达标 判定 依据 。 5.5 排气筒高度应按环境影响评价要求确定,且应不低于 15m。排气筒排放氯气、氰化氢两种污染物 中任一种或一种 以上时,其高度 应 不 低
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