1、VEREIN DEUTSCHERINGENIEUREQualittssicherung bei der PVD- und CVD-HartstoffbeschichtungEigenschaftsprofile und Anwendungsgebiete von HartstoffbeschichtungenPVD and CVD hard coatingsQuality assuranceCharacteristic profiles and fields of applicationof hard coatingsVDI 3824Blatt 1 / Part 1Ausg. deutsch/
2、englischIssue German/EnglishVDI-Gesellschaft WerkstofftechnikFachausschuss Qualittssicherung PVD/CVDFachbereich Oberflchen/BeschichtungenVDI-Handbuch WerkstofftechnikVDI-Handbuch Betriebstechnik, Teil 1VDI-Handbuch KonstruktionVDI-RICHTLINIENZu beziehen durch / Available from Beuth Verlag GmbH, 1077
3、2 Berlin Alle Rechte vorbehalten / All rights reserved Verein Deutscher Ingenieure,Dsseldorf 2002Vervielfltigung auchfr innerbetriebliche Zwecke nicht gestattet / Reproduction even for internal use not permittedDie deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich.ICS 03.120.10; 87.020Mrz 2002March
4、 2002The German version of this guideline shall be taken as authorita-tive. No guarantee can be given with respect to the English trans-lation. Inhalt Seite1Vorwort. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 Geltungsbereich. . . . . . . . . . . . . . . . . 33 Anwendungsbereiche von Hartstoffschic
5、hten 43.1 Werkzeuge. . . . . . . . . . . . . . . . . . 53.2 Bauteile und Bauteilkomponenten . . . . . 63.3 Medizintechnische Anwendungen . . . . . 63.4 Dekorative Anwendungen . . . . . . . . . 64 Eigenschaften von PVD- und CVD-Hartstoffschichten . . . . . . . . . . . . 74.1 Grundlegende Eigenschafte
6、n . . . . . . . . 74.2 Wesentliche Eigenschaften dnner Hartstoffschichten. . . . . . . . . . . . . . 8Schrifttum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13Contents Page1 Preliminary note . . . . . . . . . . . . . . . . . 22Scope . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 Applications of ha
7、rd coatings . . . . . . . . . 43.1 Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53.2 Components and parts . . . . . . . . . . . . 63.3 Medical-technology applications . . . . . . 63.4 Decorative applications . . . . . . . . . . . 64 Characteristics of PVD and CVD hard coatings. . . . . . . . . .
8、. . . . . . 74.1 Basic characteristics . . . . . . . . . . . . . 74.2 Essential characteristics of thin hard coatings . . . . . . . . . . . . . . 8Bibliography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13Frhere Ausgabe: 9.99 Entwurf,deutschFormer edition: 9/99 draft, in German onlyB55EB1B3E14C22109E
9、918E8EA43EDB30F09DCCB7EF86D9NormCD - Stand 2012-08All rights reserved Verein Deutscher Ingenieure, Dsseldorf 20022 VDI 3824 Blatt 1 / Part 11VorwortDer Fachausschuss Qualittssicherung“ des Fachbe-reichs Oberflchen/Beschichtungen“ in der VDI-Gesellschaft Werkstofftechnik hat diese Richtlinie er-arbei
10、tet, um zur Qualittssicherung PVD- oder CVD-beschichteter Werkzeuge und Bauteile beizutragen.Sie greift produktspezifische Aspekte des Qualitts-managements (QM) bei der Hartstoffbeschichtungheraus und kann einerseits als Leitfaden fr die Ver-stndigung zwischen Anwendern und Beschichterndienen, ander
11、erseits werden notwendige Vorausset-zungen an eine anforderungsgerechte Hartstoffbe-schichtung verdeutlicht. Die Richtlinie trgt so zurQualittssicherung im Sinne der aktuellen Be-griffsnormung bei, nmlich zur Darlegung von QM-Elementen dem Anwender gegenber mit dem Ziel,Vertrauen in die Erfllung sei
12、ner Qualittsanforde-rungen zu schaffen.Die Richtlinie umfasst folgende Teile:Blatt 1: Eigenschaftsprofile und Anwendungsge-biete von HartstoffbeschichtungenBlatt 2: Anforderungen an zu beschichtende Werk-zeuge und BauteileBlatt 3: Fertigungsablufe und -ttigkeitenBlatt 4: Prfplanung fr Hartstoffschic
13、htenAufgabe von Blatt 1 der Richtlinie ist es, die in derheutigen industriellen Praxis wichtigsten Hartstoff-Schichtsysteme ihren wesentlichen Anwendungsfel-dern zuzuordnen und die unterschiedlichen Eigen-schaften darzulegen. Hierbei sind Verallgemeinerun-gen angestrebt, die natrlich im konkreten An
14、wen-dungsfall berprft werden mssen.Vor allem den Anwendern sollen Anregungen undUntersttzung bei der Auswahl der fr den gegebe-nen Anwendungsfall am besten geeigneten Hartstoff-schicht gegeben werden. Die Beschichter werden beiihrer Darstellung der Anwendungsmglichkeiten vonHartstoffschichten unters
15、ttzt.Werkstoffoberflchen sind solch unterschiedlichenBeanspruchungen wie Verschlei (DIN 50323-2)und Korrosion (DIN EN ISO 8044) ausgesetzt. DerVerschlei begrenzt die Lebensdauer von Maschi-nenteilen, die Einsatzzeit von Werkzeugen sowie dieVerwendbarkeit von Produkten aus dem Konsum-gterbereich. Bei
16、 zunehmender Automatisierung undVernetzung von Produktionsprozessen ist der durchVerschlei einzelner Komponenten bedingte Maschi-nenstillstand ein stndig steigender Kostenfaktor.Dem Verschleischutz kommt daher eine zuneh-mende wirtschaftliche Bedeutung zu. Hier haben sichin den letzten Jahren Beschi
17、chtungen mit dnnenHartstoffschichten, deren Dicken im Bereich weniger1 Preliminary noteThe technical committee ”Quality Assurance“ of thesection ”Surface/Coatings“ within the VDI Societyfor Materials Technology has prepared this guidelinein order to contribute to the quality assurance in thefield of
18、 PVD- and CVD-coated tools and compo-nents. It focuses on product-specific aspects of qual-ity management (QM) in hard coating. On the onehand, this guideline may serve as a reference for thecommunication between users and coaters; on theother hand, it explains the requirements to be met bya hard co
19、ating. The guideline thus contributes toquality assurance in accordance with the currentstandardized meaning of the term: It helps to explainelements of quality management to the user so that hemay gain confidence in the fulfilment of his qualityrequirements.The guideline VDI 3824 comprises the foll
20、owingparts:Part 1: Characteristics profiles and fields of ap-plication of hard coatingsPart 2: Requirements to be met by tools and com-ponents to be coatedPart 3: Production processes and proceduresPart 4: Inspection planning for hard coatingsThe purpose of Part 1 of this series of guidelines is toa
21、llocate the most important hard-coating systems ofcurrent industrial practice to their essential fields ofapplication, and to describe their different character-istics. Generalisations, which are intended, will, ofcourse, have to be verified in each individual case.Suggestions and guidance shall be
22、given to the usersin particular, in order to assist them in selecting thehard coating best suited for the application in ques-tion. The coaters are given support in presenting thepossible applications of hard coatings.Material surfaces are subject to such differentstresses as wear (DIN 50323-2) and
23、corrosion(DINEN ISO 8044). Wear limits the life of machineparts, the service life of tools, and the usability ofproducts from the consumer-goods industry. With in-creasing automation and interconnection of produc-tion processes, the machine down-time due to wear-ing of individual components becomes
24、an ever grow-ing cost factor.Wearing protection is thus gaining more and moreeconomic relevance. Here, thin hard coatings withthicknesses in the range of few micrometers haveproven an excellent solution in recent years. The lifeB55EB1B3E14C22109E918E8EA43EDB30F09DCCB7EF86D9NormCD - Stand 2012-08Alle
25、 Rechte vorbehalten Verein Deutscher Ingenieure, Dsseldorf 2002 VDI 3824 Blatt 1 / Part 1 3Mikrometer liegen, hervorragend bewhrt. Mit Hilfeunterschiedlicher Schichtsysteme, die sich jeweilsfr die Beanspruchungen durch die verschiedenenVerschleiarten optimieren lassen, kann die Lebens-dauer von Baut
26、eilen deutlich erhht werden.2 GeltungsbereichHauptanwendungsbereich der Hartstoffschichten istderzeit die Werkzeugbeschichtung. Im zunehmendenMae werden Hartstoffschichten auch auf Bauteilenund Bauteilkomponenten in den Bereichen des allge-meinen Maschinenbaus, der Medizintechnik und imKonsumgterber
27、eich zum Verschleischutz, zur Ver-ringerung der Reibung sowie zur Dekoration einge-setzt.Hartstoffschichten bestehen aus Werkstoffen, derenHrte im Allgemeinen auf Grund des Fehlens einervergleichsweise weichen Metallmatrixphase hherals die von Hartmetall ist. Diese Werkstoffe werdenvorrangig auf der
28、 Basis von Nitriden, Carbiden,Boriden und Oxiden der Metalle Ti, Cr, W, Al und Zrsowie deren Mischungen aus der Dampfphase er-zeugt. Darber hinaus haben harte Kohlenstoff-schichten eine groe Bedeutung erlangt.Zur Abscheidung von Hartstoffschichten werdenPVD-Verfahren (Physical Vapour Deposition = ph
29、y-sikalische Abscheidung aus der Dampfphase) undCVD-Verfahren (Chemical Vapour Deposition = che-mische Abscheidung aus der Dampfphase) mit oderohne Plasmauntersttzung eingesetzt. Die Verfahrenwerden in der Richtlinie VDI 3198 Beschichten vonWerkzeugen der Kaltmassivumformung CVD- undPVD-Verfahren“ s
30、owie ausfhrlicher in der Richt-linie VDI 3824 Blatt 2 Anforderungen an zu be-schichtende Werkzeuge und Bauteile“ und Blatt 3Fertigungsablufe und -ttigkeiten“ beschrieben.Das Einsatzverhalten des durch die Beschichtungmaterialtechnisch geschaffenen Verbunds Hartstoff-schicht-Substrat ist eine Systeme
31、igenschaft und er-klrt sich aus dem Zusammenspiel der Eigen-schaftsprofile von Schicht- und Substratmaterial. DasEigenschaftsprofil der Schicht wird bestimmt durchdie Eigenschaften des Schichtmaterials und durchdas Verhalten der Schicht als Teil des Verbunds imAnwendungsfall (zum Beispiel in einem b
32、estimmtentribologischen System bestehend aus Grundkrper,Gegenkrper, Zwischenstoff und Umgebungsme-dium; DIN 50323-2). Der durch die Beschichtunggeschaffene Verbund ermglicht eine Funktionsauf-teilung in Oberflchen- und Volumeneigenschaften.Aus diesem Grund ist eine sorgfltige Abstimmungzwischen dem
33、Grundwerkstoff, dessen Oberflchen-zustand und dem Schichtsystem vorzunehmen. Bei-spielsweise wirkt sich der Oberflchenzustand desof components can be prolonged considerably by us-ing different coating systems which can be optimisedwith respect to the stresses caused by the differenttypes of wear.2Sc
34、opeThe coating of tools is currently the principal applica-tion of hard coatings. Also, hard coatings are increas-ingly applied to components and parts in the fields ofgeneral mechanical engineering, medical technology,and in the consumer-goods industry, in order to pro-tect them from wear, to reduc
35、e friction, and for deco-rative purposes.Hard coatings consist of materials the hardness ofwhich is typically higher than that of hard metal be-cause of the lack of a relatively soft metal matrixphase. These materials are mainly produced from thevapour phase, using nitrides, carbides, borides, andox
36、ides of the metals Ti, Cr, W, Al, and Zr, and mix-tures of these. Furthermore, hard carbon coatingshave gained great importance.For the deposition of hard coatings, PVD (physicalvapour deposition) and CVD (chemical vapour depo-sition) processes are applied, with and withoutplasma enhancement. The pr
37、ocesses are described inthe guideline VDI 3198 ”Coating (CVD, PVD) ofcold forging tools“, and, in greater detail, in theguidelines VDI 3824 Part 2 ”Requirements to be metby tools and components to be coated“, and Part 3”Production processes and procedures“.The application performance of the hard-coa
38、ting/sub-strate composite created by the coating process is asystem characteristic resulting from the combinationof the characteristics profiles of the coating and sub-strate materials. The characteristics profile of thecoating is determined by the characteristics of thecoating material and by the p
39、erformance of the coat-ing as part of the composite in the relevant applica-tion (e.g. in a specific tribological system consistingof body, counter body, interfacial medium, and sur-round medium; DIN 50323-2). The composite cre-ated by coating allows a functional distinction be-tween surface and vol
40、ume characteristics. For thisreason, the basis material and its surface conditionshall be matched with the coating system carefully.For instance, the surface condition of the basis mate-rial directly influences the transition zone, and thusthe adhesion between hard coating and substrate.B55EB1B3E14C
41、22109E918E8EA43EDB30F09DCCB7EF86D9NormCD - Stand 2012-08All rights reserved Verein Deutscher Ingenieure, Dsseldorf 20024 VDI 3824 Blatt 1 / Part 1Grundwerkstoffs direkt auf die bergangszone undsomit auf die Haftung zwischen Hartstoffschicht undSubstrat aus.3 Anwendungsbereiche von Hartstoffschichten
42、Der erfolgreiche Einsatz von Hartstoffschichten zurVerringerung von Verschlei und Reibung sowie zurVernderung des dekorativen Eindrucks fhrte be-reits in vielen Fllen zur Erhhung der Produktivittund zur Verbesserung der Zuverlssigkeit und Pro-duktionssicherheit sowie zur Entwicklung neuer, in-novati
43、ver Produkte. Bei den folgenden Gruppen von Applikationenkonnte durch Einsatz von Hartstoffschichten einedeutliche Verringerung des Verschleies und der Rei-bung erreicht werden: Verringerung von AbrasionsverschleiZum Beispiel: Verschlei an Spritzgusswerkzeu-gen fr abrasiv wirkende Kunststoffe, Kolbe
44、n inVerdichtern, Bearbeitung von Gusswerkstoffen,Bearbeitung von Holz, Bearbeitung von AlSi-Legierungen, Leiterplatten (Mikrobohrer), Bear-beitung von Keramiken Verringerung von AdhsionsverschleiZum Beispiel: Belagsbildung bei Werkzeugen inder Kunststoffverarbeitung, Adhsions- undErmdungsverschlei b
45、ei Umformwerkzeugen,Verhinderung der Aufbauschneidenbildung beiZerspanungswerkzeugen, Verhinderung vonFresserscheinungen zum Beispiel bei Ventilkom-ponenten Verringerung von physiko-chemischem Ver-schleiZum Beispiel: Lsungsverschlei“ bei erhhtenTemperaturen wie das Wandern“ von Werkzeug-material in
46、den Span bei Hartmetallwende-schneidplatten, Oxidationsverschlei durch Mate-rialvernderung whrend des Oxidationsprozessesund dem damit verbundenen verstrkten Abtragbei hochbeanspruchten zerspanenden Werkzeugen Verringerung von KavitationsverschleiZum Beispiel: Verschlei bei Kolben in der Fluid-techn
47、ik, Pumpenflgel fr Einspritzpumpen Verringerung der ReibungZum Beispiel: Lager, Wellen, Verminderung desStick-Slip-Effekts bei FhrungsteilenBei starker korrosiver Belastung mssen Komponen-ten, die mit Hartstoffschichten gegen Verschlei ge-schtzt sind, ber eine hinreichende Korrosions-bestndigkeit ve
48、rfgen. Diese kann bei korrosions-anflligen Grundwerkstoffen mit einer geeigneten3 Applications ofhard coatingsIn many cases already, the successful use of hardcoatings, aiming at reduced wear and friction and atchanging the decorative impression, has led to in-creased productivity and improved relia
49、bility and op-erational safety as well as to the development of new,innovative products.In the following groups of applications, a considera-ble reduction of wear and friction could be achievedthanks to the use of hard coatings: Reduction of abrasionFor example: wearing of injection moulds forabrasive plastics, compressor pistons, working ofmaterials for casting, wood working, working ofAlSi alloys, printed-circuit boards (microbores),working of ceramic
