KS B ISO TR 14999-2-2011 Optics and photonics－Interferometric measurement of optical elements and optical systems－Part 2：Measurement and evaluation techniques《光学和光学仪器 光学机和光学元件干涉测量 .pdf

1、 KSKSKSKSKSKSKSK KSKSKS KSKSK KSKS KSK KS KS B ISO TR 14999 2 2： KS B ISO TR 14999 2:2011 2011 12 30 http:/www.kats.go.krKS B ISO TR 14999 2:2011 : ( ) ( ) : (http:/www.standard.go.kr) ： ：2011 12 30 2011-0729 ： ： ( 02-509-7274) (http:/www.kats.go.kr). 10 5 , . KS B ISO TR 14999 2:2011 i ii 1 1 2 .1

2、2.1 .1 2.2 3 2.3 .3 2.4 .4 3 .4 3.1 .4 3.2 .5 3.3 14 4 17 4.1 .17 4.2 17 4.3 (manual evaluation)23 4.4 (temporal carrier) 24 4.5 .29 4.6 ( unwrapping).32 4.7 ： , .33 4.8 .34 5 .36 5.1 .36 5.2 37 5.3 37 5.4 37 5.5 38 5.6 38 5.7 38 5.8 38 6 .39 A( ) .40 B( ) “ ” .53 56 KS B ISO TR 14999 2:2011 57 KS B

3、 ISO TR 14999 2:2011 ii 2005 1 ISO/TR 14999 2, Optics and photonics Interferometric measurement of optical elements and optical systems Part 2： Measurement and evaluation techniques . KS B ISO TR 14999 2:2011 2： Optics and photonics Interferometric measurement of optical elements and optical systems

4、 Part 2： Measurement and evaluation techniques 1 , , . 2 2.1 2.1.1 ： . . . nd . , . , d W W 2nd , , W (n2 n1)d . 2.1.2 R n1 n2 . 21212+=nnnnR (1) , 4 % 6 % , 5 % . , . , . . (intensity ratio) . KS B ISO TR 14999 2:2011 2 . - , . . - . , , . 2.1.3 , . 2.1.4 ( , ). . . . 2.1.5 ： n 2 . . , . 2 . , . .

5、2.1.6 ： , . . . . 2.1.7 . , . , . 2.1.8 KS B ISO TR 14999 2:2011 3 , , , , , . 2.2 2.2.1 . . . 2.2.2 ( ) (window) . , . . . . 2.2.3 ( ) , . , . , (master specimen) . 2.2.4 . . 2.3 2.3.1 . . . . 2.3.2 (exit pupil) . 2.3.3 , . . . KS B ISO TR 14999 2:2011 4 2.4 2.4.1 , . . . 2.4.2 . . , . 2.4.3 . . 3

6、3.1 . . . , . . . ) CCD ( ) , . KS B ISO TR 14999 2:2011 5 . . . “ ” . . 72 , 72 , . . 1 . , . 40 . , . . 3 , . . , . , . , . Zernike , , . , . 3.2 3.2.1 , . , . . . . , , , , , , . , . , . . , . , . , , . KS B ISO TR 14999 1 , . KS B ISO TR 14999 2:2011 6 , . , , . , . , . , . , , . ( ) ( ) . . . .

7、 . , transmission sphere , . , . , . opposing criteria , , . 3.2.2 . . . ： . 12 10 . ( , ) 22 22 . , 45 . , . . ( ) . , . ( “ ”; ). . , , . , . , . KS B ISO TR 14999 2:2011 7 a) , . . . 1) transmission flat 25 . 2) . 3) . 4) , Zernike . , . b) , . . 1) 25 . 2) Zernike 36 . . 3) “ ” , r.m.s . , . , .

8、 , . (30 mm) . 45 . , , . - . . . , 3 ( 90 ) . 3.2.3 - . , . , “ ” . . . . . . , . , 1 . , . “ transmission sphere” . KS B ISO TR 14999 2:2011 8 1 R T , . , R( transmission sphere ) T . SR ST . , . , F R . . LD 1 SR ST SR ST 1 , Transmission sphere( H H F F ) . . , LD(“ ”) 1 . Transmission sphere ,

9、transmission sphere . Transmission sphere T T , R R , F . KS B ISO TR 14999 1： 2011, 2.11 , . SR ST ( , ) , “ ” , , . “ ” . , transmission sphere 10 % . , transmission sphere /2 . , . Transmission sphere . transmission sphere . . 3.2.4 “ ” “ ” . , . , ( - ) . “ ” KS B ISO TR 14999 2:2011 9 , . (error map) . , . “ ” . , 1 “ ” . . 2 , . , . (