GOST R ISO 14644-8-2014 Cleanrooms and associated controlled environments Part 8 Classification of air cleanliness by chemical concentration《洁净室和相关控制环境第8部分采用化学浓度法对空气清洁度的分类》.pdf

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1、 14644-8 2014 8 ISO 14644-8:2013 Cleanrooms and associated controlled environments Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (IDT) 14644-82014 II 1 - () , 4 - ( ) 2 184 3 14 2014 . 1406- 4 14644-8:2013 - . 8. (ISO 14644-8:2013 Cleanrooms and associated controlled envi-ronme

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3、44-8 / 209 - . 14644 : - 1. ; - 2. - 14644-1; - 3. ; - 4. , ; - 5. ; - 6. ; - 7. ( , , - -); - 8. ; - 9. ; - 10. . 14644-82014 1 8 Cleanrooms and associated controlled environments. Part 8. Classification of air cleanliness by chemical concentration 20151201 1 - () , . 100 10-12/3. , . - . 2 : 14644

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5、-ness by chemical concentration, SCC): , - . 3.1.5 (surface chemical contamination): , , . 3.1.6 (contaminant category): , - . 3.1.7 (outgassing): . 14644-82014 2 3.1.8 (air cleanliness by chemical concentration class): , /3. 1 1 N, 4.2. 2 0 ( - ) 12 ( ). 3 - -, , - - . 4 ( 1 12) - N . - N ( 0). 5 0

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