SJ 3242-1989 砷化镓外延片.pdf

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本标准规定了砷化镓气相外延片和液相外延片的牌号命名法、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于制备场效应晶体管、变容二极管。霍耳器件及耿氏器件用的砷化镓外延片。

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