SJ 20711-1998 分步投影曝光机通用规范.pdf

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本标准规定了分步投影曝光机的分类、要求、质量保证规定和交货准备等。本标准适用于超大规范集成电路(VLSI)和专用集成芯片(ASIC)以及其它器件的微细光刻设备。其它类型的曝光机也可参照使用。

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