SJ 2065-1982 半导体器件生产用扩散炉测试方法.pdf
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SJ 2065-1982 半导体器件生产用扩散炉测试方法.pdf
本标准适用于SJ 1794-81半导体器件生产用扩散炉通用技术条件中规定的各种类型扩散炉 。本标准规定了下列项目的测试方法:升温时间;升温功率;恒温区长度及恒温精度;单点稳定性;恒温功率;恒温区稳定性;开机重复性;电网电压波动影响;推舟恢复时间;多管炉层间影响。本标准所用名词术语见附录A(补充件)。
