JC T 597-2011 半导体用透明石英玻璃管.pdf
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JC T 597-2011 半导体用透明石英玻璃管.pdf
本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的分类?规格尺寸?技术要求?试验方法,检验规则及标志?包装?运输和贮存等?本标准适用于天然水晶或天然高纯二氧化硅?硅卤化物作原料,应用于半导体工业的透明石英玻璃管(以下简称石英玻璃管)?冶金?化学工业用透明石英玻璃管也可参照本标准?
