JC T 1048-2007 单晶硅生长用石英坩埚.pdf
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JC T 1048-2007 单晶硅生长用石英坩埚.pdf
本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚的产品分类与标记、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、储存、运输。本标准适用于用高纯石英（二氧化硅）做原料，采用电弧法工艺生产，应用于直拉法生长单晶硅生长用石英坩埚。
