JB T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉.pdf

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本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。

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