1、GB ICS 77.150.99 H 68 中华人民共和国国家标准GB/T 26028-2010 斗巾京汀发基铝Evaporated aluminum material 2011-10-01实施2011-01-10发布发布中华人民共和国国家质量监督检验检菇总局中国国家标准化管理委员会数码防伪目。吕本标准由全国有色金属标准化技术委员(SACjTC243)归口。本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。本标准主要起草人:尚再艳、王永辉、王鹏、杨永刚、熊晓东、江轩。GB/T 26028-2010 I GB/T 26028-2010 铝蒸发料1 范围本标准规定了铝蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标
2、志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体行业用的各类铝蒸发料。其他用途的铝蒸发料也可参照使用。2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T 2828. 1 计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法3 要求3.1 产品分类铝蒸发料的类型按铝的纯度分为IC-A199.999和IC-A199.9995两种。铝蒸发料形状主要分为片状和柱状两种，如
3、图1所示。R IJ I I |O L 斗U A 民|片状柱状图1铝蒸发料示意图3.2 成分要求铝蒸发料的化学成分要求见表101 GB/T 26028-2010 表1铝蒸发料的化学成分% 牌号IC-A199.999 IC-A199.9995 Al含量不小于99. 999 99.9995 必检杂质元素As、Ag、Au、B、Be、Ca、Ce、Cr，Cs、Cu、Fe、K、Li、Mg、岛1n、Na、Ni、P、Sb、Si、Sn、Th、Ti，U、V、Zr、Zn0.001 0.000 5 杂质总含量不大于其中:K+Na+Li:O.OOO1 其中:K十Na十Li:三0.0001 注1:铝的含量为100%减去表中
4、杂质元素实测总和的余量。注2:顾客对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商确认。铝蒸发料的非金属元素含量(%)要求如下:C.运0.0020、Cl，o.000 4、N:O.001 O，O:O. 0030、H:O.OOO1，S:0.001 0 3.3 供货状态铝蒸发料以加工态供货。3.4 几何尺寸铝蒸发料的规格及允许偏差如表2所示。表2铝蒸发料规格片状柱状项目一一一A B R D L 10 10 2 1 3 6 尺寸/mm15 15 2 1. 5 6 6 7 20 允许偏差/mm士0.5土0.5士0.2士1士1注:经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的铝蒸发料。3.5 外观质量铝蒸发料表面应
5、光亮平整、洁净，边、角完整，无飞边、元毛刺、元夹杂、无裂纹等缺陷;应清洁、元油污和锈蚀;应无颗粒附加物和其他沾污。4 试验方法4. 1 铝蒸发料的金属杂质、Cl含量采用辉光放电质谱(GDMS)检测。非金属杂质元素C、N、0、H、SGB/T 26028-2010 的分析方法由供需双方协商决定。4.2 铝蒸发料几何尺寸的测量按GB/T15077规定进行。客户特别要求，可按技术协议或按需方图纸、来样检查验收。4.3 外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。5 检验规则5. 1 检查和验收5. 1. 1 铝蒸发料由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准(或订货合同)的规定，并填写
6、质量证明书。5.1.2 需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准(或订货合同)的规定不符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样由供需双方共同进行。5.2 组批铝蒸发料应成批提交检验。每批应由同一炉次、牌号和规格的产品组成。5.3 检验项目、取样位置和取样数量取样位置和I取样数量按表3的规定进行。表3检验项目、取样位置及数量检验项目取样位置取样数盐要求的章条号检验方法的章条号化学成分熔炼留样每炉1个3.2 4.1 一一-二-按GB2828. 1标准取SJ，尺寸成品随机取棺3.4 4.2 AQL二1.5抽取样品表面质量成品随机取祥按GB
7、2828. 1标准取5-1，3.5 4.3 AQL= l. 5抽取样品包装质量逐件6.2.1 4.4 5.4 检验结果判定5.4.1 化学成分不合格时，重新取双倍样进行重复试验，若检验合格，判该炉铸键成分合格，若仍有不合格，则判该炉铸键不合格。5.4.2 尺寸不合格时，判该批产品不合格。5.4.3 外观质量不合格时，判该批产品不合格。3 GB/T 26028-2010 6 标志、包装、运输、贮运6. 1 标志在己检验合格的每瓶或每袋产品上应附标签，注明:a) 产品名称;b) 纯度;c) 规格zd) 净重ze) 批号;f) 生产日期;g) 供方名称;h) 生产厂家地址电话。6.2 包装、运输和贮
8、存6.2. 1 铝蒸发料内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种，塑料瓶包装的瓶口铝封膜要封口完整，无开裂，元贯通。真空袋封口要平整无贯通，真空袋体元漏洞，元真空泄漏。6.2.2 外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。6.2.3 产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沽污产品，并保证运输过程中产品及包装完整。6.2.4 产品应保存于清洁、干燥的环境中。6.3 质量证明书每批产品应附有质量证明书，注明:a) 客户名称;b) 供方名称;c) 产品名称;d) 纯度;e) 规格;f) 数量;g) 净重Eh) 批号;i) 检测报告和技术监督部门印记;j) 生产日期;k) 执行标准
9、号。7 订货单(或合同)内容订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容:a) 产品名称;b) 纯度;4 G/T 26028-2010 c) 规格;d) 数量;e) 执行标准号;f) 其他。5 OFON|NONH益。国华人民共和国家标准铝蒸发料GB/T 26028-2010 中峰中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045网址电话:6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销* 印张0.75字数10千字2011年3月第一次印刷开本880X12301/16 2011年3月第一版除16.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68533533书号i:155066. 1-41724定价GB/T 26028-2010 打印日期:2011年4月2日F002A
