SJ 1779-1981 普通二极型溅射离子泵.参数系列.pdf
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SJ 1779-1981 普通二极型溅射离子泵.参数系列.pdf
中华人民共和国第四机械工业标-5J1779 81 1.81 一1 中华人民共和国部准: : SJ1779 81 极型射子? ! 1.c. .J 普通二极型溅射离子泵的主7rJ.宣壁，2L I 2L 10 25 - -. 对N2) !/S 10 25 -一一一托.(5X 10-. o 2 32 80 下表所示，zL 50 2 50 5 X 10-1 剑OOn70000.5 125 1200, 400 100 2001 40 lO I 200 1 40.0 I 5X 10山1 150 白1LJ飞年八月-目800 2 260
