GB T 16943-1997 电子工业用气体 氦.pdf
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GB T 16943-1997 电子工业用气体 氦.pdf
1、G/T 169431997 前言本标准是根据SEMIC3. 2092 = 100 (+仇+仇+仇十仇)X 10- . . . . . . . ( 1 ) 式中#氮气纯度，10-(V/V) , 件1氧含量，10-6(V/V)，在氮含量，10-6(V/V)，1, 氧化碳含量十二氧化碳含量，10-5(V/V)，仇一一总短(以甲烧计)含量，106(V/V)，15一一水含量，lO-6(V/V)。4.3 氧含量的测定按GB/T6285的规定进行测定。仪器检测限:0.lX10-6(V/V)。标样z氮中含氧1X 10-65 X 10-6(V /V)。4.4 氮含量的测定4.4. 1 采用配有氮离子化检测器的气
2、相色谱仪测定氮中氮含量。检测限:0.2X10-6(V/V)。4.4.2 参考操作条件色i昔柱长约2m，内径约3.2mm的不锈钢柱，内装粒度为O.250. 4 mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱。载气z离纯氮，其中氮含量应比本标准技术指标低约一个数量级。流量约30mL/min。试样体积:约3mL。检测器温度g室温或125Co 柱温:室温或65C。4.4.3 标样:氮中含氮5X10-615X1。一气V/V)。4.4.4 操作步骤4.4.4.1 用气体进样阀将标样注入色谱柱。记录保留时间和峰面积(或峰高)。4.4.4.2 在相同条件下，以标样相同的方法注入待测氮气试样.记录保留时间和峰面积(或峰高)
3、。4.4.4.3 比较标样和待测试样的平均峰面积(或峰高)，按式(2)计算氮中氮含量，其结果不应超过本标准表I的规定。1, =民XA;/A. ( 2 ) 式中1，样品气中氮含量，10-6(V/V); 613 GB/T 16943-1997 民一一标样中氮含量，O-(V/V); Ai-一样品气中氮的峰面积，mm2，(或峰高，mm);As-一标样中氮的峰面积，mm2i (或峰高，mm)o4.4.4.4 取两次平行测定的算术平均值为测定结果，两次平行测定的相对偏差不得大于10%。4. 5 水含量的测定按GB/T5832.1或GB/T5832.2的规定进行测定。两种方法具有同等效力。仪器检测限，O.2XlO-(V/Vlo仪器应经相应检定规程检定合格。4.6 一氧化碳、二氧化碳含量的测定按GB/T8984. 1一1997的规定进行测定。仪器检测!，O.lX10-(V/V)。标样:氮中含一氧化碳、二氧化碳各为1X10-5X10-(V/V)。4. 7 总怪(以甲烧汁含量的测定按GB/T8984.3-1997的规定进行测定。仪器检测限，O.lX10-(V/V)。标样氮中含甲烧1X 10-5 X 1O-(V /V)。5 包装、标志5. 1 包装、标志按GB/T4844. 11995第6章规定执行。5. 2 在包装容器上标以电子用气一氮字样。) 1 I
