JC T 226-1981 QSG3透明石英玻璃坩埚.pdf

1、中华人民共和国建筑材料工业部部标准QSG3透明石英玻璃帽捐本标准适用于半导体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃均柄。r+-+年-+-_+-+-皿+-+-+飞+ t t t 1JC226811 t t -+-+年-+-+-_+_-+-句-+-_+-_+J本土甘桐采用天然石英熔制成坯体，并在其内表面涂-层高纯人造石英玻璃层。l物理、化学性能指标(1)化学成分a.内涂层化学成分一、技术要求铝、钙、镇、铁、铜、铁、钻、镰、锤、棚、仰、锅、鲤十三个杂质元素的总含量不得大于0.001%。其中:铝5X 10- %; 铜O.1 X 10- % ; 铁运0.5X 10叫%;跚O.1 X 10叫%;钢三三1X10-

2、%，锁经二1X10-%。b.增蜗坯体化学成分铝、钙、侯、铁、铜、铁、钻、镰、锤、棚、饵、锅、鲤十三个杂质元素的总含量不得大于0.01% 0 其中.铝60X10-%, 铁运5X10-%，铮4X 10- %, (2)热稳定性铜O.1 X 10-%, 硕O.3 X 10- % I 纳三三4XlO-%。试样在1100C至20C温度急变下试验三次，不产生裂纹.(3)抗结晶性试样在1200C温度下恒温半小时，不允许出现直径大于3毫米的析晶臼点.0.5-3毫米的析晶臼点，每100平方厘米不得超过10个。(4)涂层厚度应均匀，折合重量应符合表1规定。外径D 涂层重量毫米克80 3.0 90 3. 5 100

3、4.0 2.外观指标(1)增捐坯体部分(见表2)。中华人民共和国建筑材料工业部发布建筑材料科学研究院提出外径D 毫米106 114 130 表l涂层重量克4.5 5.5 7.0 1 9 8 1年3月1日实施建筑材料科学研究院起草493 JC 22681 项目气直径弧度部分毫米直线部分泡允许数量(个/1重来)暗* 径弧度部分毫未直线部分疤允许数量(条/100厘来勺色丝状长径(毫未)点状直径(毫未斑允许数量(个/100厘来)透明颗粒允许数量(个1100厘来)波波毫未注z缺陷宽度小于点状F限的按丝状计.非圆形缺陷的宣径均按算术平均值计.(2)增桐口部不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的表皮崩落。(3

4、)捕桐内表面不允许有色斑沾污和析晶。表20.3-0.4 。.3-0.7三61-4 2-4 ;4 0.2-1. 5 O. 2-0. 8 运4豆30乓O.3 (4)增桐内表面涂层上每100平方厘米中允许透明颗粒(直径在O.5 O. 7毫米)为10个。二、形状与规格尺寸3.半导体用透明石英玻璃增柄的形状与规格尺寸应符合下图及表3规定。J 口口单位z毫米表3外径离度底部半径厚度范围同横截面厚度公差D H R 80工EI60士2D l 2. 0士0.50.3 2 90士1170土2D 1 2. 0:t0. 5 0.3 2 100士1180士3D 2 2. 3士O.5 0.3 2 l061:1 90:t3 D-2 2.3:t0.5 0.3 2 114+fi 75士3D-2 2. 3:t0. 5 O. 3 2 13OZi i 110士3D 2 2.5土O.5 O. 4 2 494 JC 226-81 三、试验方法4.化学成分按JC186-81(石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法中的规定进行。5.热稳定性按JC187-73(石英玻璃热稳定性检验方法中的规定进行。6.抗结晶性按JC188-73(石英玻璃抗结晶性检验方法中的规定进行。7.气泡按JC19081(透明石英玻璃气泡、气线检验方法中的规定进行。495