1、前言 本标准非等效采用 标准 硬面光掩模基板 本标准基板技术要求全部按 中第 章至第 章制定 本标准附录 是提示的附录 本标准由中华人民共和国电子工业部提出 本标准由电子工业部标准化研究所归口 本标准起草单位 长沙韶光微电子总公司 电子工业部标准化研究所 本标准主要起草人 吴保华 王亦林 赵雨生 谈仁良中华人民共和国国家标准 硬面光掩模基板 国家技术监督局 批准 实施 范围 本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求 试验方法 检验规则等内容 本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板 以下简称基板 引用标准 下列标准所包含的 条文 通过在 本标准中 引 用 而构成为 本标准的 条文 本标准出 版时 所示
2、版 本 均 为有 效 所 有 标准 都会被修订 使 用本标准的 各 方 应探讨使 用下列标准 最新版 本的 可能性 包 装储运图 示标 志 逐批 检 查计数抽样程序及抽样表 适用于 连续批 的检 查 周期 检 查计数抽样程序及抽样表 适用于生 产过程稳 定 性 的检 查 力学 的 量 和单位 玻璃 及铬 板 表 面 平整度 的 测 试方法 电子玻璃 平均线热膨胀系数 的 测 试方法 微电子 学 光掩 蔽 技术术 语 定义 本标准采用 规定的定 义 要求 外形尺寸 方 形 基板的 外形尺寸应符合表 和 图 的规定 表 方 形 基板的 外形尺寸 规 格 边 长 垂直度 厚度续表 规 格 边 长 垂
3、直度 厚度 注 高热膨胀 玻璃 垂直度为 图 方 形 硬面光掩模基板 基板的 边缘应倒成斜角或圆角 其尺寸应符合表 和 图 图 规定表 斜角 和 圆角边尺寸 标称 图 斜角边尺寸图 圆角边尺寸 平 面 度 要求 基板的 一 面 在 规定的 整个圆形或 方 形质量区 内 应分别具有 或 的 平 面 度 质量区 的 范围 见 图 和 图 注 图 圆形质量区 注 图 方 形质量区 外 观 要求 基板的 缺陷 包 括 质量区 内的内部 缺陷 正 面 表 面 缺陷 背 面 表 面 缺陷 质量区外 的 缺陷 基板 各 类缺陷 数应分别符合表 表 表 表 的规定表 质量区 内的内部 缺陷 玻璃 种类 不透
4、光 疵点 玻璃 气泡 总 缺陷 个 高热膨胀 玻璃 中 热膨胀 玻璃 低 热膨胀 玻璃 超低 热膨胀 玻璃 注 内部 缺陷 尺寸 规定 为 长 轴 短轴 该 表 基于以下 假 定 小 于 的 缺陷 在 透镜 系 统焦深之 外 将失 效 不予 列出 表 质量区 内的 表 面 缺陷 正 面 正 面 玻璃 残渣 划痕大小 总 划痕缺陷 磨 光 尺寸 总 磨 光 缺陷 个 不透 光 疵点 总 不透 光 疵点缺陷 个 无 不限 无 不限 无 不限 无 不限 注 磨 光 尺寸 基板 表 面 局 部 有 光 泽 的 小点 的 缺陷 尺寸表 质量区 内的 表 面 缺陷 背 面 背 面 玻璃 划痕大小 总 划痕
5、缺陷 不透 光 疵点 总 不透 光 疵点缺陷 个 不限 不限 不限 不限 不限 不限 不限 不限 表 质量区外 的 缺陷 边缘 碎屑缺陷极限值 总 数 径向深 度 无 外围条 痕 无 其 他 由 供需双 方 商 定 注 不允许任何 尺寸 的 缺陷损坏 表 面 径向深 度 边缘 碎屑 垂直 于 边缘 的 距离 外围条 痕 边缘 碎屑沿 边缘 的 距离 基板 均应 按 图 所示的 凹 口 在 背 面 作 标 记 凹 口 尺寸应符合图 的规定 白冕 和 钠钙 玻璃 以 一角 凹 口 作 标 记 如 图 所示 硼硅 和 铝硅 玻璃 以 三 角 凹 口 作 标 记 如 图 所示 铝硅 玻璃 以 相邻两
6、角 凹 口 作 标 记 如 图 所示 石英 玻璃 以 两 个 对 角 凹 口 作 标 记 如 图 所示 基板 表 面 不得 有 破缺 裂纹 白冕 和 钠钙 玻璃 硼硅 和 铝硅 玻璃 图 玻璃基板的 凹 口标 记铝硅 玻璃 石英 玻璃 续图 背 面 凹 口 方 角 背 面 凹 口 圆角 图 玻璃基板的 凹 口 尺寸 材料 性能 要求 基板 材料 分为高热膨胀 材料 如白冕 和 钠钙 玻璃 中 热膨胀 材料 如硼硅 和 铝硅 玻 璃 低 热膨胀 材料 如铝硅 玻璃和 超低 热膨胀 材料 如石英 玻璃 基板 材料 的 热膨胀系数 和 透 光 率 应符合表 的规定表 基板 材料特 性 膨胀系数 厚
7、基板 系 列 波 长的 最 小透 光 率 玻璃 种类 注 表 示 几乎不透 光 高热膨胀 中 热膨胀 低 热膨胀 和 超低 热膨胀 玻璃的部 分 物理 性能 在 附录 中 仅作 为 资料 提 供 试验方法 外形尺寸 检 查 基板的 外形尺寸 用 精 度为 的 游 标 卡 尺 和 百 分表测量 垂直度 基 片 相邻两 边 的 夹 角 用 精 度为 的 万 能量角 仪 测量 倒角有 关 尺寸 如 等 用 倍 测 微 放 大镜 测量 平 面 度 检 查 平 面 度 按 标准 进行 检 查 外 观 检 查 基板的 缺陷 按 要求 用 倍 大 视场立体显 微 镜 检 查 缺陷 的 尺寸 用 倍 测量 显
8、 微 镜 检 查 凹 口 尺寸 用 精 度为 的 游 标 卡 尺 检 查 破损 裂纹 用 肉眼 检 查 材料 性能 检 查 基板的 热膨胀系数 按 进行 测 试 基板的 透 光 率 用 精 度为 的 可 见 光 分 光光 度计 进行 测量 检验规则 基板检验 分 交收 检验和 例行 检验 交收 检验 基板 入库前 应逐批 进行交收 检验 所 有 检验 均应在 供 货 单位 质量 部 门进行 必 要 时订 货 单位亦 可 派 人共 同进行 供 货 单位提 供 检 验的 必 要 条 件 并 对 检验 结果负责 订 货 单位 有 权 对 交收 检验的 结果进行复 查 交收 检验 应 按 中规定的 一
9、 次 正 常 检 查 方 案进行 抽样 交收 检验的 项目 及 值 应符 合表 的规定表 交收 检验 检验 项目 技术要求 条 号 试验方法 条 号 外形尺寸 外 观 要求 若交收 检验 不 合格 该 批 基板 应 进行 筛选后再 提 交 检验 但必须 使 用 加严 检验 若加严 检 验 仍 不 合格 则 不得 再次 提 交 检验 例行 检验 有 下列 情况 之 一 者 应 进行例行 检验 产 品 定 型 产 品结 构 材料 工 艺 有 较 大 改变 时 正 常 生 产 情况 下 每年进行 一 次 产 品停 产一 年 以 上 恢复 生 产时 例行 检验 必须 在 交收 检验 合格 的 批 中
10、随机 抽 取 例行 检验 应 按 中 一 次 抽样 方 案进行 抽样 例行 检验 项目 及 值 应符合表 的规定 表 例行 检验 检验 项目 技术要求 条 号 试验方法 条 号 外形尺寸 外 观 要求 平 面 度 要求 材料 性能 例行 检验 项目 中 有一 项 不 合格时 即 该 批产 品例行 检验 为 不 合格 标志 包装 运输 贮存 包 装 和标 志 内包 装 基板 应在 级 的 净 化 环境 中包 装 包 装 盒 应能 防止 玻璃 与 玻璃 相 接触 并 能 避免 基板 在装运过程 中 受到沾污 包 装 盒上 应 贴上 合格 证 合格 证上 应注 明 产 品名 称 编号 产 品级 别
11、与 规 格尺寸 数量 检验 日 期及 检验 员签 章 外 包 装 基板采用 钙 塑瓦 楞纸 或 硬 纸 板制 作 的 箱 子包 装 包 装 箱 应 附 有 标 签 并 标 明 产 品名 称 型号 产 品编号 生 产 日 期 制 造 单位 名 称 地址 包 装 箱 外 壁 应 标 有符合 规定的 保 持干燥 向 上 小 心易 碎 等 字 样 和标 志 运 输 产 品 在运 输 过程 中 应 防 湿 防 震 防 损 伤 不得 与 腐蚀 性 物 质 混 装运 输 贮存 产 品 应 存 放 在 相对 湿 度 不大 于 干 净 无 有 害 气 体 的 库 房 内 产 品 从 出 厂 之 日 起 贮存 期一 年附录 提示的附录 硬面光掩模玻璃特性 硬面光掩模玻璃 特 性 见 表 表 玻璃 种类 弹 性 模 量 泊松比 密 度 折射 率 高热膨胀 玻璃 中 热膨胀 玻璃 低 热膨胀 玻璃 超低 热膨胀 玻璃 注 泊松比 见 力学 的 量 和单位 中
