GB T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法.pdf
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GB T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法.pdf
本标准规定了以三氯氢硅和四氯氢硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学腐蚀检验方法。本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯氢硅为原料,以细硅芯为发热体,在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。
