GB T 29508-2013 300mm 硅单晶切割片和磨削片.pdf
-
资源ID：109437
资源大小：844.27KB
全文页数：8页
- 资源格式： PDF
下载积分：5000积分
快捷下载
账号登录下载
微信登录下载
下载资源需要5000积分（如需开发票，请勿充值！）
|
友情提示
2、PDF文件下载后，可能会被浏览器默认打开，此种情况可以点击浏览器菜单，保存网页到桌面，就可以正常下载了。
3、本站不支持迅雷下载，请使用电脑自带的IE浏览器，或者360浏览器、谷歌浏览器下载即可。
4、本站资源下载后的文档和图纸-无水印,预览文档经过压缩，下载后原文更清晰。
5、试题试卷类文档，如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案，请知晓。
|
GB T 29508-2013 300mm 硅单晶切割片和磨削片.pdf
本标准规定了直径300 mm、p型、晶向、电阻率0.5cm20cm的硅单晶切割片和磨削片(简称硅片)产品的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直径300 mm直拉单晶经切割、磨削制备的圆形硅片,产品将进一步加工成抛光片,用于制作集成电路IC用线宽90 nm技术需求的衬底片。
