GB T 29504-2013 300mm 硅单晶.pdf
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GB T 29504-2013 300mm 硅单晶.pdf
本标准规定了直径300 mm、p型、100晶向、电阻率0.5 cm20 cm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13 m及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。
