GB T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢.pdf
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GB T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢.pdf
本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料,采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺,也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式:HCl。相对分子质量:36.458(按2009年国际相对原子质量计算)。
