GB T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法.pdf
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GB T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法.pdf
本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容-电压测量方法。本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。测量范围为：410cm810cm。本标准测试的硅外延层的厚度必须大于测试偏压下耗尽的深度。本标准也适用于硅抛光片的载流子浓度测量。
