GB T 14140-2009 硅片直径测量方法.pdf
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GB T 14140-2009 硅片直径测量方法.pdf
本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径，可测最大直径为300mm。不适用于测量硅片的不圆度。
